M a n u a l P o s i t i o n e r s WEB http://www.sigma-koki.com/ E-mail [email protected] XY軸アルミクロスローラステージ XY軸マグネット付アルミクロスローラステージ干渉計アプリケーションシステム TAM-602 ステージサイズ□60mm TAG-602S ステージサイズ□60mm アルミ製のステージ本体にクロスローラーガイドを使用した、軽量で高精度な直動ステージです。 ◦TAG-602Sは、薄型マグネットベースの上面をステージの下面として利用したマグネットベース一体型の当社オリジナル製品です。 ±6.5 mm 移　動　量光学素子 32mm 38mm 49.6 mm ステージ厚ホルダー 49N 196N 343N 耐　荷　重光源 ※TAG-602Sは除く (20.0kgf) (35.0kgf) (5.0kgf) ベース手動ステージ自動ステージアクチュエータ索引ご案内ガイダンス X軸 XY軸 Z軸 XZ軸 XYZ軸注意 ▶TAG-602Sは、送り仕様にファインピッチスクリューを使用したタイプ（品番末尾FP）もご用意しています。 W7034 ▶品番末尾にFPがついている製品は、ファインピッチスクリューを使用しています。一般的なマイクロメータヘッドではありませんので、ご注意ください。ネジピッチ0.25mmで操作する際には、六角レンチまたは別売のツマミ付六角レンチ（KCL）が必要となります。　テーブル面サイズ〔mm〕ゴニオ/傾斜移動量〔mm〕ボールガイドアリ溝すり合わせ ±6.5 クロスローラ主要材質アルミ表面処理黒アルマイト耐荷重〔N〕 196 （20.0kgf）真直度〔μm〕移動精度許容モーメント荷重 □15㎜ □25㎜ 60×60 移動ガイドネジ式V溝その他 H010 仕様回転クロスローラ ▶マイクロメータヘッドを固定している部品やマイクロメータヘッドの種類によりステージ上面から突出している場合があります。 ▶ステージに取り付ける試料の形状により、固定出来ない場合や移動量が確保出来ない場合がありますのでご注意ください。モーメント剛性 2 ピッチング〔″〕 25（但し、 TAG-602Sは40）ヨーイング〔″〕 15（但し、 TAG-602Sは30）ピッチング〔N・m〕 5.8（但し、 TAG-602Sは4.9）ローリング〔N・m〕 5.8（但し、 TAG-602Sは4.9）ヨーイング〔N・m〕 5.8（但し、 TAG-602Sは4.9）ピッチング〔″/N・cm〕 0.6（但し、 TAG-602Sは0.6）ローリング〔″/N・cm〕 0.6（但し、 TAG-602Sは−）ヨーイング〔″/N・cm〕 □40㎜ − □50㎜平行度〔μm〕 50（但し、 TAG-602Sは80） □60㎜移動平行度〔μm〕 20（但し、 TAG-602Sは25） □70㎜ □80㎜ □100㎜ □120㎜その他品番 TAM-602C TAM-602CFP TAM-602S TAM-602SFP − − TAM-602SR TAM-602SRFP 勝手違い品番価格〔￥〕 56,000 マイクロ操作位置 56,000 50,000 TAG-602S − − − 110,000 86,000※ 64,000 センターセンターサイドサイドサイドサイドサイド移動量/1回転〔mm/1回転〕 0.5 0.25 0.5 0.25 粗：0.5 微：0.025 粗：0.25 微：0.005 0.5 マイクロメータ最小読取〔mm〕 0.01 − 0.01 − 粗：0.01 微：0.0005 粗：0.005 微：0.0005 0.01 0.6 0.6 0.6 0.6 0.72 0.6 0.67 質量〔kg〕納期の目安 ※この製品は価格改訂されています。 G068 50,000 TAM-602SDM TAM-602SWP TOKYO TEL.03-5638-6551 FAX.03-5638-6550 OSAKA TEL.06-6307-4835 FAX.06-6307-4834 KYUSHU TEL.092-481-4300 FAX.092-481-4310 カタログコードカタログコード W7033 W7034 干渉計外形図 25 （14） TAM-602CFP 25 六角穴付ボルト M4×8・・・4本 3mm 25 25 光源 30.5 TAM-602SR 8-M4 深7 六角穴付ボルト M4×8・・・4本 21 60 25 手動ステージ Y軸クランプ 25 アクチュエータ 25 25 21 21 50 50 25 MAX88 60 15.5 2.5 Y軸クランプ 12.3 21 4-φ4.5取付穴 φ8ザグリ MAX88 25 （14）ベース（14） 60 50 60 25 TAM-602SRFP 38 60 25 ガイダンス 21 Y軸クランプ 25 MAX69 MAX69 M16 P1 深6 21 六角穴付ボルト M4×8・・・4本 Y軸クランプ M16 P1 深6 8-M4 深7 24.8 25 25 8-M4 深7 43.8 27.3 □40㎜ □50㎜ 25 □100㎜ 25 60 4-φ4.5取付穴 φ8ザグリ □80㎜ □120㎜（17） 25 50 □25㎜ □70㎜ 60 MAX86 25 21 □15㎜ □60㎜ 21 TAG-602S M16 P1 深6 （14）その他 19.3 Y軸クランプ 45 （16.3） 34.3 （103） 38 MAX86 2.5 4-φ4.5取付穴 φ8ザグリすり合わせネジ式V溝その他 X軸クランプ 27.3 38 50 ボールガイドアリ溝 24.8 25 21 MAX124 X軸クランプ 12.3 クロスローラ 60 50 60 Y軸クランプ 25 25 MAX124 25 60 ゴニオ/傾斜（103） 25 （14） TAM-602SWP 4-φ4.5取付穴 φ8ザグリ（14） 25 12.3 50 50 60 38 27.3 4-φ4.5取付穴 φ8ザグリ（14） M16 P1 深6 8-M4 深7 2.5 六角穴付ボルト M4×8・・・4本回転 2.5 27.3 38 2.5 （14） TAM-602SDM 50 XYZ軸 12.3 X軸クランプ X軸クランプ Z軸 XZ軸 21 21 M16 P1 深6 X軸 XY軸 60 50 MAX69 60 25 25 3mm 25 2.5 8-M4 深7 六角穴付ボルト M4×8・・・4本（14） MAX69 21 25 4-φ4.5取付穴 φ8ザグリ 50 Y軸クランプ 12.3 12.3 （14） 60 25 27.3 27.3 38 2.5 （14） M16 P1 深6 50 X軸クランプ（14） 8-M4 深7 4-φ4.5取付穴 φ8ザグリ 50 自動ステージ索引 MAX88 MAX88 25 3mm M16 P1 深6 38 15.5 38 2.5 （14）（14） 8-M4 深7 X軸クランプ六角穴付ボルト M4×8・・・4本ホルダー 8-M4 深7 30.5 4-φ4.5取付穴 φ8ザグリ 50 アプリケーションシステム光学素子 Y軸クランプ M16 P1 深6 TAM-602SFP X軸クランプ 25 MAX48 M16 P1 深6 25 六角穴付ボルト M4×8・・・4本 MAX48 60 50 60 25 MAX66 8-M4 深7 Y軸クランプ TAM-602S 60 50 X軸クランプ（14） 25 MAX66 25 六角穴付ボルト M4×8・・・4本 60 （14）（14） TAM-602C X軸クランプ G069