close

Enter

Log in using OpenID

研究タイトル:シリコン異方性ウエットエッチングを用いた マイクロ構造体

embedDownload
所属: 鶴岡工業高等専門学校 創造工学科 機械コース
研究タイトル:
シリコン異方性ウエットエッチングを用いた
マイクロ構造体形成の高精度・高速化
氏名:
田中 浩 / TANAKA Hiroshi
E-mail:
[email protected]
職名:
教授
学位:
博士(工学)
所属学会・協会:
日本機械学会,精密工学会,表面技術協会
キーワード:
MEMS,シリコン,マイクロ加工,エッチング
技術相談
提供可能技術:
・MEMS(マイクロエレクトロメカニカルシステム)の加工方法
・ウエットエッチング加工技術
研究内容:
エッチング加工特性に及ぼす各種要因の明確化とその制御
MEMSのキー加工技術の一つであるシリコン異方性ウエットエッチング加工の高精度・高速化研究に取り組んでい
る.エッチング液濃度,温度,金属不純物,添加剤(界面活性剤)等の影響を明確にし,加工特性を支配する要因をコン
トロールすることで,高精度化,高速化の指針を得ることができてきている.現在は,グリーンテクノロジー化を目指し,
環境負荷低減・省エネルギー加工プロセス(低濃度化,常温化)についても取り組んでいる.
図1 エッチング加工特性に及ぼす微量金属不純物の影響
図2 エッチング加工特性に及ぼす微量界面活性剤の影響
提供可能な設備・機器:
名称・型番(メーカー)
シリコン異方性ウエットエッチング装置(内製)
所属: 鶴岡工業高等専門学校 創造工学科 機械コース
研究タイトル:
電界砥粒制御技術を用いた
刃先研磨による工具の長寿命化
氏名:
田中 浩 / TANAKA Hiroshi
E-mail:
[email protected]
職名:
教授
学位:
博士(工学)
所属学会・協会:
日本機械学会,精密工学会,表面技術協会
キーワード:
切削工具,電界砥粒制御,研磨,長寿命化
技術相談
提供可能技術:
・切削工具刃先の長寿命化手法
・工具の研磨技術
研究内容:
スローアウエィ工具の長寿命化研究
環境に配慮したものづくりが提唱される中、工具の長寿命化も取り組むべき課題の一つである。著者らは、長寿命化
が最も望まれると考えられる使い捨て方式のスローアウェイ工具(TA 工具)に着目し工具の刃先を研磨により仕上げる
ことで、工具寿命が向上するのではないかと考えた。そして、TA 工具刃先を研磨により加工し、その状態を把握すると
共に、切削後の工具刃先の損傷状態を調査し比較検討することで、工具の長寿命化効果を見出している。
提供可能な設備・機器:
名称・型番(メーカー)
TA 工具刃先研磨装置(内製)
レーザマーキング装置
旋盤(昌運製作所)
3Dプリンター(FDM)
切削抵抗測定装置
NC旋盤
ワイヤ放電加工機
Author
Document
Category
Uncategorized
Views
1
File Size
827 KB
Tags
1/--pages
Report inappropriate content