FISCHERSCOPE MMS PC

FISCHERSCOPE® MMS® PC 2
膜厚測定と材料試験の汎用型測定装置
FISCHERSCOPE® MMS® PC 2 は各種測定とデーター処理ができる卓上型の汎用測定器です。
・コーティング厚み測定
・手動と自動の測定モード
・非鉄金属の導電性測定
・測定データーの統計処理と評価
・オーセンティック鋼とデュープレックス鋼
のフェライト含有量の測定
・測定データーの報告書作成機能
・8chモジュール構成
Coating Thickness
Material Analysis
・検査工程や製造ラインに組込み可能
・PCやネットワーク上にデーター転送
Microhardness
Material Testing
2012 Dec 17
システム概要
何が測定できるか？
・鋼や鉄下地上のペイント、ラッカー、プラスチックの厚み
・非鉄金属下地上のペイント、ラッカー、陽極酸化膜の厚み
・鋼や鉄、非鉄金属の下地上の金属層厚み
・非電導、非磁性、磁性の下地上の磁性層(Niなど)の厚み
・プリント回路基板上の銅被膜厚
・プリント回路基板のスルーホール内壁の銅被膜厚
・金属上の油やワックス膜厚（非接触測定）
・非鉄金属の導電率
・オーセンティック鋼とデュープレックス鋼のフェライト含有量
測定器の特徴
・Windows CEを使用（WordやExcelに相当するアプリが使用可能）
・多言語仕様（日本語、米、独、仏、伊など）
・測定アプリケーション1000種、測定値１００万個記憶
・大型カラーLCDタッチスクリーン
・８台までのプローブを同時使用 (同種類か多種類混合で)
・目的(膜厚、導電性、フェライト含有量)別のモジュール使用
・接続用モジュールにより、PCカードやCFカードでメモリ拡張が可能
・USB/LAN用モジュール使用で、USBやLAN経由のメモリ拡張が可能
・標準で、キーボード/マウス(P2)、プリンター(パラレルポート)、PC を接続
・データー転送がASCII(CSV)、Q-DAS、htmlフォーマットで可能
・顧客独自の印刷用テンプレート作成機能
（注）CF:コンパクトフラッシュのこと
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General instruments for coating thickness measurement and material testing FISCHERSCOPE® MMS® PC 2
独立した装置として
・研究室で各種の測定
・プリンターポート付
・ PCキーボード、マウス接続 (PCのような操作ができます)
・ COMポートで電動プローブスタンドか電動XYステージに接続
・データ保存：PCカード、コンパクトフラッシュ、USBスティック
... またはシステムに統合して使用
膜厚、導電性、フェライト含有率などのうちど
の測定を選択するかにより測定方式が異なって
きます。また膜厚測定においても、コーティン
グ膜と下地材料の組み合わせにより、いろいろ
な測定方式を選択する必要があります。そこで
FISCHERSCOPE MMS PCは多種類のアプリケー
ションに応用できるように容易に変更できるモ
ジュール構造になっており、目的別にいろいろ
なモジュール構成ができます。
そのためモジュールボードには、様々な種類が
あり測定目的に合わせて選択することができま
す。最後にアプリケーションに適合するプロー
ブをモジュールボードに接続します。
・ LAN接続で中央メモリー制御と統合
・製造ラインに組み込んで自動測定(外部PCかPLC制御使用)
・ MS Excel, Q-DASなどにデーター転送
FISCHERSCOPE MMS PCには、通常以下のような
標準インターフェースがついています。
↓下の８ｃｈモジュール部分は、アプリーケーションに合わせて組合せを変更して使用
MMC PC　裏側
プリンター：
プリンター用
パラレルポート
キーボード・マウス：
それぞれにP2 ポート
で接続
COM1:
RS232 インター
フェース(PCとの
接続などに使用)
外部起動スイッチ：
フットスイッチなど
で測定開始の入力を
するときに使用
12VDC/1.2A:
電源コネクター
多目的ポート：
TTL 信号出力ができ
制限値のモニターな
どに使用
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モジュールボード説明
膜厚とフェライト含有量測定用　Module board PERMASCOPE®
このモジュールボードは：電磁式(ISO2178,
ASTM B499) と渦電流式(ISO 2360, ASTM
B244) 向けに使用できます。
対象の産業分野：
・メッキ工程・自動車産業
・塗料製造や塗装工程
・航空機、鉄、金属建造物
・化学産業
測定原理
電磁 (誘導) 式 ( ISO 2178, ASTM B499 )
接触式。プローブの鉄心に作った低周波の交流電
磁石を磁性基板に近ずけると、励起電流による低
周波の磁場の強さが電磁誘導のためプローブと基
板の距離に相関して変化します。その磁場の強さ
を測定用コイルにより測定して膜厚に変換しま
◆ 膜厚測定
す。
(注)プローブ先端と下地の距離を厚みに変換する
電磁式のアプリケーション
方式なので、プローブが定圧で測定面に接触して
いることが重要です。
・強磁性体基板上の非磁性膜測定：
鉄や鋼の上の亜鉛、クロム、銅、錫、
ペイント、ラッカー、エナメル
プローブの鉄心
低周波磁界
励起電流
測定信号
電磁式によるZn層の測定:プローブ EGAB1.3 使用
非磁性膜
渦電流式のアプリケーション
・非鉄金属上の絶縁体の膜厚測定：
アルミ、真鍮、亜鉛上のペイント、
ラッカー、プラスチック被膜
鉄・鋼の下地基板
・アルミ上の陽極酸化膜
渦電流(振幅感応)式 (ISO 2360, ASTM
B244)接触式。励起電流による高周波の磁場が、
導電性非鉄金属の下地基板に渦電流を発生させま
す。その強さはプローブと基板の距離に相関して
います。発生した渦電流は元の磁場を打ち消す方
向に発生するので、その強さを測定して厚みを
