Manual Positioners X軸ロングスチールステージ X軸スチールステージ（粗微動）アプリケーションシステム TSD TSD-SDM 焼入れされたスチールステージ製の本体と移動テーブルに直接ガイド加工を施した非常に耐久性に優れた直動ステージです。 ◦ロングタイプは、ステージ面が長方形で、長い移動量を確保したい場合に有効です。 ◦粗微動タイプは、5mmリードのネジを採用しており長い移動量を短時間で動かすことが可能です。また、微動用のマイクロメータヘッドで光学素子微小調整が可能です。注意ホルダー ▶マイクロメータヘッドを固定している部品やマイクロメータヘッドの種類によりステージ上面から突出している場合があります。ベース ▶ステージに取り付ける試料の形状により、固定できない場合や移動量が確保できない場合がありますのでご注意ください。手動ステージアクチュエータ自動ステージ光源索引ガイダンス X軸 XY軸 Z軸 XZ軸 XYZ軸仕様回転品番ゴニオ傾斜真空 TSD-25501Ｓ TSD-40801Ｓ TSD-60121Ｓ − TSD-40801ＳＵＵ − − TSD-25501ＳＲ TSD-40801ＳＲ TSD-60121ＳＲ − 価格〔￥〕 33,000 42,000 45,000 62,000 テーブル面サイズ〔mm〕 25×50 40×80 60×120 60×160 サイドサイド（勝手違い） METRIC INCH METRIC 軸タイプ X軸マイクロ操作位置クロスローラアリ溝すり合わせネジ式V溝サイドサイド ±6.5 ±12.5 ±20 粗：±35 微：±3 移動量/1回転〔mm/1回転〕 0.5 0.5 0.5 粗：5 微：0.5 マイクロメータ最小読取〔mm〕 0.01 0.01 0.01 粗：− 微：0.01 490 （50.0kgf）移動量〔mm〕ボールガイド TSD-60161ＳＤＭ移動ガイドボールガイド主要材質鉄表面処理スーパーブラッククロム耐荷重〔N〕その他移動精度 49 （5.0kgf） 196 （20.0kgf） 392 （40.0kgf）真直度〔μm〕 1 1 1 1 ピッチング〔″〕 30 30 25 25 □15mm ヨーイング〔″〕 25 30 15 15 □25mm ピッチング〔N・m〕 3.9 7.9 19.6 29.4 ローリング〔N・m〕 2.5 3.9 9.8 9.8 ヨーイング〔N・m〕 2.0 4.9 9.8 14.7 ピッチング〔″/N・cm〕 1.2 0.2 0.1 0.07 ローリング〔″/N・cm〕 1.6 0.3 0.2 0.2 ヨーイング〔″/N・cm〕 1.2 0.2 0.1 0.09 □40mm 許容モーメント荷重 □60mm □65mm □80mm モーメント剛性 □100mm □120mm 平行度〔μm〕 30 30 50 50 その他移動平行度〔μm〕 10 10 12 15 質量〔kg〕 0.1 0.4 1.0 1.3 E036 WEB http://www.sigma-koki.com/ E-mail [email protected] カタログコードカタログコード W7009 W7010 外形図 TSD-25501SR 六角穴付ボルト M2×4…4本 15-M2 深4 10 10 10 10 クランプ 20 20 25 クランプ 10 10 50 （6.5） 15-M2 深4 光学素子ホルダー 12 12 MAX76 4-φ2.4取付穴 φ4ザグリ 4-φ2.4取付穴 φ4ザグリ六角穴付ボルト M3×6…4本、スプリングワッシャー六角穴付ボルト 6-32UNC×3/16…4本（UU） TSD-40801S/40801SUU TSD-40801SR 40 80 40 （9.5） A 15-C 深6 クランプ自動ステージ光源 17.5 17.5 A B 40 15-M3 深6 16 16 16 16 クランプアクチュエータ 32 A 16 16 A （9.5） A 手動ステージ六角穴付ボルト M3×6…4本、スプリングワッシャー 80 A ベース 12 7 1.5 40 7 12 MAX76 1.5 25 （6.5） 50 10 10 10 10 アプリケーションシステム六角穴付ボルト M2×4…4本 10 10 TSD-25501S MAX123 4-φD取付穴 φEザグリ TSD-40801S A （mm） 16 B （mm） 32 TSD-40801SUU 15.875 31.75 16 64 4-φ3.5取付穴 φ6ザグリ M3 D （mm） 3.5 E （mm） 6 6-32UNC 4 6.5 C 1.5 9 9 16 1.5 2×B 品番索引 MAX123 ガイダンス X軸 XY軸 Z軸 TSD-60121S TSD-60121SR 六角穴付ボルト M4×8…4本 4-φ8 4-φ8 120 25 25 25 120 （固定ネジ挿入穴）クランプ 15-M4 深6 25 25 25 25 （11） 25 15-M4 深6 クランプゴニオ 50 50 60 25 25 60 25 XYZ軸回転 25 （11）（固定ネジ挿入穴） XZ軸六角穴付ボルト M4×8…4本傾斜 22 22 真空 MAX189 100 TSD-60161SDM 4-φ8 （固定ネジ挿入穴） 8-φ4.5取付穴 φ8ザグリ 25 25 100 ボールガイドクロスローラアリ溝すり合わせ 160 25 50 25 25 25 21-M4 深6 クランプネジ式V溝その他 60 50 25 六角穴付ボルト M4×8…4本 8-φ4.5取付穴 φ8ザグリ 3.5 50 （11） 3.5 20 20 10.5 10.5 MAX189 □15mm 25 □25mm □40mm 32.5 □60mm □65mm 粗動ネジ 177.5 粗微動切替え □80mm 3.5 11 20 □100mm 50 150 8-φ4.5取付穴 φ8ザグリ TOKYO TEL.03-5638-6551 FAX.03-5638-6550 OSAKA TEL.06-6307-4835 FAX.06-6307-4834 KYUSHU TEL.092-481-4300 FAX.092-481-4310 □120mm その他 E037