高精度・高剛性 セラミックスエアースライド 【特徴】 ・軸受け部にセラミックを採用することで、長期間にわたり高精度を維持できます。 摺動部の動摩擦係数が小さい（0.002以下）為、発熱が抑えられ等速運動・高速運動及び 高い位置決め精度が得られます。 ・テーブルを2～5μmの圧縮空気層で保持しています。圧縮空気層の平均効果による 高い真直精度・ 繰り返し再現性が得られます。 ・高剛性により軸受け部の変形が抑えられ、安定した運動精度が得られます。 ・自社製リニアモータを採用し、お客様のニーズに応じた設計製作が可能です。※ ※ ㈱ソディックハイテック モーション事業部 にて製作しています。 [実用例 仕様] 真直度（水平・垂直方向） ： 1μm/ｍ 以下 （ストローク 1ｍ以上） ： 1μm以下 （ストローク1ｍ以下） XY直交精度 ： 1μm/ｍ 以下 （ストローク 1ｍ以上）、 ： 1μm以下 （ストローク1ｍ以下） 繰り返し位置決め精度 ： ±0.1μm以下 停止安定性 ： ±20nm以下 最大サイズの製作例 （門型XYステージ） ストローク ： 2160ｘ1810mm 、 テーブルサイズ ： 2050ｘ1500mm、 【製品紹介】 門型XYステージユニット XYステージ プリロード式スライド （レール長 Max4ｍ） I型スライド （レール長 Max4ｍ） 角型スライド T型スライド 【取り扱いについて】 ・セラミックスは脆性体の為、衝撃・局所荷重を加えないで下さい。 ・セラミックスエアースライドは、クリーン環境で御使用下さい。スライド面に付着した、ゴミや油などの汚れは アルコールで 拭き取って下さい。 ・供給エアーは、オイルミスト・水滴を除去したクリーンエアーを御使用下さい。油や水を含んだエアーを使用 されますと、スライド面に汚れが付着し動作不良の原因となります。 《お問い合わせ先》 株式会社 ソディック エフ・ティ EMG事業部 株式会社 ソディック 新横 EMG事業部 〒922-0336 石川県加賀市八日市町ホ49-1 Tel （0761）74-1119 Fax （0761）74-1841 E-Mail [email protected] URL http://www.sodick-emg.co.jp/
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