SEM 用品/その他器材 ゲルパック (Gel-Pak) 最新テクノロジーを確実にガードする究極のチップ&ウェハーキャリア [アプリケーション] 光電子工学・半導体デバイス・センサー・マイクロメカニカルデバイス・ハードドライブヘッド・生体デバイス・試料の保管 [ 特 徴 ] ● ゲルパックシリーズは、傷の付き易い試料や部品の保護、保管、持ち運びのためにデザインされており、ゲルが収納品を 確実に保持するため、移送中の振動で発生する静電気や収納品の破損・反転等を防ぎます。 ● 高度に架橋されたゲルポリマーは、粘着力によってではなく、部品表面との摩擦力及び界面力によって部品を確実にキャ リア上に保持することができ、また、ピンセット等により簡単に取付け・取外しができます。 ● ゲルは非常に用途が広く耐久性があり、特性は-40℃~220℃まで変わりません。※ケースの耐熱温度は70-80℃です。 ● ゲルの保持力はリテンションレベルにより変化します。 リテンションレベル( R LV )のガイドライン Low (0) : 高度に研磨された表面 Medium (4) : エッチングされた表面 High (8) : セラミック等粗い表面 ※この他、XT(Very Lowタイプ)、X5タイプも選択可能です。 ● ケース及びトレイの材質特性 T : クリアースチレン(静電放電に敏感ではない部品用・透明) C : 導電性ブラックポリカーボネート(静電放電からの保護) AS : 帯電防止クリアープラスチック(高視認性・半透明) ※ 組み合わせによるコンビネーションが可能です。 ● プリント (特別注文) AD-22CAS-00-X0-P0016A (5×5) 様々な種類のグリッドパターンをプリントすることができます。グリッドパターンはメーカーホームページにあるリスト をご参照ください。メーカーホームページ:http://www.gelpak.com/psw/prints.asp [ 技 術 情 報 ] ● ゲルの吸水率:25℃、7日間浸漬後 - 0.1%以下 ● ゲルの引張強度:50kgf/cm2 ● ゲルの体積固有抵抗:2×1015Ω/cm ● ゲルの絶縁破壊強度:22kv/mm 127 SEM 用品/その他器材 [ VRシリーズ 2インチ・4インチ] VRシリーズはトレイ上にメッシュを敷き、その上にゲル膜を貼ったトレイタイプです。VRシリーズには、キャリアケースへ 収納するタイプと、カバーを被せて専用クリップで固定するタイプがあります。VRシリーズは真空装置を使用することで容 易に部品を取り外すことができます。真空ピンセットを用いて取り扱われるチップ部品に適しています。 トレイメッシュサイズ:#16・#33・#76・#103・#137・#195 VR機能を最大限に生かすために、チップのサイズに合わせメッシュサイズを選択します。 ※ メッシュサイズ16(~195)は1インチ四方当たり16本(~195本)の糸でメッシュが組まれています。 VR シリーズ推奨メッシュサイズ チップサイズ VRシリーズは、右図の様にトレイとゲル(B)の間に真空用通路を作り出すためにメッシュ(C)を施しています。チップ又は ウェハー(A)を保持する時には面接触で行い、取り出しの時にトレイの下から真空に引くことにより、チップ又はウェハー (A)の吸着面のゲルを部分的(強制的)に引き離し、点接触に近い状態にします。 VR-meshCC-02-Xn VR-meshCT-00B-Xn GP-CLIP-22C GP-CLIP-22T ゲルの保持力:XT, XL, X4, X8から選択可能 (X8はメッシュサイズ#16・#33のみ) トレイ収納方法:[02] VRトレイをキャリアケースに収納するタイプ (2インチタイプのみ) [00B] VRトレイにトレイカバーを被せ、専用クリップ(GP-CLIP)で固定するタイプ トレイ種類:[T] 又は [C] ケース種類:[T] [C] [AS] (組み合わせによるコンビネーションが可能) 品番ガイド(2インチ): 品番ガイド(4インチ): ※ 4インチ以上の大型ウェハー用をご希望の際はご相談ください。 ※ VRシリーズをご希望の際は、弊社までご連絡ください。価格及び納期を確認の上、速やかに御見積り申し上げます。 128 SEM 用品/その他器材 [ ADシリーズ ] キャリアケースの底にゲルを直接塗布したボックスタイプ。大型サブストレート、モジュール、パッケージドデバイス等の 移送・搬送・保管に使用されます。 品番ガイド: ゲルの保持力:XT, X0, X4, X5, X8から選択可能 (XT, X5は特別注文) ケース種類:[T] [C] [AS] (組み合わせによるコンビネーションが可能) サイズ 11T 11C 22 23 803 1135 内寸 (mm) 25.4 × 25.4 × 6.4(h) 25.4 × 25.4 × 12.7(h) 50.8 × 50.8 × 6.4(h) 50.8 × 76.2 × 9.5(h) 63.5 × 89 × 12.7(h) 89 × 114 × 12.7(h) Gel-Box (AD) 有効サイズ (mm) 空間サイズ (mm) 4.2 9.5 4.2 7.1 9.5 ---- 19 × 19 44.5 × 44.5 44.5 × 70 57 × 83 ---- 【 AD シリーズ 】 Cat No. 内寸 (mm) 材質 AD-11T-00-X0 AD-11T-00-X4 0 25.4 × 25.4 × 6.4(h) 4 AD-11T-00-X8 50.8 × 50.8 × 6.4(h) T AD-22T-00-X8 4 8 50.8 × 76.2 × 9.5(h) 4 AD-1135T-00-X4 89 × 114 × 12.7(h) 4 AD-11C-00-X0 25.4 × 25.4 × 12.7(h) 4 50.8 × 76.2 × 9.5(h) C AD-22CAS-00-X8 CAS 63.5 × 89 × 12.7(h) 0 8 AD-22AS-00-X0 2,400 AS 116,000 56,500 4 8 73,000 79,500 2,800 85,500 93,500 3,000 99,000 3,400 110,000 0 50.8 × 50.8 × 6.4(h) ※ 50ヶ未満の場合は、品番の最後にハイフン+数量を記載してください。