半導体ウエハー研磨用治具 Super Template Success X 耐化学反応 機械的強度 耐熱強度 軽量化 製品の特徴 炭素繊維素材により、耐化学反応・機械的強度・耐熱強度・軽量化などの優位性があり、 ワックスレス研磨が可能になることから、スクラッチ・傷などの発生原因を減らす事が可能になります。 ウエハーの保持力が強くなることで、飛び出しや割れの発生率を極端に抑えることが、可能になります。 研磨布・Template の長寿命化を実現します。 テンプレートの新構造提案（特許）により、従来のＣＭＰの仕上げ精度を向上させます。 本製品は、 オーエステックによる研磨コンサルタント契約により、提案させて頂きます。 詳しくは、営業まで、お問合せ下さい。 [email protected] http://www.ostech.co.jp 2-2-74, Minami-mikunigaoka, Sakai-ku, Sakai, Osaka, JAPAN 590-0023 TEL : +81-72-221-2778 FAX : +81-72-221-2779
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