中古装置リスト 中古装置リスト一覧 リスト一覧 Pre-owned Equipment List リストに掲載 リストに掲載されていない 掲載されていない装置 されていない装置も 装置も多数ご 多数ご用意しております 用意しております 下記までお 下記までお気軽 までお気軽にご 気軽にご連絡 にご連絡ください 連絡ください 株式会社 メディア研究所 メディア研究所 MEDIKEN Inc. 〒105105-0003 0003 東京都港区西新橋2 東京都港区西新橋2-1919-4 Tel ： 0303-54705470-9363 9363 Fax ： 0303-54705470-9377 E-mail ： mkmk-online@ online@mediken. mediken.jp URL ： http： http：//mediken //mediken. mediken.jp 株式会社メディア研究所 メディア研究所 研究所 中古装置再生関連事業 ● 中古装置売買の 中古装置売買の取扱い 取扱い メディア研究所 メディア研究所では 研究所では、 では、各種真空装置を 各種真空装置を中心に 中心に、理化学機器、 理化学機器、計測機器などの 計測機器などの 遊休装置の 遊休装置の販売、 販売、買取を 買取を行っております。 っております。査定から 査定から解体 から解体・ 解体・搬出は 搬出は自社にて 自社にて行 にて行い お客様のニーズに 客様のニーズに合 のニーズに合わせ改造 わせ改造、 改造、立上げオーバーホールにも 立上げオーバーホールにも対応可能 げオーバーホールにも対応可能です 対応可能です。 です。 また、 また、メンテナンス事業 メンテナンス事業の 事業の一環と 一環と致しまして 各種真空ポンプ 各種真空ポンプ（ ポンプ（ドライ・クライオ・ロータリーなど） ドライ・クライオ・ロータリーなど）の オーバーホール、 オーバーホール、真空部品の 真空部品の新規製作や 新規製作や精密洗浄も 精密洗浄も １０年以上 １０年以上の 年以上の実績にて 実績にて培 にて培ったノウハウを基 ったノウハウを基に 短納期、 短納期、低価格にて 低価格にて対応 にて対応させて 対応させて頂 させて頂きます。 きます。 中古装置最新情報及び 中古装置最新情報及び推奨装置 Pre-owned Equipment List 装置名称 i-line Stepper 2505i9c 装置名称 i-line Stepper Stepper 1755i 1755i7A 装置名称 Coater/Developer MarkⅤz メーカー NIKON （1996 （1996） 1996） メーカー NIKON （ NIKON （1996 （1996） 1996） メーカー TEL （1996） 1996） 概要 6inch 6inch reticle、 reticle、8inch wafer 概要 5inch reticle、 reticle、3inch wafer 概要 1coater 1coater 2developer 1/6 中古装置最新情報及び 中古装置最新情報及び推奨装置 Pre-owned Equipment List 装置名称 Thermal processing Alpha 8ＳＺ 装置名称 Mask Aligner Aligner MPA600 MPA600 600 FA 装置名称 Plasma CVD CVD P-5000 メーカー ＴＥＬ （1998 （1998） 1998） メーカー CANON （ CANON （1997 （1997） 1997） メーカー AMAT （1994） 1994） 概要 8inch 概要 6inch 概要 6inch 他ｲﾝﾁ 他ｲﾝﾁ基板 ｲﾝﾁ基板への 基板への改造 への改造を 改造を承ります。 ります。 