算出します。
・アルミ製の缶表面やチューブの内外壁
の上のラッカー層
・導電性非鉄金属上の非導電性非鉄金属
膜厚：銅、アルミ、真鍮上のクロム、
非電解ニッケルメッキ厚
渦電流式でアルミ部品上の酸化膜定：プローブ
ETA3.3使用
◆ フェライト含有量測定
プローブの
フェライトコア
励起電流
測定信号
フェライト含有量測定は　DIN 32514-1
とBasler Norm 準拠の方式で電磁誘導方式
で計測します。磁性成分のすべてを測りま
す。例：変性マルテンサイトや他のフェラ
イト相（デルタフェライトを含む）などの
検査
非電導・
非磁性膜
励起され
た渦電流
フェライト含有量測定の実例：
・溶接接号部や溶接張合部の検査
・オーセンティックとデュープレックス鋼
高周波磁界
電磁方式によるフェライト含有量の測定：プローブ
EGAB1.3-Fe 使用
導電性非鉄金属の基板
＊プローブの一覧表はP14をご覧ください。
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General instruments for coating thickness measurement and material testing FISCHERSCOPE® MMS® PC 2
モジュールボード説明
コーティング膜厚測定用の Module board NICKELSCOPE®
このモジュールボードは永久磁石使用の磁気方式 (ISO 2178)を使用しています。
膜厚測定
応　用　例：　電気メッキ、自動車部品
・非導電性か非磁性材料基材上の電解
ニッケルメッキの厚み測定
磁気測定方式(ISO2178)の測定原理：
接触式。永久磁石の磁界がニッケル層の
厚みや測定用プローブと基板の距離に相
関していることを利用しています。ホー
ル効果による磁束密度の変化を厚み信号
に変換します。
プローブの永久磁石
一定の磁界
・磁性基板上の非鉄金属の膜厚測定
（例：鋼や鉄下地上のCu, Al, Ni ）
測定信号
・厚い膜厚に有利：磁気誘導式ではない
ので渦電流発生による干渉が起きない
ホール効果
センサー
U = f(th)
Ni 厚み
ピストンのNiコーティング厚の測定：
磁気式のプローブ probe EN3を使用
絶縁基板や
非鉄金属基板
膜厚測定と導電率測定の Module board SIGMASCOPE®/PHASCOPE®1
このモジュールボードは渦電流位相式 (ISO 21968) を使用しており非接触式の測定をします。
渦電流位相(感応方)式(ISO21968)：
応用例：　・電気や電子産業
・電気メッキやアノダイジング
・航空機や金属構造物
・自動車産業
非接触式。高周波の励起電流により発生
した高周波磁界が膜厚層、もしくは基板
材の、中に渦電流を起こす。膜厚層と基
板材においては異なる形態の渦電流が発
生するが、それぞれ膜厚の測定に使用し
ます。また材料の導電性に渦電流が影響
を受ける性質を利用して導電率を測定し
膜厚測定
ます。実際には励起電流と測定電流の間
の位相角度差を演算処理して、膜厚や導
・磁性基板上の導電性の磁性体か非磁性体
の膜厚層 (例) 鉄基板上の亜鉛やニッケル
・低電導性で非磁性の基板上の高導電性 /
磁性膜厚層 (例)ステンレか真鍮上の銅
電率の測定値とします。
荒い面を持つ部品の膜厚測定： Fe基材上のZn膜を
位相感応型のプローブESD20Zn で測定
フェライトコア
高周波磁界
励起電流
・非電導性材料上の導電性の非磁性膜厚層
(例) プリント回路基板上の銅膜厚測定が
銅の上にラッカーがコートされていても
できます。
導電性金属
導電性の測定
・すべての非磁性金属の導電率の測定。
絶縁基板
鉄基　板
非鉄金属基板
（例）アルミ、銅、真鍮、ステンレス鋼
導電率の温度補正は、標準温度+20℃に対し
てサンプルの温度を手入力するか、プローブ
に内蔵された温度センサーや外部センサから
の入力値を使うことができます。
＊プローブの一覧表はP14をご覧ください。
アルミ材の強度検査のために高周波渦電流による
導電性を測る：プローブ ES40 使用
測定信号
励起された
渦電流
(絶縁基板以外)
渦電流強度ではなく位相角度差を利用し
ているので、ある一定の範囲では、測定
値がプローブと測定面の間の距離に影響
されないのが特長です。 (注)影響を受けな
い距離はプローブにより異なります。
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モジュールボード説明
プリント回路基板スルーホール内壁の銅膜厚測定　Moduleboard SGMASCOPE® / PHASCOPE®2
このモジュールボードは渦電流位相式 (ISO 21968) を使用しており、モジュールボードのSIGMASCOPE/ PHASCOPE1との組み合わせ
で使用します。
プリント回路基板のスルーホール内壁
の銅膜厚測定を非接触で行います。銅
層の上に SnやSnPb膜があっても銅層
だけを選択的に直接測定できます。
特製プローブESL080BとESL080Vがこの特
種測定アプリケーション用に開発されまし
た。測定機能を持った針状のプローブ先端
を穴の中に差し込んで測定します。特許の
プローブは穴の縦方向に渦電流を起こしま
す。横方向の基板中間の銅層やプローブ先
端と穴内壁との距離に測定値が影響を受け
ない設計になっています。
応用例：電気電子産業やプリント基板製造
測定
センサ
測定
センサ
distance
ring
Cuラミネート層
Cuラミネート層
エポキシ
基材
エポキシ
基材
ESL080B
Cuメッキ層
ESL080V
測定原理：
渦電流位相(感応方)式 (ISO 21968) の原
理を使用。プローブの高周波磁界により
励起された、銅内壁層の渦電流は励起電
流の影響を打ち消す方向に発生します。
この力は銅の厚みの大きさに相関して大
きくなります。特許のプローブ設計によ
り渦電流は穴の縦方向に広がります。特
製プローブ ESL080B と ESL080V を使用
しています。
渦電流
測定用プローブ仕様
穴　内　径：　0.8 mmより大口径