例: AD-22T-00-X0-5 129 1,900 8 4 AD-803CAS-00-X8 AD-22AS-00-X8 3,500 0 4 AD-803CAS-00-X0 68,000 62,500 8 AD-22CAS-00-X4 AD-22AS-00-X4 2,300 74,000 4 AD-803CAS-00-X4 62,000 62,000 0 50.8 × 50.8 × 6.4(h) 50,000 4 AD-22C-00-X4 AD-22C-00-X8 50 ヶ 8 AD-22C-00-X0 AD-22CAS-00-X0 価格 ( 円 ) 55,000 0 AD-11C-00-X8 AD-23C-00-X4 1,600 0 AD-23T-00-X4 AD-11C-00-X4 1ヶ 8 AD-22T-00-X0 AD-22T-00-X4 R LV 2,700 85,500 89,000 SEM 用品/その他器材 P0037 P0016A 【 AD シリーズ プリントタイプ 】 Cat No. 内寸 (mm) 材質 AD-22T-00-X0-P0016A R LV 0 AD-22T-00-X4-P0016A T AD-22T-00-X8-P0016A 4 C 4 AD-22C-00-X8-P0016A 8 AD-22CAS-00-X0-P0016A 0 AD-22CAS-00-X4-P0016A CAS 8 AD-22AS-00-X0-P0016A 0 AD-22AS-00-X4-P0016A AD-22T-00-X4-P0037 AS 4 AD-22T-00-X8-P0037 8 0 C 4 AD-22C-00-X8-P0037 8 AD-22CAS-00-X0-P0037 0 AD-22CAS-00-X4-P0037 CAS AD-22CAS-00-X8-P0037 AD-22AS-00-X8-P0037 0 AS 4 8 146,000 189,000 171,000 189,000 4,600 124,000 136,000 4,800 146,000 161,000 171,000 4 8 AD-22AS-00-X0-P0037 AD-22AS-00-X4-P0037 5,600 0 T 124,000 171,000 8 50.8 × 50.8 × 6.4(h) 50 ヶ 161,000 4 AD-22C-00-X0-P0037 AD-22C-00-X4-P0037 4,800 4 AD-22CAS-00-X8-P0016A 価格 ( 円 ) 136,000 0 AD-22C-00-X4-P0016A AD-22T-00-X0-P0037 4,600 8 AD-22C-00-X0-P0016A AD-22AS-00-X8-P0016A 1ヶ 5,600 189,000 171,000 189,000 ※ 50ヶ未満の場合は、品番の最後にハイフン+数量を記載してください。例: AD-22T-00-X0-P0016A-5 ※ P0016A又はP0037以外のプリントをご希望の際は、弊社までご連絡ください。価格及び納期を確認の上、速やかに御見積り申し上げます。 グリッドパターンはメーカーホームページにあるリストをご参照ください。メーカーホームページ:http://www.gelpak.com/psw/prints.asp 130 SEM 用品/その他器材 [ WFフィルム ] ポリエステルフィルムの上に直接ゲルを塗布し、その上にセロハン紙 を重ねた三重構造のシート状になっています。セロハン紙を剥がした後チップを載せます。 ゲルの保持力:XT, X0, X4, X8から選択可能 シートサイズ:2×2インチ角(20)~7×7インチ角(70)まで0.5インチ刻みで選択可能 (標準厚み6mil) (20, 25, 30, 35, 40, 45, 50, 55, 60, 65, 70) 接着剤使用指定:A (接着剤はゲル片面のポリエステルフィルムに直接付いています) 品番ガイド: [ ハンドバキュームポンプ VHP-24 ] バキュームプレートVP-24付。ハンドバキュームポンプはピス トル型の引き金を引くことによって真空を引くことができま す。バキュームプレートは2インチ/4インチVRシリーズに使 用できます。真空は635mm/Hgまで引くとチップの取り外し がスムースにできます。 [ バキュームステーション VRS-24 ] バキュームプレートVP-24付。ON/OFFスイッチで真空引きを コントロールします。バキュームプレートは2インチ/4イン チVRシリーズに使用できます。真空は635mm/Hgまで引くと チップの取り外しがスムースにできます。 [ ペンバック ] 真空吸着式部品ピックアップです。(真空機能内蔵型) 2種類のノズル、3種類の吸着カップが付属されています。 自重:17g 吸着カップ:ESD≦108Ω 吸着カップ型番 吸着カップ径 (mm) PV125 φ 3.2 最大吸着引力 5g PV250 φ 6.4 40g PV375 φ 9.5 80g ※ WFフィルム・バキューム治具・ゲルパックへのプリントをご希望の際は、弊社までご連絡ください。 価格及び納期を確認の上、速やかに御見積り申し上げます。 131
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