Chamber×1 ※Etch available for sale 2/6 中古装置最新情報及び 中古装置最新情報及び推奨装置 Pre-owned Equipment List 装置名称 Etching CDE200 装置名称 Surface Profiler P-22 装置名称 Sheet Resistance Mapping Mapping RS75 RS75TC 75TC メーカー Shibaura Eletech （2002） 2002） メーカー KLA-Tencor （1999） 1999） メーカー KLAKLA-Tencor (2001） 2001） 概要 8inch 概要 6inch 6inch 概要 SMIF All inch Manual system available 改造により 改造により300 により300mm 300mm対応可能 mm対応可能 イオン注入 イオン注入、 注入、メタル、 メタル、拡散、 拡散、CMP、 CMP、 ※P-10 available for sale ※Refurbish 8inch→12inch ポリシリ、 ポリシリ、エピ、 エピ、RTP、 RTP、バルクシリコン などの幅広 などの幅広い 領域で使用可能。 使用可能。 幅広い領域で 3/6 中古装置最新情報及び 中古装置最新情報及び推奨装置 Pre-owned Equipment List 装置名称 メーカー 概要 Contact Aligner Aligner PLA501 PLA501 CANON （ CANON （1989 （1989） 1989） 5inch 5inch inch 装置名称 Clean Track Track ACT8 ACT8 装置名称 Contamination monitoring TREX622 メーカー TEL （2002） 2002） メーカー Technos (2001) 概要 8inch 概要 8inch SMIF 他基板ｻｲｽﾞ 他基板ｻｲｽﾞ（～ ｻｲｽﾞ（～4 （～4inch） inch）への改造 への改造も 改造も '08 '08年 08年5月まで稼働物件 まで稼働物件( 稼働物件(powered off) off) 行います 行います。 います。 本装置は 本装置は随時視察可能です 随時視察可能です。 です。 '08 '08年 08年5月まで稼働物件 まで稼働物件( 稼働物件(powered off) off) 本装置は 本装置は随時視察可能です 随時視察可能です。 です。 ※Refurbish 5inch→4inch 4/6 中古装置最新情報及び 中古装置最新情報及び推奨装置 Pre-owned Equipment List 装置名称 Clean Track LITIUS iT 装置名称 Ion Etching Etching ICE200 ICE200 装置名称 Reactive Ion Etching RIE10NL メーカー TEL （ TEL （2002 （2002） 2002） メーカー Shibaura Eletech （2002） 2002） メーカー Samco （1993） 1993） 概要 8inch 8inch inch 概要 8inch 概要 SMIF SMIF 4inch 4inch L/L system 5gas lines '08 '08年 08年5月まで稼働物件 まで稼働物件( 稼働物件(powered off) off) '08 '08年 08年5月まで稼働物件 まで稼働物件( 稼働物件(powered off) off) 本装置は 本装置は随時視察可能です 随時視察可能です。 です。 本装置は 本装置は随時視察可能です 随時視察可能です。 です。 5/6 中古装置最新情報及び 中古装置最新情報及び推奨装置 Pre-owned Equipment List 装置名称 Patterned Wafer Inspection Inspection AITⅡ 装置名称 Surfscan6420 装置名称 Mask Aligner Aligner M-2L メーカー KLAKLA-Tencor (2001） 2001） メーカー KLAKLA-Tencor (2001） 2001） メーカー Mikasa （2002） 2002） 概要 6inch 概要 6inch 概要 対物レンズ 対物レンズ10 レンズ10ｘ 10ｘ 接眼レンズ 接眼レンズ10 レンズ10ｘ 10ｘ 作動距離19 作動距離19, 19,5mm～ mm～24, 24,5mm 欠陥データから 欠陥データから歩留 データから歩留り 歩留り改善に 改善に必要な 必要な パターン無 パターン無ウェハ表面 ウェハ表面の 表面の異物の 異物の位置、 位置、 情報を 情報を高精度かつ 高精度かつ短時間 かつ短時間に 短時間に得る事が size、 size、数量を 数量を高感度かつ 高感度かつ高 かつ高ｽﾙｰﾌﾟｯﾄ 可能。 可能。 