技術情報極少ピッチ送りデータ 1－1 チルト・回転編自動θステージ

技術情報　極少ピッチ送りデータ　１－１
極少ピッチ送りデータ　１－１
チルト・回転編
極少ピッチ送りは、超精密位置決めに非常に重要な性能のひとつです。
それは、最終位置決め補正/正確なピッチ送りの測定/微細観察に欠かせない要素です。ステージの要素部品にこだ
わり、熟練した組み立て技術により実現いたします。特殊検査の実測データをご紹介いたします。
参考にして頂き、お客様のご要望に応える製品をお届け致します。 ※恒温室での測定ではありません。
自動θステージ
【ステージタイプ】 RA05A-W
ベアリング／ウォーム仕様
【検　査　概　要】 7.2arcsec(マイクロステップ2分割)と0.72arcsec(20分割)の送りステップで、100ポイント
測定を行う。測定はストローク中立位置で、CW方向の測定です。
7.2arcsec ステップの微小送り
1.0
0.5
位置決め誤差(arcsec)
0.0
-0.5 0
72
144
216
288
360
432
504
576
648
720
50
58
65
72
-1.0
-1.5
-2.0
-2.5
-3.0
-3.5
-4.0
測定位置(arcsec)
-4.5
1.0
0.72arcsec ステップの微小送り
位置決め誤差(arcsec)
0.5
0.0
0
7
14
22
29
36
-0.5
-1.0
-1.5
-2.0
測定位置(arcsec)
43

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