PC 基板厚：　0.6 mm以上から
測定レンジ：　5 ～ 80µm（銅厚）
PC基板のスルーホール内壁の銅厚み測定：
プローブESL080B と ESL080V を使用
積層された中間層
銅メッキ層
プリント回路基板上の銅膜厚測定　Module board SR-SCOPE®
このモジュールボードは微小抵抗測定法
DIN EN 14571による銅膜厚測定法式で
す。この方式は特に多層基板や薄膜層に
向いています。表面の銅膜を測定すると
きに、下層の銅膜層に誘導電流のような
電気的浸透がないので、その影響を受け
ルことがなく高精度を保つことができま
す。
応用例：電気電子産業やプリント基板製造
・プリント回路基板表面の銅被膜厚の測定:
下層にある銅の層の影響を受けない。
プローブ２台モード使用可能。
微小抵抗測定法(DIN EN 14571)
接触式。プローブはサンプル表面を４つの電
極で接触する。外側の電極２個で膜厚層に電
流を流し、内側の２本の電極間の銅膜厚層を
電気抵抗体として、その間の電圧降下を測り
ます。その値は直接的に銅の膜厚に比例しま
す。校正値を使用して、この微小な電圧降下
値を銅の膜厚に変換します。このとき、銅の
抵抗値は温度の影響を受けるので、補正が必
要になる場合があります。
電流源
・プローブERCU D10：
I
測定距離が約26 mmより大きい場合
U = f(th)
I
・プローブERCU N：
測定距離が約4 mmより大きい場合
温度補正用には表面温度を手入力する場合
と、温度測定モジュールに取り付けた温度
センサーの入力を使用する場合の両方が使
用できます。
測定面積が大きいプローブERCU D10
＊プローブの一覧表はP14をご覧ください。
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エポキシ・ベース材
Cu膜厚層 th
モジュールボード説明
膜厚測定と材料比較測定　Module board BETASCOPE®
このモジュールはベーター線反射方式（ ISO 3543, ASTM B567準拠）用です。
この方式は、材料の磁性や導電性に関係なく、物質の質量に応じた測定ができます。
膜厚測定　（ベーター線反射式）
応用例：電器電子産業、プリント基板、
自動車産業、消費材など、印刷産業
・非鉄金属、鉄、絶縁材の上の油膜、
グリース膜、ラッカー、プラスチック、
セラミック膜
ベーター線反射方式 (ISO 3543, ASTMB 567)
放射線源によりベーター線(電子線) を照
射します。放射線が塗膜のある材料に照
射されると、塗膜層と下地材の原子と相
互作用をおこします。反射された電子線
の数が厚さと相関するので、これをガイ
ガーミューラー計数管で測定します。膜
・メッキされた鋼鉄シート上の亜鉛を
含んだ有機系コーティング
・金属か非導電性材料の上の金属膜
(注) BETASCOPEの測定用ステージとハン
ドプローブ(ベーター線発生器と絞り付) は
すべてModule board BETASCOPEに接続
できます。
測定原理：
厚は膜と基材の原子番号に少なくとも５
以上の差があると計測可能です。
計数管
count rate = f(th)
有機系薄膜フィルム測定用ハンドプローブ
Z15NG：（例）油膜やグリース膜など測定
放射線源
反射された
電子線
絞り用リング
測定範囲
厚さ　th
放射線の種類→
Pm-147
Tl-204
Sr-90
C-14
膜
下地基板
Ag, Rh, Pd
Cu, Ni, Fe
1.2 – 4.0
5.5 – 22
15 – 70
–
Al
Cu, Ni, Fe
4.5 – 20
25 – 100
90 – 400
–
Au
Cu, Ni, Fe
0.5 – 2.0
2.5 – 10
5.5 – 35
–
Cd
Cu, Ni, Fe
1.5 – 5.0
7.0 – 30
15 – 70
–
Cr
Al
2.0 – 8.0
8.0 – 30
–
–
SnPb(60/40)
Cu, Ni, Fe
1.1 – 4.5
5.0 – 28
10 – 80
–
Ni, Cu
Ag, Mo
1.5 – 5.0
9.0 – 30
20 – 100
–
Sn
Cu, Ni, Fe
1.8 – 5.5
7.5 – 35
15 – 100
–
Zn
Fe, Al
2.0 – 6.5
4.0 – 30
–
–
Lacquer
Ni, Cu, Al
11 – 40
50 – 200
80 – 800
3 - 11
Oil and
lubricating film
Cu, Ni, Fe, Al, Mo,
–
–
–
1 - 11
Ag, Au
材料比較測定（ベーター線透過式）
ベーター線透過式測定法で材料比較測定
が行われます。この方式はサンプルと比
較用標準との間の差分を、単位面積当た
りの質量や膜厚に変換します。この透過
式を使用する場合は測定ステージZ6NG
が必要になります。
絶縁体・鋼・非鉄金属の基板
測定範囲（µm）
ベーター線透過式
放射線発生器とガイガーミューラー計数
管の間の放射線通路に薄いフィルムを挟
むと、ベーター線がその質量に応じた度
合で、減衰します。これより単位面積当
たりの質量を計算します。また基準サン
プルと比較することにより、コーティン
グ膜の厚さとして得ることができます。
計数管
応用例：箔の厚み検査、布の均一性検査
薄いサンプル
th
電子線
放射線源
測定ステージ
下側ベース
カレンダー工程後のスクリーン印刷した布の均一
性検査：　測定ステージ Z6NG 使用
放射線保持台
モジュールボード説明
Module board TEMPERATURE
Module board COM2
温度測定用に設計されたモジュールボード
で、表面温度プローブTF100A (Pt100セン
サー) を使用。
このモジュールボードは RS232インター
フェース(COM2)の追加用です。
FISCHERSCOPE MMS PCはRS232(COM1)を
一個標準装備していますが、連続測定をす
るために電動プローブサポート台V12-AM
を PCに接続して制御する場合にはCOM2と
して使用します。
測定範囲: -20 ～ +80 ºC.