で検査が 検査が可能 6/6 マスクサイズ最大 マスクサイズ最大150 最大150mm 150mm No. 1 2 3 4 5 6 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 26 27 28 29 30 31 32 33 34 35 36 37 38 39 40 41 42 43 44 45 株式会社メディア 株式会社メディア研究所 メディア研究所 研究所 中古装置一覧表 機種 Measuring device Measuring device Measuring device Measuring device Measuring device Measuring device Measuring device 品名 全自動膜厚測定器 フーリエ式赤外分光光度計・赤外顕微鏡 原子吸光分光光度計 液体クロマトグラフ ガスクロマトグラフ 走査型プローブ顕微鏡システム 膜厚計 Microscope 走査型電子顕微鏡 Microscope 走査型電子顕微鏡 Microscope 走査型電子顕微鏡 Microscope 走査型電子顕微鏡 Microscope IC検査顕微鏡 Microscope レーザー顕微鏡（OBIC用） Microscope 顕微鏡 Microscope 顕微鏡 Vacuum componentクライオポンプ Vacuum componentターボ分子ポンプ Vacuum componentターボ分子ポンプ・コントローラー Vacuum componentロータリーポンプ Vacuum componentロータリーポンプ Vacuum componentクライオコンプレッサー Vacuum componentクライオポンプ Vacuum componentクライオポンプ Vacuum componentロータリー、メカブの排気セット Vacuum componentドライポンプ Vacuum componentドライポンプ Vacuum componentクライオポンプ、コンプレッサー Vacuum device 縦型拡散炉 Vacuum device スパッタ装置 Vacuum device スパッタ装置 Vacuum device スパッタ装置 Vacuum device スパッタ装置 Vacuum device スパッタ装置 Vacuum device スパッタ装置 Vacuum device スパッタ装置 Vacuum device スパッタ装置 Vacuum device スパッタ装置 Vacuum device スパッタ装置 Vacuum device 装置 Vacuum device 装置 Vacuum device 装置 Vacuum device 装置 Vacuum device 装置 Vacuum device 装置 真空蒸着 真空蒸着 真空蒸着 真空蒸着 真空蒸着 真空蒸着 製造メーカー 製造メーカー KLA-tencor Nicolet Shimaz HP Shimaz Seiko Thermal Wave Jeol Jeol Jeol Jeol Nideck Jeol Olympus Olympus Anelva Leybold Seiko Edwards Leybold Daikin Daikin CTI Leybold Kashiyama Ebara Anelva Koyo Anelva Anelva First Showa Ulvac Ulvac Ulvac Ulvac Ulvac Ulvac Showa Showa Ulvac Shincron Shincron Shinku 型式・ 型式・型番・ 型番・規格 UV1250 Continum及びNexus470 AA6700 HPLC1050シリーズ GC-9A SPA3800N SPA-500他 Opti-probe 2600 JSM840F JSM820 JSMT330A JSM6400F IM-12 JDLM-6602E BH2-UMA BX-60 CAP 8 MARK-Ⅱ 1000C STP300H E2M30、E2M175 D65B U108CW V208SC512FN オンボード8inch S250C WSU1001 SD40V、SD90V AA10N CAP-121 CRC874 VF-5100 SPF-730 SPC530 SFD500 SPC-512T SDP-730 SH-550 SHD-12 SIH-105 SDP-1020 SV-6040 SEC-10C SMC-16SA EBX-10D ACE-850 BMC-1300 AE-1200DCH 1/2 年式 台数 97 00 95 95 90 02 89 89 89 92 95 96 91 91 91 91 90 97 93 97 94 90 93 94 97 88 98 03 97 01 94 88 92 00 92 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 6 2 1 3 2 5 1 1 1 1 2 2 1 1 1 2 2 1 1 1 1 1 1 1 1 1 ヤ 追記事項 2008年12月2日 6インチ対応。