Motion Control Products コンパクトスケール内蔵自動ステージアプリケーションシステム OSMS(CS)20-(X)　ステージサイズ□85mm 専用ステージコントローラ（SHOT-302GS/304GS・HIT-M・HIT-S）を使用する事で、高精度で信頼性の高いフルクローズドループシステムを実現する事ができます。 ◦モーメント荷重や複合荷重に強い構造は、ピッチング、ローリング、ヨーイングの影響を受けにくく、高剛性、高精度での位置決めが可能です。 ◦コンパクトスケールを内蔵していますが、同移動量の場合 OSMSシリーズと設置スペースは変わりません。光学素子ホルダーご案内ベース ▶モータ交換、落下防止機能等をご希望される場合は、営業までお問合せください。　G017、G111 （お問合せシート） ▶グリース変更はオプションで対応可能です。　G110 ▶XY軸又はZ軸でご使用する場合には、営業までご相談ください。手動ステージアクチュエータ仕様 OSMS(CS)20-35(X) OSMS(CS)20-85(X) OSMS(CS)20-35(X)-M6 OSMS(CS)20-85(X)-M6 INCH品番 OSMS(CS)20-35(X)-INCH OSMS(CS)20-85(X)-INCH 価格〔￥〕 168,000 178,000 品番自動ステージ M6品番移動量〔mm〕光源テーブル面サイズ〔mm〕送りネジ〔mm〕索引メカ仕様移動ガイドステージ上面材質表面処理質量〔kg〕ガイダンス分解能コントローラ/ドライバ ACサーボボールネジ径φ6　リード1 アウターレール構造アウターレール構造アルミアルミ黒アルマイト黒アルマイト 1.4 1.6 2 1 1 繰返し位置決め精度〔μm〕モーメント剛性ケーブルピエゾボールネジ径φ6　リード1 （Half）〔μm/パルス〕耐荷重〔N〕精度仕様 85×85 2 MAXスピード〔mm/sec〕ステッピングモータ 85 85×85 （Full）〔μm/パルス〕位置決め精度〔μm〕ソフトウェア 35 25 25 5 10 2 2 78.4 （8.0kgf） 78.4 （8.0kgf）ピッチング〔″/N･cm〕 0.4 0.4 ヨーイング〔″/N･cm〕 0.25 0.25 ローリング〔″/N･cm〕 0.35 0.35 ロストモーション〔μm〕 3 3 バックラッシ〔μm〕 3 3 平行度〔μm〕 30 30 走り平行度〔μm〕 10 10 ピッチング〔″〕 /ヨーイング〔″〕 30/20 センサスケールヘッド 30/20 マイクロフォトセンサ：GP1S092HCPIF（シャープ㈱）センサ品番リミットセンサ有（NORMAL CLOSE）原点センサ有有（NORMAL CLOSE）有近接原点センサ無有分解能〔μm〕 0.5 0.5 直動系回転系モータ/センサ仕様タイプゴニオ真空モータ　ステップ角オプション □40mm 電源電圧センサ □60mm □85mm □85mm □100mm □120mm その他モータ品番スケールヘッド 5相ステッピングモータ　0.75A/相（多摩川精機㈱） TS3664N4E10 （□24mm） 0.72° DC5～24V±10% 消費電流 60mA以下（1センサ当たり20mA以下）制御出力 NPNオープンコレクタ出力　DC30V以下50mA以下出力論理遮光時：出力トランジスタOFF （非導通）電源電圧 / 消費電流 DC5V±5％ / 50mA 適応ケーブルケーブルドライバケーブル D15D15A-CA スケールケーブル GSEF-CA-3 適応ドライバ/コントローラ制御系 G038 適応ドライバ適応コントローラ − SHOT-302GS､SHOT-304GS、 HIT-M・HIT-S WEB http://www.sigma-koki.com/ E-mail [email protected] カタログコード W9066 外形図アプリケーションシステム六角穴付ボルト M4×8…8本（35）六角穴付ボルト M4×8…10本（85） 85 75 35 35 25 25 ☆ ☆ ☆ ☆ ☆ ホルダーベース D H取付穴 F E 移動量G 品番 16 35.7 移動量G 29 A B C 光学素子 21-M4×0.7 深6 （☆深5） 25 25 70 85 OSMS(CS)20-＊＊(X) C D E F OSMS(CS)20-35(X) 183.5 60.8 A B 35.8 75 （25×3） 8-φ4.5 17.5 OSMS(CS)20-85(X) 233.5 85.8 35.8 100 （25×4）手動ステージ 10-φ4.5 42.5 アクチュエータ六角穴付ボルト M4×8…8本（35）六角穴付ボルト M4×8…10本（85） OSMS(CS)20-＊＊(X)-M6 自動ステージ 85 75 35 35 25 25 光源 12-M4×0.7 深6 （☆深5） 25 25 70 85 A D C ガイダンス移動量F 品番 16 35.7 移動量F 29 9-M6×1 深6 （☆深5） B E取付穴索引 A B C D OSMS(CS)20-35(X)-M6 183.5 60.8 35.8 75 （25×3） OSMS(CS)20-85(X)-M6 233.5 85.8 35.8 100 （25×4） E F 8-φ4.5 17.5 10-φ4.5 42.5 コントローラ/ドライバソフトウェアステッピングモータ 85 69.85 ピエゾ 6-1/4-20UNC 深6 （☆深5） B C 移動量F 品番 35.7 D 25.4 25.4 85 76.2 E取付穴 29 16 ケーブル 85 76.2 34.93 34.93 12-8-32UNC 深6 25.4 25.4 （☆深5） A 移動量F ACサーボ六角穴付ボルト 8/32UNC×5/16…8本（35）六角穴付ボルト 8/32UNC×5/16…10本（85） OSMS(CS)20-＊＊(X)-INCH C D E F OSMS(CS)20-35(X)-INCH 183.5 60.8 A B 35.4 76.2 （25.4×3） 8-φ4.5 17.5 OSMS(CS)20-85(X)-INCH 233.5 85.8 35 101.6 （25.4×4） 10-φ4.5 42.5 直動系回転系ゴニオ真空 ■適応コントローラ/ドライバとケーブル Controller Cable Stage オプション □40mm □60mm SHOT-302GS〔2軸〕 SHOT-304GS〔4軸〕 HIT-M・HIT-S 〔8軸〕 □85mm D15D15A-CA □85mm G108 OSMS(CS) Cable □100mm □120mm その他 G102∼G103 GSEF-CA G109 TOKYO TEL.03-5638-6551 FAX.03-5638-6550 OSAKA TEL.06-6307-4835 FAX.06-6307-4834 KYUSHU TEL.092-481-4300 FAX.092-481-4310 G039