温度補正のために材料の温度を測定するこ
とができます。例えば、放射線C14を使
用してベーター線反射型方式
(module
board BETASCOPE)や、電気抵抗を利用し
た測定(module board SR-SCOPE)をする
場合などです。
上記は現在温度値の手動で承認をする画面です。こ
の例では、温度承認ボタンを"<<Temperature"を押
すことにより、現在温度が測定値補正に使用されま
す。温度プローブTF100AはTEMPERATURE module
に接続します。また温度プローブより自動的に温度
を入力することもできます。
連続測定をするためには、測定データーを評価用PC
にオンラインで送る必要がありますが、標準のRS232
インターフェースCOM1で行われます。電動プローブ
サポート台V12-Aは RS232インターフェースCOM2モ
ジュールで接続されMMS　PCで制御できます。
(V12-AMの写真はページ15参照)
Module board MMS® PC PCMCIA
このモジュールボードを使用して PCカード
(PCMCIAｶｰﾄﾞ)によるメモリーの拡張ができ
ます。またアダプターによりCompactFlash
カードも使用できます. 内部の標準メモリー
は測定アプリケーション1000種類と測定値
100万点が記憶可能ですが Module board
MMS PC PCMCIA を使用して PCカードや
CompactFlashカードで外部保存やメモリー
拡張ができます。
アダプターによりCompactFlashcardsを使用して、
データー保存やメモリー拡張ができます。
Module board LAN/USB
このモジュールボードはLANを１個
と USBポート２個をサポート。
ネットワーク: Ethernet
転送レート: 10 MBit/s
L A N 接続 : RJ45-socket
U S B ポート : USB (2.0 対応)
LAN接続によりFISCHERSCOPE MMS PCを外
部システムと連携させることができます。
ネットワーク接続で以下のことができます：
・データーの格納
・データー交換 (MMS PCとネットワーク間)
(例) ネットワークヂレクトリー上に各アプリ
ケーション用測定ファイルの収納と呼込み。
・測定プリントフォームをネットワーク上に転送
・ネットワークプリンターに印刷出力
MMS® PC
USBポートでプリンンター接続
USBポートでＵＳＢスティック使用
複数台のFISCHERSCOPE® MMS® PC 測定器をネットワークで統合管理できます。
ソフトウエア
測定レポート
◆ 使いやすい設計
◆ 測定データーの表示各種
FISCHERSCOPE MMS PC が使用している
Windows CE ベースのアプリケーション
ソフトはWORDやEXCELに類似していま
す。機能的で学習しやすいソフトになっ
ているうえ　すべての測定方式に共通で
す。大型カラーLCDタッチスクリーンに
より、メニューを開きパラメーターを選
択することが簡単にできます。例えばス
タイラスを使用して直接スクリーン上の
選択ボタンの操作や数値の入力ができま
す。 PC用のマウスやキーボードが使用
できます。
FISCHERSCOPE MMS PC には、測定
データーデスプレイ表示にいくつかの
オプションがあり、アプリケーション
に応じて選択できます。
数値表示
測定データーの最新値か指定された測定
値が見やすく拡大表示されます。
設定リミット値表示
各読み込み値のリミット値に対する位置
関係がわかるように表示。
今日では使用者のニーズに合った形式で
文書作成機能を提供するのが標準になっ
ています。FISCHERSCOPE　MMS PC に
おいても希望の文書テンプレートを、大
量に登録できます。テンプレートのひな
形を全アプリケーション向けに用意して
あります。各テンプレートはアプリー
ケーション別に登録できます。またその
中に、例えば、会社のロゴやサンプルの
図などを入れることもできます。
個別のテンプレートの作成は、出力した
い項目(日時、統計値、測定値など) を
選択するだけで簡単にできます。
制御カード表示
製造工程監視用 (例：コーティング工程)
◆ 測定データーの記録
基本的には各測定データーはそれぞれの
アプリケーションファイルの中に記憶さ
れます。データーのグルーピング方法に
より２通りの方式があります。
タッチスクリーン上で簡単に素早くパラメー
ター選択ができます。(スタイラス使用)
まず各アプリケーション用パラメーター
ファイルを設定します。各ファイルは各
測定アプリケーション関連すべてのデー
ターと設定値が登録されています。キャ
リブレーションに関連するサンプルの材
質や形状を始め、測定値の取り込み、表
示、評価のための設定値などが登録され
ています。例えば、ブロックサイズ、上
下限値、温度補正の設置値などです。
検査情報としてオペレーター名、プロダ
クト名、プロダクト番号、バッチ番号、
注門番号、製造日などが各測定データー
ブロック内に記録できます。
・ディフォールトモード
測定データは計測順に連続してそのア
プリーケーションファイル内に登録さ
れます。ブロック単位に分割する場合
があります。
・マトリックスモード
測定データーがフィールド (マトリッ
クス) 別に分割して記録される。測定
中のフィールド変更は手動でも自動
でもできます。
測定データ用文書と同様にテンプレート
を多数登録できます。フォーマットとし
てASCII, Q-DAS, HTMLのいずれかを使用
して測定値やパラメーターをテンプレー
トの形で出力できます。
多チャンネル同時測定
同時に最大８か所の測定をすることができ
ます。測定データーは登録と処理が各アプ
リケーションの中で行われます。
◆ データーの評価
FISCHERSCOPE MM PC は広範な種類の
統計データーを、ボタン一つのリクエス
トで提供します。その内容は特性を表す
統計値で平均値や標準偏差などです。評
価はアプリケーション全体か測定ブロッ
ク単位で行えます。グラフによる測定値
表示は全体像を見やすくします。度数分
布表やヒストグラムはシステマチックな
変動要因を明確に表示します。
Factory Diagnosis Diagram(FDD) は各測
定項目において、迅速にばらつき状況の
全体像を提示します。さらにブロック単
位のデーター同士を比較することができ
ます。これにより、製造工程の状況が一
目で評価できます。また納品ブロックご
との違いを受け入れ検査工程で確認でき
ます。
FDDグラフを使用しての測定データーの展開
データー出力
