Manual Positioners XZ軸フラットスチールステージ XZ軸フラットスチールステージ TSD-604　ステージサイズ□60mm TSD-654　ステージサイズ□65mm ボールガイドのX軸ステージとフラットZ軸ステージを組合せたステージです。アプリケーションシステムご案内 ▶真空用途にお使いいただけるステンレスタイプ（TSDS-604/654）もご用意しています。　光学素子 E206 注意ホルダー ▶Z軸は構造上、ステージ内のバネが負荷に耐え切れず伸びてしまうおそれがあるため天地逆転の方向で設置し使用することができません。 ▶Z軸はテコの原理を応用した構造のため、移動量の位置により目盛に対するベース送り量にズレ（マイクロメータヘッド0.5mm/1回転に対して±0.02mm 程度）が生じます。手動ステージアクチュエータ自動ステージ光源索引ガイダンス X軸 XY軸 Z軸 XZ軸 XYZ軸回転ゴニオ傾斜真空仕様 TSD-604C TSD-604S TSD-654C-M6 INCH − − TSD-654CUU TSD-654SUU METRIC − TSD-604SR − TSD-654SR-M6 METRIC 品番（勝手違い） − − − TSD-654SRUU 価格〔￥〕 69,000 69,000 73,000 73,000 テーブル面サイズ〔mm〕 60×60 60×60 65×65 65×65 INCH 軸タイプ XZ軸マイクロ操作位置移動量〔mm〕センターサイドセンターサイド X軸±6.5 Z軸±5 X軸±6.5 Z軸±5 X軸±6.5　Z軸±5 X軸±6.5　Z軸±5 移動量/1回転〔mm/1回転〕 0.5 0.5 0.5 0.5 マイクロメータ最小読取〔mm〕 0.01 0.01 0.01 0.01 移動ガイドボールガイドクロスローラアリ溝すり合わせネジ式V溝その他 □15mm □25mm TSD-654S-M6 ボールガイド主要材質鉄表面処理スーパーブラッククロム＋黒つや消し耐荷重〔N〕移動精度許容モーメント荷重モーメント剛性 147 （15.0kgf） 147 （15.0kgf） 147 （15.0kgf） 147 （15.0kgf）真直度〔μm〕 2.5 2.5 2.5 2.5 ピッチング〔N・m〕 6.9 6.9 6.9 6.9 ローリング〔N・m〕 6.9 6.9 6.9 6.9 ピッチング〔″/N・cm〕 0.73 0.73 0.73 0.73 ローリング〔″/N・cm〕 0.64 0.64 0.64 0.64 平行度〔μm〕 110 110 110 110 オプション FP FP FP FP 質量〔kg〕 1.5 1.5 1.7 1.7 □40mm □60mm □65mm □80mm □100mm □120mm その他 E118 オプション　注）オプション費用は、1軸分の金額となります。オプションコード FP 適応機種品名ファインピッチスクリューアジャスター品番 FPSA-62540 移動量/1回転〔mm/1回転〕マイクロ最小読取〔mm〕オプション費用オプション解説ページ 0.25 − −￥3,000 E008 ※品番末尾にオプションコードを追加し、各種オプション仕様をご指示ください。 ※FPタイプの耐荷重は、39.2N （4.0kgf）となります。 ※FPタイプは、駆動操作用として六角レンチまたは別売のツマミ付六角レンチ（KCL）が必要となります。　F010 WEB http://www.sigma-koki.com/ E-mail [email protected] カタログコードカタログコード W7060 W7137 外形図 TSD-604C MAX44 60 25 25 32 MAX66 X軸クランプ光学素子 50 60 （11） 25 25 32 7-M4 深6 アプリケーションシステム六角穴付ボルト M4×6…4本ホルダー M16 P1 深6 4-M3 深6 ベース 33 手動ステージ 18 10.5 73±5 55 Z軸クランプ TSD-604SR 六角穴付ボルト M4×6…4本 X軸クランプ 4-M3 深6 六角穴付ボルト M4×6…4本 60 25 25 32 4-M3 深6 M16 P1 深6 MAX88 65 55 73±5 XY軸 Z軸六角穴付ボルト M6×6…4本（M6）六角穴付ボルト（黒）1/4-20UNC×1/4…4本（UU） MAX69 A X軸 1.5 1.5 A ガイダンス 18 10.5 10.5 73±5 55 18 （11） 7-C 深6 50 4-φ4.5取付穴 φ8ザグリ 4-φ4.5取付穴 φ8ザグリ TSD-654C-M6/654CUU 索引 33 Z軸クランプ Z軸クランプ 50 光源 MAX44 33 MAX88 X軸クランプ 32 25 25 60 M16 P1 深6 自動ステージ 7-M4 深6 50 60 25 25 32 MAX44 60 （11） 25 25 32 7-M4 深6 アクチュエータ 50 TSD-604S 4-φ4.5取付穴 φ8ザグリ（11） 1.5 50 XZ軸 X軸クランプ回転 A B 65 A XYZ軸 MAX41 ゴニオ Z軸クランプ傾斜 35 20 12 1.5 B TSD-654C-M6 TSD-654CUU 4-φ7取付穴 φDザグリ TSD-654S-M6/654SUU M6 P1 1/4-20UNC X軸クランプクロスローラ 65 A A 7-C 深6 （5）アリ溝 X軸クランプすり合わせネジ式V溝 B 65 B 65 その他 A A MAX41 MAX41 35 MAX91 Z軸クランプ 55 □25mm □40mm □60mm □65mm 20 品番 TSD-654S-M6 TSD-654SUU B 4-φ7取付穴 φDザグリ 4-φ7取付穴 φDザグリ A （mm） 25 25.4 B （mm） 50 50.8 C M6 P1 1/4-20UNC D （mm） 11 12 品番 TSD-654SR-M6 TSD-654SRUU B □80mm 1.5 1.5 20 12.5 55 Z軸クランプ □15mm 35 75±5 MAX91 75±5 ボールガイド A A A （11） D （mm） 11 12 C 六角穴付ボルト M6×6…4本（M6）六角穴付ボルト（黒）1/4-20UNC×1/4…4本（UU） 65 A B （mm） 50 50.8 TSD-654SR-M6/654SRUU 六角穴付ボルト M6×6…4本（M6）六角穴付ボルト（黒）1/4-20UNC×1/4…4本（UU） 7-C 深6 A （mm） 25 25.4 （11） 75±5 55 真空品番 □100mm A （mm） 25 25.4 B （mm） 50 50.8 C M6 P1 1/4-20UNC D （mm） 11 12 TOKYO TEL.03-5638-6551 FAX.03-5638-6550 OSAKA TEL.06-6307-4835 FAX.06-6307-4834 KYUSHU TEL.092-481-4300 FAX.092-481-4310 □120mm その他 E119