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SEM 用品/その他器材
ゲルパック (Gel-Pak)
最新テクノロジーを確実にガードする究極のチップ&ウェハーキャリア
[アプリケーション]
光電子工学・半導体デバイス・センサー・マイクロメカニカルデバイス・ハードドライブヘッド・生体デバイス・試料の保管
[ 特 徴 ]
● ゲルパックシリーズは、傷の付き易い試料や部品の保護、保管、持ち運びのためにデザインされており、ゲルが収納品を
確実に保持するため、移送中の振動で発生する静電気や収納品の破損・反転等を防ぎます。
● 高度に架橋されたゲルポリマーは、粘着力によってではなく、部品表面との摩擦力及び界面力によって部品を確実にキャ
リア上に保持することができ、また、ピンセット等により簡単に取付け・取外しができます。
● ゲルは非常に用途が広く耐久性があり、特性は-40℃~220℃まで変わりません。※ケースの耐熱温度は70-80℃です。
● ゲルの保持力はリテンションレベルにより変化します。
リテンションレベル( R LV )のガイドライン
Low (0) : 高度に研磨された表面 Medium (4) : エッチングされた表面 High (8) : セラミック等粗い表面
※この他、XT(Very Lowタイプ)、X5タイプも選択可能です。
● ケース及びトレイの材質特性
T : クリアースチレン(静電放電に敏感ではない部品用・透明)
C : 導電性ブラックポリカーボネート(静電放電からの保護)
AS : 帯電防止クリアープラスチック(高視認性・半透明)
※ 組み合わせによるコンビネーションが可能です。
● プリント (特別注文) AD-22CAS-00-X0-P0016A (5×5)
様々な種類のグリッドパターンをプリントすることができます。グリッドパターンはメーカーホームページにあるリスト
をご参照ください。メーカーホームページ:http://www.gelpak.com/psw/prints.asp
[ 技 術 情 報 ]
● ゲルの吸水率:25℃、7日間浸漬後 - 0.1%以下
● ゲルの引張強度:50kgf/cm2
● ゲルの体積固有抵抗:2×1015Ω/cm
● ゲルの絶縁破壊強度:22kv/mm
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SEM 用品/その他器材
[ VRシリーズ 2インチ・4インチ]
VRシリーズはトレイ上にメッシュを敷き、その上にゲル膜を貼ったトレイタイプです。VRシリーズには、キャリアケースへ
収納するタイプと、カバーを被せて専用クリップで固定するタイプがあります。VRシリーズは真空装置を使用することで容
易に部品を取り外すことができます。真空ピンセットを用いて取り扱われるチップ部品に適しています。
トレイメッシュサイズ:#16・#33・#76・#103・#137・#195
VR機能を最大限に生かすために、チップのサイズに合わせメッシュサイズを選択します。
※ メッシュサイズ16(~195)は1インチ四方当たり16本(~195本)の糸でメッシュが組まれています。
VR シリーズ推奨メッシュサイズ
チップサイズ
VRシリーズは、右図の様にトレイとゲル(B)の間に真空用通路を作り出すためにメッシュ(C)を施しています。チップ又は
ウェハー(A)を保持する時には面接触で行い、取り出しの時にトレイの下から真空に引くことにより、チップ又はウェハー
(A)の吸着面のゲルを部分的(強制的)に引き離し、点接触に近い状態にします。
VR-meshCC-02-Xn VR-meshCT-00B-Xn GP-CLIP-22C GP-CLIP-22T ゲルの保持力:XT, XL, X4, X8から選択可能 (X8はメッシュサイズ#16・#33のみ)
トレイ収納方法:[02] VRトレイをキャリアケースに収納するタイプ (2インチタイプのみ)
[00B] VRトレイにトレイカバーを被せ、専用クリップ(GP-CLIP)で固定するタイプ
トレイ種類:[T] 又は [C] ケース種類:[T] [C] [AS] (組み合わせによるコンビネーションが可能)
品番ガイド(2インチ):
品番ガイド(4インチ):
※ 4インチ以上の大型ウェハー用をご希望の際はご相談ください。
※ VRシリーズをご希望の際は、弊社までご連絡ください。価格及び納期を確認の上、速やかに御見積り申し上げます。
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SEM 用品/その他器材
[ ADシリーズ ]
キャリアケースの底にゲルを直接塗布したボックスタイプ。大型サブストレート、モジュール、パッケージドデバイス等の
移送・搬送・保管に使用されます。
品番ガイド:
ゲルの保持力:XT, X0, X4, X5, X8から選択可能 (XT, X5は特別注文)
ケース種類:[T] [C] [AS] (組み合わせによるコンビネーションが可能)
サイズ
11T
11C
22
23
803
1135
内寸 (mm)
25.4 × 25.4 × 6.4(h)
25.4 × 25.4 × 12.7(h)
50.8 × 50.8 × 6.4(h)
50.8 × 76.2 × 9.5(h)
63.5 × 89 × 12.7(h)
89 × 114 × 12.7(h)
Gel-Box (AD)
有効サイズ (mm)
空間サイズ (mm)
4.2
9.5
4.2
7.1
9.5
----
19 × 19
44.5 × 44.5
44.5 × 70
57 × 83
----
【 AD シリーズ 】
Cat No.