上の写真は４台のプローブEGAB1.3.を使用した自動
ペイント膜厚測定ラインです。下はその４か所の膜
厚測定結果を表示しているディスプレイ画面です。
技術仕様
機器コンセプト：
様々な測定方式をモジュールボード交換に
て使用でき最大８chまで同時使用可能
測定方式：
・磁気方式 (ISO 2178)
・電磁方式 (ISO 2178, ASTM B499)
・渦電流振幅感応方式 (ISO 2360, ASTM B244)
・渦電流位相感応方式 (ISO 21968)
・微小抵抗値方式 (DIN EN 14571)
・ベーター線方式 (ISO 3543, ASTM B567)
測定項目：
・膜厚、電導率、フェライト含有量、温度
測定用プローブ：
モジュールボードには type Eシリーズの
フィッシャープローブ用コネクターと測定
ステージ全機種共用のコネクターがついて
います。本体は同時にプローブ８本まで使
用できます。
ソフトウエア：
・Windows CE 用アプリケーションソフト
で Windowsタイプが使用できる。
・多言語サポー (日本語、独、英、仏など)
・入力方式：タッチスクリーン、 PCマウス
とキーボード(P2)
・特徴：アプリケーションとの接続、アプ
リケーションンセキュリティ、プログラ
ムエリアのアクセス防止、警報値監視
測定データーの記録：
アプリケーションファイルに
記録されま
す。測定値、アプリケーション設定値、名
称、ブロック名や測定日時などのテスト情
報を記録。さらに標準化やキョリブレー
ションの際に作られたパラメーターが記憶
されます。　またリンクモードによりデー
ターは各アプリケーションファイルへ記録
されます。
データーの記録は、いくつかの方法にて
行われます：
・標準モード：測定値はアプリケーション
ファイル内の連続したブロック内に記録
されますブロックは指定された測定値数
(ｎ)が満たされると自動的に次のブロック
を作ります。平均値は自動計算。
・マトリックスモード：測定値はマトリッ
クスフォームでブロックに記録。ブロッ
クの変更はどのブロックでも手動や自動
(指定した手順使用)で行えます。
多チャンネル測定：
最大８個のプローブからの測定値の表示
を同時に行い、一つのアプリケーション
ファイルに記録できます。
測定値などの表示：
・数値表示：最新読み込み値を大きな文字
で表示。
・リミット値表示：リミット値が表示され
ているグラフの中に測定値を表示
・SPC制御チャート：X/R や X/sチャートと
して、制御チャートを表示
・単純な表示：最新測定値のみを大文字で
表示できます。
・各測定項目別に各種単位が使用可能　- 膜厚: メートル法かimperial
- フェライト濃度: Fe% or WRC-FN
- 伝導率: % IACS or MS/m
- 温度: ℃ か℉
＊そのた任意の単位使用可 (例：g/m2）
・ディスプレイの解像度が選択できます。
ディスプレイ：
タッチスクリーンつき大型高解像度カラー
LCD (画面サイズ 170 x 130mm)
測定値読込みタイミング：
・プローブのタッチダウンで自動読み込み
・外部の読み取りスイッチで
・連続測定モード開始スイッチで
・設定された一定間隔で自動測定(プローブ
タッチダウンか外部スイッチONで開始)
評価：
統計的評価のために以下のように様々な数
値が使用できます：
・平均値、標準偏差、変動係数、最大最小値、
サンプル点数、個別とブロック単位の統計
・プロセス能力を表す計算値のCpとCpk
・異常値の排除、ヒストグラム、分布グラフ付き
度数分布表、FDD
・ブロックグループでの評価(ブロックの特性値
でのフィルター処理したデータ使用)
装置寸法： W351 x H165 x D270 mm
装置重量：約5 kg （フル装備で）
環境温度：+10 ～ +40 ℃
接続端子(標準)：
・プリンターポートCentronics parallel
・RS232
・複合コネクター(上下限値警報出力、
外部スタート)
・PC キーボードとマウス接続(P2)
・測定開始の外部入力などのコネクター
・電源：12VDC/1.2 A (ACアダプター使用)
接続可能なプリンター：
・Centronicsインターフェースの
プリンター
・USBポート(2.0まで)があり、PCL、
ESC/P相当が使用可能なプリンター
文書作成：
・生の測定値、ブロック分けした測定
値、最終処理値、設定リミット値(プ
リントフォーム仕様)の印刷。
SPCチャート、ヒストグラム、度数
分布表、FDDの印刷。
・プリントフォームのカスタマイズ
可能。フォーム数に制限なし。
データ収納：
・内部メモリーは、アプリ1000種類と
百万点の測定値記憶可能。
・PCMCIAカードに収納
(モジュールボードPC/PCMCIAが必要)
・CompactFlashカードに収納
(モジュールボード PC PCMCIAとPCカード
アダプター603-395 が必要)
・USBスティックに収納
(モジュールボードLAN/USBが必要)
・ネットワークに収納
(モジュールボードLAN/USBが必要)
データー送信：
・RS232でPCに接続して、オンライン
とオフライン両方で送信可能
・テキストでエクセルに出力可能
(ASCHIIファイルでエクセルスプレッド
シートに転送、Q-DAS か htmlフォー
マット使用)
注文番号一覧 1/2
FISCHERSCOPE® MMS® PC 測定装置
スロット数
FISCHERSCOPE MMS　PC 本体
付属品：RS232, Centronicsと多機能コネクター, Windows CEベースのアプリケーションソフト,
AC電源アダプター (出力12VDC)
8ｃｈ
発注番号
603-381
使用可
以下がモジュールボード各種一覧です。　プローブ詳細一覧は14ページ参照。
モジュールボード名
使用目的
接続できるプローブ
測定ステージ
必要な
スロット数
発注番号
Module board PERMASCOPE MMS PC
電磁式と渦電流式（振幅感応型）による膜厚測定用
電磁式によるフェライト含有率測定用
電磁式 E-probes
渦電流式 E-probes
両用プローブ(ED10, EDX10)
EGAB1.3*Fe プローブの全機種
1
603-382
Module board NICKELSCOPE MMS PC
磁気式の膜厚測定用
タイプ EN3プローブ
1
603-383
Module board BETASCOPE MMS PC
ベーター線反射式による膜厚測定
Z6NG, Z9NG, Z11NG (全放線線源),
Z15NG
2
603-384
Module board SR-SCOPE MMS PC