マルチレイ ー対応。 赤外顕微鏡 及び フーリエ変換式赤外分光光度計 グラフ イト用、オートサンプラー付属 4液ｸﾞﾗｼﾞｪﾝﾄﾎﾟﾝﾌﾟ、ｵｰﾄｻﾝﾌﾟﾗｰ（21検体）、UV-VIS検出器他付属 詳細はお問い合わせ下さい AFM、STM、DFM測定 酸化膜の計測用 フィールドエミッションSEM、O/H実施後に納入 O/H実施に納入 詳細はお問い合わせ下さい 詳細はお問い合わせ下さい カセットローダー、マクロ検査ユニット、エアー式防振台付属 3次元画像ソフト、デジタルOBIC装置、プリンタ、試料台付属 接眼レンズ 10×/20 対物レンズ ×5、10、20、50、100 接眼レンズ 10×/22 対物レンズ ×2.5、5、10、20、50 JISフランジ 吸口径250ｍｍ SEMに使用していたTMP、電源ケーブル・コントロールケーブル無し O/H実施後に納入（納期2週間） 新品 Heホース付、アワーメーター27000時間～60000時間 VLP-US40KF、275ミニコンベクトロン付き ICF253 オイル交換必要 詳細はお問い合わせ下さい O/H済み 積算時間約60000時間、動作確認済み 8インチ対応、最高温度1050℃ 8インチカソード×3 5x15インチﾀｰｹﾞｯﾄｘ２基 主排気CP仕様 3 ﾝ ｰﾄﾞｘ 基 RFスパッタ、カルーセルタイプ、5インチ×12インチカソード1基 インライン式、基板加熱150度 スパッタアップ、カソード6インチ インライン式スパッタ DC・RF電源、4チ ン ー（仕 み、 出し、スパッタ、基板 ） 1020 基板対応 8インチ 3カソード（DCｘ２、RFｘ ） 3インチ基板用 ッチ式、EB付き、チ ン ー径500mm、クライオ仕様 クライオ仕様、 加熱2源、 式膜厚計 EB付（ ース4 ）、チ ン ー径500mm EB付（6 式）光 膜厚、 式膜厚計付属 EB付、チ ン ー径1300mm 加熱２基。 ァ 可能 ｲ ﾁｶｿ ３ 込 取り １ バ ャ バ 抵抗 水晶 ハ ヶ ャ バ 点 学 水晶 ャ バ 角 抵抗 搭載 ャ バ 着脱 Mediken Inc. ランク ☆☆☆ ☆☆ ☆☆☆ ☆☆☆ ☆☆ ☆☆☆ ☆☆☆ ☆☆☆ ☆☆☆ ☆☆☆ ☆☆ ☆☆☆ ☆☆☆ ☆☆☆ ☆☆☆ ☆☆☆ ☆☆ ☆☆ ☆☆☆ ☆☆☆ ☆☆ ☆☆ ☆☆☆ ☆☆ ☆☆☆ ☆☆☆ ☆☆☆ ☆☆☆ ☆☆☆ ☆☆ ☆☆☆ ☆☆☆ ☆☆☆☆ ☆☆☆☆ ☆☆☆ ☆☆☆ ☆☆☆☆ ☆☆☆☆ ☆☆☆☆ ☆☆☆☆ ☆☆☆ ☆☆☆☆☆ ☆☆☆☆ ☆☆☆ No. 45 46 47 48 49 50 51 52 53 54 55 56 57 58 59 60 61 62 63 64 65 66 67 68 69 70 71 72 73 74 75 76 77 78 79 80 株式会社メディア 株式会社メディア研究所 メディア研究所 研究所 中古装置一覧表 機種 Vacuum Vacuum Vacuum Vacuum Vacuum Vacuum Vacuum Vacuum Vacuum Cleanin Cleanin Cleanin Cleanin Cleanin Others Others Others Others Others Others Others Others Others Others Others Others Others Others Others Others Others Others Others Others Others Others g g g g g 品名 真空蒸着 バ 蒸着 ＣＶＤ device 装置 device ッチ式 装置 device LP-CVD device プラズマ device PE-CVD device アッシング装置 device PCVD device ドライエッチ ｰ device ドライエッチ ｰ device device クリーンドラフト（ 用） device 自動リフトオフ装置 device スクリーン 装置 device 6 式 装置 高温 温器 クリーンオーブン アトラス・フ ードオメータ 試 装置 コーター ドラフトチ ン ー ステッパー ステッパー DC電源 ガラススクライ ー コンタクトアライ ー ラップ CONDITION ☆☆☆☆☆ ☆☆☆☆ ☆☆☆ ☆☆ ☆ ャ ャ 超音波洗浄機 洗浄 版超音波洗浄 槽 洗浄 恒 ェ 染色 験 ャ バ バ ナ 両面 成形機 コーター 卓上SEM オーブン 真空オーブン 真空オーブン 振動試験装置 ポリッシュ ラップ ダイサー 製造メーカー 製造メーカー Shinkron Anelva Ulvac Ulvac AMAT Shibaura AMAT TEL TEL Kokusai Maruwa M stek Sharp Arakawa ETAC amato Toyo Toyo TEL Dalton Nikon Nikon AE Kosaka Canon Fu ikoshi SHI TEL Hitachi amato Tabai Tokyo Rika IMV Corporation Okamoto Okamoto Disco Y j Y 型式・ 型式・型番・ 型番・規格 BMC1900 EVD-1701 V6-50LLC CPD-1114 P-5000 ICE200 P-5000 TE-8500 -8 DC2110W VL6000 UC-4500 HS-310 DES82H Ci3000F ACT-8 2005i9 2005i10C MDX（10K） PLA- ２ USP-5B SD-35E Mark-V TM-1000 DK400T LHV-112 VOS-300SD VS-300-2 SPP-500 SPL-500 DAD-3S/8 α ５０ 年式 台数 03 88 94 87 92 03 94 96 97 00 93 98 00 04 97 99 98 98 99 95 95 90 98 99 96 06 00 93 98 92 00 00 93 3 1 1 1 1 1 1 2 1 1 1 1 1 1 3 2 1 1 1 24 1 1 8 1 1 2 1 1 1 2 1 1 1 1 1 1 途 2008年12月2日 追記事項 プラスチックレンズ用 プラ タリー、 拡散ポンプ、10kw・4 E型電子 400℃～850℃、ロードロック式 デポアップ 式の3インチ、4インチ対応型 4、6インチ対応 8インチ SMIF仕様 8インチ仕様 5～8インチ対応 8インチ対応 用 型 （ 動） SC ・HF ・SC ・ス ンドライ 4インチ 式 詳細はお問い合わせ下さい 、液き 、リンス、液き 、仕 リンス、熱 の6 式 サイクル試 580W×480D×1100mmH、使用温度 温 50～200℃ 詳細はお問い合わせ下さい 詳細はお問い合わせ下さい 8インチ、4コーター、O/H済み 使用 4、6インチ対応 6インチレチクル、8インチ ミニパ ル付属、200V仕様 500 対応 3インチ（4インチコン ージョン ット ） 6B用に DVD用。 出しロボット、温 付き 1コーター、 デベ 詳細はお問い合わせ下さい 450mm 径 300mm 300mm 体及び 5インチ用 5インチ用 最 8インチ 対応 ネ 方 油 連 銃 卓上 小 洗浄機 槽構成 手 槽 槽 槽 ピ ヤ 枚葉 洗浄 り り 上げ 風乾燥 槽 洗浄機 験可能 内寸 範囲 室 ＋ 耐溶剤 角 ウェハ ネ 改造 取り １ 内寸 角 内 φ 内寸 角 本 制御部 大 バ キ 有り 調 ウェハ 稼動中の装置 停止しているが、ユーティリティーが接続されている装置 メーカーもしくは、それに準じた立ち下げを行って、梱包されている装置 立ち下げ状況がわからなく、梱包されている装置 欠品もしくは、メーカーサポートが終了している装置 2/2 Mediken Inc. ランク ☆☆☆ ☆☆☆ ☆☆☆ ☆☆☆ ☆☆☆ ☆☆☆ ☆☆☆ ☆☆☆ ☆☆☆ ☆☆☆ ☆☆☆ ☆☆☆ ☆☆☆ ☆☆☆ ☆☆☆ ☆☆☆ ☆☆☆ ☆☆☆ ☆☆☆ ☆☆☆☆ ☆☆☆ ☆☆☆ ☆☆☆ ☆☆☆ ☆☆ ☆☆☆ ☆☆☆ ☆☆☆ ☆☆☆☆☆ ☆☆☆ ☆☆☆ ☆☆☆ ☆☆☆ ☆☆☆ ☆☆☆ ☆☆☆
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