内寸 (mm)
材質
AD-11T-00-X0
AD-11T-00-X4
0
25.4 × 25.4 × 6.4(h)
4
AD-11T-00-X8
50.8 × 50.8 × 6.4(h)
T
AD-22T-00-X8
4
8
50.8 × 76.2 × 9.5(h)
4
AD-1135T-00-X4
89 × 114 × 12.7(h)
4
AD-11C-00-X0
25.4 × 25.4 × 12.7(h)
4
50.8 × 76.2 × 9.5(h)
C
AD-22CAS-00-X8
CAS
63.5 × 89 × 12.7(h)
0
8
AD-22AS-00-X0
2,400
AS
116,000
56,500
4
8
73,000
79,500
2,800
85,500
93,500
3,000
99,000
3,400
110,000
0
50.8 × 50.8 × 6.4(h)
※ 50ヶ未満の場合は、品番の最後にハイフン+数量を記載してください。例: AD-22T-00-X0-5
129
1,900
8
4
AD-803CAS-00-X8
AD-22AS-00-X8
3,500
0
4
AD-803CAS-00-X0
68,000
62,500
8
AD-22CAS-00-X4
AD-22AS-00-X4
2,300
74,000
4
AD-803CAS-00-X4
62,000
62,000
0
50.8 × 50.8 × 6.4(h)
50,000
4
AD-22C-00-X4
AD-22C-00-X8
50 ヶ
8
AD-22C-00-X0
AD-22CAS-00-X0
価格 ( 円 )
55,000
0
AD-11C-00-X8
AD-23C-00-X4
1,600
0
AD-23T-00-X4
AD-11C-00-X4
1ヶ
8
AD-22T-00-X0
AD-22T-00-X4
R LV
2,700
85,500
89,000
SEM 用品/その他器材
P0037
P0016A
【 AD シリーズ プリントタイプ 】
Cat No.
内寸 (mm)
材質
AD-22T-00-X0-P0016A
R LV
0
AD-22T-00-X4-P0016A
T
AD-22T-00-X8-P0016A
4
C
4
AD-22C-00-X8-P0016A
8
AD-22CAS-00-X0-P0016A
0
AD-22CAS-00-X4-P0016A
CAS
8
AD-22AS-00-X0-P0016A
0
AD-22AS-00-X4-P0016A
AD-22T-00-X4-P0037
AS
4
AD-22T-00-X8-P0037
8
0
C
4
AD-22C-00-X8-P0037
8
AD-22CAS-00-X0-P0037
0
AD-22CAS-00-X4-P0037
CAS
AD-22CAS-00-X8-P0037
AD-22AS-00-X8-P0037
0
AS
4
8
146,000
189,000
171,000
189,000
4,600
124,000
136,000
4,800
146,000
161,000
171,000
4
8
AD-22AS-00-X0-P0037
AD-22AS-00-X4-P0037
5,600
0
T
124,000
171,000
8
50.8 × 50.8 × 6.4(h)
50 ヶ
161,000
4
AD-22C-00-X0-P0037
AD-22C-00-X4-P0037
4,800
4
AD-22CAS-00-X8-P0016A
価格 ( 円 )
136,000
0
AD-22C-00-X4-P0016A
AD-22T-00-X0-P0037
4,600
8
AD-22C-00-X0-P0016A
AD-22AS-00-X8-P0016A
1ヶ
5,600
189,000
171,000
189,000
※ 50ヶ未満の場合は、品番の最後にハイフン+数量を記載してください。例: AD-22T-00-X0-P0016A-5
※ P0016A又はP0037以外のプリントをご希望の際は、弊社までご連絡ください。価格及び納期を確認の上、速やかに御見積り申し上げます。
グリッドパターンはメーカーホームページにあるリストをご参照ください。メーカーホームページ:http://www.gelpak.com/psw/prints.asp
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SEM 用品/その他器材
[ WFフィルム ]
ポリエステルフィルムの上に直接ゲルを塗布し、その上にセロハン紙
を重ねた三重構造のシート状になっています。セロハン紙を剥がした後チップを載せます。 ゲルの保持力:XT, X0, X4, X8から選択可能
シートサイズ:2×2インチ角(20)~7×7インチ角(70)まで0.5インチ刻みで選択可能 (標準厚み6mil)
(20, 25, 30, 35, 40, 45, 50, 55, 60, 65, 70)
接着剤使用指定:A (接着剤はゲル片面のポリエステルフィルムに直接付いています)
品番ガイド:
[ ハンドバキュームポンプ VHP-24 ]
バキュームプレートVP-24付。ハンドバキュームポンプはピス
トル型の引き金を引くことによって真空を引くことができま
す。バキュームプレートは2インチ/4インチVRシリーズに使
用できます。真空は635mm/Hgまで引くとチップの取り外し
がスムースにできます。
[ バキュームステーション VRS-24 ]
バキュームプレートVP-24付。ON/OFFスイッチで真空引きを
コントロールします。バキュームプレートは2インチ/4イン
チVRシリーズに使用できます。真空は635mm/Hgまで引くと
チップの取り外しがスムースにできます。
[ ペンバック ]
真空吸着式部品ピックアップです。(真空機能内蔵型)
2種類のノズル、3種類の吸着カップが付属されています。
自重:17g 吸着カップ:ESD≦108Ω
吸着カップ型番
吸着カップ径 (mm)
PV125
φ 3.2
最大吸着引力
5g
PV250
φ 6.4
40g
PV375
φ 9.5
80g
※ WFフィルム・バキューム治具・ゲルパックへのプリントをご希望の際は、弊社までご連絡ください。
価格及び納期を確認の上、速やかに御見積り申し上げます。
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