微小電気抵抗式による銅膜厚測定（電子回路基板むけ）
ERCU D10
ERCU N
1
603-385
Module board SIGMASCOPE / PHASCOPE1
渦電流位相方式による膜厚測定と伝導率測定用
測定周波数： 60, 120, 240, 480, 1250 kHz
ESD20Zn (Zn/Fe; Cu/Fe),
ESD20Cu, ESD20Ni,
ESD2.4 ES40, ES40HF
ES20, ES24
2
603-592
Module board SIGMASCOPE / PHASCOPE 2 MMS PC
銅膜厚測定 (電子回路基板のスルーホール内壁用)
(注) module board SIGMASCOPE /PHASCOPE1 (603-592)が必要です。
ESL080B
ESL080V
1 (3)
603-625
Module board PHASCOPE DUPLEX MMS PC
電磁式・渦電流振幅感応式・渦電流位相感応式を共用の多重式膜厚測定
ESG20
1
603-730
Module board TEMPERATURE MMS PC
温度測定プローブ TF100 Aを使用して温度測定
温度測定プローブ TF100A
1
603-390
Module board COM2 MMS PC
RS232 インターフェース (２個目のRS232 接続が必要なとき使用)
サポートスタンド V12-AM
XY-stage
1
603-887
Module board LAN / USB MMS PC
・ネットワークへLAN接続 (接続ケーブル LAN J45, 603-397)
・LANカード付きのPC へ接続(接続ケーブル LAN J45 twisted, 603-400)
・接続用USBポート 2 ch（プリンターやUSBメモリーなどUSB接続用）
プローブ接続不可
1
603-391
Module board PCMCIA MMS PC
・拡張メモリー用のPCカード接続用
・CompactFlashカード (PCカードアダプター使用で)接続用
プローブ接続不可
1
603-392
注文番号一覧 2/2
付属品　全般
発注番号
Support stand V12
602-260
Support stand V12-AM; MMS PCより制御可能な電動のプローブ支持台
603-717
接続ケーブル MMS/PC-AT-Set; V12-AMをMMS PCに接続するケーブル（本体のRS232インターフェース使用）
602-220
取り付け金具：直角プローブを、サポート台 V12 と V12-AMに取り付け
600-077
取り付け金具：内壁プローブを、サポート台 V12 と V12-AMに取り付け
601-691
取り付け金具：16mm同軸プローブ(例：ET3.3, ESD1, ESD2, ESD3, ESC1, ESC2, ES2, S2, ...)をサポート台 V12 や V12-AMに取り付け
600-213
ネジ・締め付け金具用の取り付け台座（クイックタイプ）
602-916
接続ケーブル ActiveSync; MMS PC と PC 間のデーター交換用（RS232 interface使用で）
603-396
接続ケーブル LAN RJ45; MMS PCをネットワーク接続
603-397
接続ケーブル LAN RJ45ツイスト; MMS PC をLAN cardで、PC に接続
603-400
ソフトウエア PC-Datex; Excel spreadsheetにデーター転送
602-465
ソフトウエア PC-Datacc; Access databaseにデーター転送
603-028
プリンター F6000; MMS PCにインクジェットプリンターを接続
603-409
PC-Cardアダプター（module board PCMCIA MMS PC用）; CompactFlashカードを接続するため
603-395
接点出力用アダプターMMS; 絶縁された信号出力(relay)、設定限界値を取得するため（MMS PCの多目的コネクタに接続）
602-270
フットスイッチ式　Pedal MMS; 測定値評価の開始を外部より起動　（MMS PCの外部起動コネクターに接続）
600-152
電源　MMS PC 100-240V (spare part)
603-480
module board BETASCOPE® 用付属品
発注番号
汎用測定台　Z6NG*
602-261
測定台 Z14NG*
602-250
ハンドプローブ Z9NG*
600-460
直角プローブ Z11NG*
600-471
ハンドプローブ Z15NG;　ベーター線エミッター C-14 専用
602-789
汎用測定台 Z6NG用　補助キット
602-371
アダプター Beta 32 mm; エミッターや絞りリングの保持用アダプター（汎用測定台 Z6NGむけ）
600-550
位置決め治具（ハンドプローブ Z9NG用）
600-461
＊以下の表よりベーター線エミッターを選択
ベーター線エミッター
提供可能な放射線源は以下の通りです。追加や特注のアパチャーリングはご用命ください。
放射線源
PM-147
絞りリング開口部寸法
エネルギー
半減期
ø 0.63 mm
0.22 MeV
2.65 years
ø 0.63 mm
600-488
600-489
0.63 x 1.2 mm
Tl-204
発注番号
0.76 MeV
3.65 years
600-490
600-491
0.63 x 1.2 mm
SR-90
ø 1.6 mm
2.27 MeV
28 years
600-492
C-14
ø 20 mm
0.156 MeV
5680 years
600-493
代表的プローブ
電磁式膜厚測定用プローブ　(NF, Iso/Fe)
測定システムの適応性と精度は、主
にセンサー部分とプローブの品質に
より決まります。ヘルムートフィッ
シャー社は様々なアプリケーション
向けに広範な種類のプローブを取り
揃えています。多様な測定対象に対
応して、プローブは形や構造が違っ
たものが必要になります。当社のア
プリケーションエンジニアがそれぞ
れのアプリケーションに合わせて特
別な設計のプローブを作り上げてき
ました。
代表的な標準プローブが右の表に要
約されています。これ以外のプロー
ブや各プローブの詳細はプローブの
データーシートをご覧ください。
発注番号
EGAB1.3*
0 – 2000 µm
601-793
EGABI 1.3-150
0 – 1600 µm
601-932
0 – 8 mm
602-225
測定範囲
Order No.
EKB10
磁気式　膜厚測定用プローブ　外観
型番
Ni/NF, Iso: 0 – 150 µm
EN3*
NF/Fe: 100 – 4000 µm
602-305
型番
測定範囲
発注番号
ETA3.3
0 – 1200 µm
601-797
ETA3.3H
0 – 1200 µm
602-128
EAW3.3
0 – 1200 µm
602-025
EAI3.3-150
0 – 800 µm
602-026
ETD3.3
0 – 800 µm
602-607
EA30
0 – 20 mm
602-027
渦電流式膜厚測定用プローブ
外観
プローブの選択
測定技術に関する解決策の品質は最
終的には正しいプローブの選択で決
定されます。プローブ選択にはいく
つかの判断基準があります。
・膜厚層と下地材料の組み合わせ: これ
が測定方式 (磁気式、電磁式、渦電流
式、電気抵抗式)を決定します。
・膜厚層と下地の厚さ: 下地基板の厚さ
もプローブ選択に影響します。膜厚
によりプローブの測定範囲が決まり
ます。
・測定点の構造上の特性 : サンプルの形
ESD20Zn
Cu/Fe: 1 – 200 µm
603-419
Zn/Fe: 2 – 200 µm
ESD20Cu
Cu/Iso: 1 – 270 µm
603-417
ESD20Ni
Ni/Fe: 2 – 100 µm
603-418
ESL080B
はプローブ設計の決定的要素です。
・放射型、同軸、直角プローブなどがあ
ります。これらの設計によりサンプル
の内側や外側からの測定が容易になり
ます。
・サンプル表面の粗さ: これも実際のア
プリケーションでは非常に重要な点で
す。通常、センサー２点式プローブの
方が１点式に比べて、荒い面に関して
はより精度が出ます。位相感応型の渦
電流方式は、他の方法に比べ、粗い測
定面で能力を発揮します。
測定範囲
外観　型番
5 – 80 µm
603-802
603-968
ESL080V
Paint/Zn/Fe
Paint: 2 – 500 µm galv.
Zn: 2 – 100 µm Paint/
Al: 5 – 2000 µm Zn/
Fe: 2 – 600 µm
603-690
測定範囲
発注番号
ERCU N
0.1 – 10 µm
5 – 120 µm
603-220
ERCU D10
0.1 – 10 µm
5 – 200 µm
603-387
ESG20
抵抗値測定式　膜厚系用　プローブ　(Cu/Iso)
外観
型番
NF: 非強磁性材料　Iso: 非金属系材料、絶縁材料
ケーブル長: 1.5 m（これより長いケーブルは特注にてお受けします。）
＊直角プローブあり（プローブEAW3.3のような設計です）
プローブと測定補助器具
サンプルに対する測定システムの校正
サンプルの材質や形状による影響は必
要に応じてキョリブレーションにより
校正されます。特に磁性体の透磁性や
電導率や部品の形状が重要です。これ
らアプリケーション別のキャリブレー
ションパラメーターは、それぞれの測
定ファイルに登録されます。
電気抵抗率の測定用　渦電流式プローブ
外観
型番
測定範囲
発注番号
ES40
0.3 – 63 MS/m
0.5 – 108 %IACS
603-235
ES24
0.3 – 63 MS/m
0.5 – 108 %IACS
603-888
測定範囲
発注番号
0 – 80 Fe% (Ferrite %)
0 – 110 WCR (Ferrite no.)
602-221
フェライト含有量測定用　電磁誘導式プローブ
外観
型番
EGAB1.3-Fe*
ケーブル長: 1.5 m（より長いケーブルは特注にてお受けします。）
＊直角プローブあり　（プローブEAW3.3のような設計です）
特種プローブデザイン　（特種測定アプリケーション用）
無負荷式の測定ヘッド：サンプル表面にプローブが接触
する際のサンプル面のゆがみによる誤差を防ぐ。量産
部品、ストリップ、金属シートなどの膜厚や　弾力性のあ
るコーティング膜厚の測定を自動で行える。製造ライン
に簡単に組み込め、全品検査に使用できます。
F&Bコンテナ測定システムTM85：　アルミチューブや缶
の内側と外側のペイントの厚み測定に使用。
ピストンリング測定用ステージV4EKB4：　ピストンやオ
イルスクレーパーリングのクロム膜厚測定に使用。
測定補助具
サンプル上に正しくプローブを位置決めするための道具です。下の３例は多種多様な補助具の一部ですので、ご要望に応じてお問い合わせください。
サポートスタンドV12-AM：電動ステージをMMS PCで
制御し測定を自動化。制御項目はプローブダウン/リ
フト間隔、プローブ接触時間、測定サイクル数（１～
無限大＝連続測定）
サポートスタンドV12 ：　内壁測定用プローブを取り付け
るための治具601-691とプリズムステージ（オプション）
ネジ用治具：金属性留め具などの膜厚を正確に測定す
るためのクイック式取り付け台。 DIN ISO 4042準拠。
アプリケーション例
Module board PHASCOPE® DUPLEX：プローブESG20使用しての多重膜厚測定
このモジュールボードは３種類の
測定方式を含みます：
電磁式 (ISO 2178)
渦電流振幅感応式 (ISO 2360)
渦電流位相感応式 (ISO 21968)
応用分野
・亜鉛メッキ
・自動車産業
・塗料製造と応用工程
・航空機、鉄金属構造物
・電気メッキ
◆　鉄 (鋼) 下地上のラッカー / 亜鉛の個別測定 ‒ DUPLEX mode
測定原理
多重モード　Duplex mode：
電磁式(ISO 2178) と渦電流位相感応式
(ISO 21968) の両方が使用されます。
thtotal
・ラッカーと亜鉛層の２つの測定が同時に
行えます。
亜鉛
鉄/鋼
- 高い再現性と精度で薄い亜鉛やZnAlコー
ティングを測定 (２µｍ以上が好ましい)
- ZnNi(亜鉛合金のコーティング) は条件付
きの範囲での測定(注: 導電性が悪いため)
- 溶融亜鉛メッキで、純粋な亜鉛層と異な
る電気抵抗値を持つデフュージョン層が
ある場合は測定できません。
ラッカー
thzinc
ラッカー
亜鉛
鉄/鋼
合計厚み thtotal
を電磁式で測定
亜鉛厚み thzinc を
渦電流位相感応式
で直接測定
亜鉛厚：thzinc
ラッカー厚み＝ thtotal - thzinc
ESG20 duplex 測定プローブを使用して, Zn厚と
ラッカー厚を同時測定し、２つの値を並べて表示
２つの方式を同時に使用して、２つの測定
値から亜鉛厚とラッカー厚のそれぞれを計
算して求める。
代表的アプリケーションは自動車車体のペイント、ブレーキライン、買い物カートの品質管理など多数あり
◆　ペイント厚の測定（鉄・鋼か非鉄金属の上） ‒ DUAL mode
両用モード　DUAL mode：
・非鉄金属上の絶縁層の測定（例）Al, Zn,
真鍮上のラッカー, ペンキ, プラスチック
鉄や鋼上の個別のコート層や多層コーティ
ングの合計厚み測定を電磁式(ISO2178) で
行われます。
・Al上の陽極酸化膜
・磁性基板上の絶縁層 (例) 鉄や鋼上の
ラッカー, ペンキ, プラスチック
また非鉄金属上での絶縁層の膜厚測定は渦
電流振幅感応式 (ISO 2360)で行われます。
・磁性金属上の非鉄金属層　（例）Feや鋼上のAl, Cu, Cr, Sn, 真鍮
Al上のペイント厚測定：デュアルモードでプローブ
ESG20を使用。測定値が上下限規格値の間に表示さ
れている。
*プローブESG20 の説明はページ14参照
このように両用モードでは、それぞれの基
板材質により、適切な測定方式が測定時に
自動的に選択されます。このようにして同
じプローブが磁性基板と非磁性基板上の膜
厚を、基板の材質に係わらず測定します。
最高の品質を全世界にお届けしています。
55年以上の長年にわたりヘルムートフィッシャー社
(Helmut
Fischer
GmbH
Institut
für
Elektronik
und
Messtechnik of Sindelfingen,Germany) は以下の分野の
リーダーとして活躍してきました：
フィッシャーグループは専門的なコンサルテーション
と広範なサービスを提供します：
・技術営業マネージャによる専門的コンサルテーション
・顧客特有の測定要件に対してドイツと米国のアプケーション
研究所でソルーションの開発と提案
・膜厚測定
・材料分析
・微小硬度測定器
・実務的な教育コースや個別のユーザー教育実施
・Sindelfingen（独)におけるキャリブレーション
・当社はDKDの認証を受けており、認定書付標準サンプル
・材料試験
数多くの革新的な測定機器がドイツのSindelfinge
で開発され、ドイツや米国において最高の品質で製
造されています。当社の広範な経験と研究機関や業
界との緊密な協力により、様々なプロジェクトに適
する測定手法が開発されています。
FISCHERSCOPE® X-RAY XDAL®
蛍光Ｘ線方式による膜厚測定と材料分析に使用します。
を提供します。
フィッシャーグループは全世界の工業国に拠点を持っ
ています。高い品質と顧客満足度水準を持つ最新技術
を提供する会社として、フィッシャーグループの全メ
ンバーが EN ISO 9001:2000の認証を得ています。
FISCHERSCOPE® MMS® PC
磁気式、電磁式、渦電流式、ベーター線後方散乱式
を使用した汎用システムで膜厚測定や材料試験に使
用します。
ISOSCOPE®, DELTASCOPE® & DUALSCOPE®
携帯式測定器で早く簡単に膜厚測定。プローブは交
換式と内蔵式があります。
このカタログに記載されている一般情報や性能はすべてのアプリケーションに関して応用できることを保証をしているものではありません、また改善等に伴い予告なく変更
される場合があります。　ここで述べている性能は別途の契約書で合意されない限り拘束力を持ちません。　DELTASCOPE®,　ISOSCOPE®,　DUALSCOPE®,　FISCHERSCOPE®,
FERITSCOPE®, MMS®, XDAL® は the Helmut Fischer GmbH Institut für Elektronik und Messtechnik, Sindelfingen/Germany の登録商標です。
株式会社フィッシャー・インストルメンツ
本社営業部
〒340-0012 埼玉県草加市神明 1 - 9 - 16
TEL : 048-929-3455 FAX : 048-929-3451
E-mail: [email protected]
大阪営業所〒564-0052 大阪府吹田市広芝町 10 - 14
太陽生命江坂ビル2階
TEL: 06-6339-5149 FAX: 06-6339-5150
名古屋営業所〒465-0042愛知県名古屋市名東区照ケ丘54
TEL: 052-777-2116 FAX: 052-777-2114
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