分析測定標準料金表 2012年7月版 菱電化成株式会社 分析センター 0 料金について １．掲載しました価格は、原則として１試料当たりの標準を示します。 なお消費税は含まれておりません。 ２．次のような場合には料金を割引致します。 ①試料数が多い場合 ②長期間契約に基づく場合 ３．次のような場合には、ご相談の上、割増料金を申し受けることがあります。 ①妨害物質等により規定の方法で分析できない場合 ②分析結果に対する詳細な考察を必要とする場合 ③特に急を要する場合 ④試料を引き取りに伺う場合 備考 １．分析をご依頼の節は分析申込書にご記入の上、ＦＡＸ等にてご連絡下さい。 ２．試料は原則として、ご持参あるいはご送付いただきます。 ３．ご報告納期は、標準的な機器分析の場合、試料受け取り後２週間以内です。 1 目 次 Ⅰ．元素分析 ・プラズマ発光分光分析（ＩＣＰ－ＡＥＳ）・・・・・・・・・・・・・・ ・マイクロ波誘導質量分析（ＭＩＰ－ＭＳ）・・・・・・・・・・・・・ ・プラズマ質量分析（ＩＣＰ－ＭＳ) ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ ・原子吸光分析（ＡＡＳ) ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ ・蛍光Ｘ線分析（ＸＲＦ）・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ ・有機元素分析 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ ・重量分析 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ ・容量分析 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ 3 4 4 4 5 5 5 5 Ⅱ．クロマトグラフ分析 ・イオンクロマトグラフ分析（ＩＣ）・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ ・ガスクロマトグラフ分析（ＧＣ）・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ ・ゲル浸透クロマトグラフ分析（ＧＰＣ）・・・・・・・・・・・・・・・・ ・高速液体クロマトグラフ分析（ＨＰＬＣ) ・・・・・・・・・・・・・・ 6 7 7 8 Ⅲ．化合物構造解析 ・赤外分光分析（ＦＴ－ＩＲ）・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ ・紫外・可視分光分析（ＵＶ・ＶＩＳ）・・・・・・・・・・・・・・・・・・ ・ウエハアナライザ（ＷＴＤ－ＧＣ／ＭＳ）・・・・・・・・・・・・・ ・ガスクロマトグラフ質量分析（ＧＣ／ＭＳ）・・・・・・・・・・・・ ・熱分解ガスクロマトグラフ質量分析（Ｐｙ－ＧＣ／ＭＳ） ・ ・飛行時間型二次イオン質量分析（ＴＯＦ－ＳＩＭＳ） ・・・ ・PCB分析（GC／ＥＣＤ法） ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ ・水分測定（カールフィッシャー法） ・・・・・・・・・・・・・・・・ ・Ｘ線回折（ＸＤ）・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ ・昇温脱離ガス分析（ＴＤＳ）・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ 9 10 10 11 12 12 12 12 13 13 Ⅳ．表面分析・局所分析 ・電子線マイクロアナライザ（ＥＰＭＡ）・・・・・・・・・・・・・・・・ ・オージェ電子分光分析（ＡＥＳ）・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ ・二次イオン質量分析（ＳＩＭＳ）・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ ・Ｘ線光電子分光分析（ＸＰＳ）・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ Ⅴ．形態観察 14 16 17 18 ・走査電子顕微鏡（ＳＥＭ）・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ ・透過電子顕微鏡（ＴＥＭ）・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ ・集束イオンビーム加工（ＦＩＢ）・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ ・光学顕微鏡（ＯＭ）・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ ・写真撮影 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ ・ミクロトーム ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ 19 20 22 22 22 22 分析申込書 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ 24 2 分 析 測 定 項 目 単価（単位：円） プラズマ発光分光分析（ＩＣＰ-ＡＥＳ） ●試料前処理 ・酸溶解（可溶性試料） 1試料目 2試料目以降 ・酸溶解（難溶性試料） 1試料目 2試料目以降 ・ろ過・洗浄 ・アルカリ融解 ・振とう抽出 ・灰化 ・切断 ・粉砕 ・加圧酸分解 ・有機物湿式分解 ・マイクロ波溶解 ・テフロン密封容器酸抽出 ・濃度調製 20,000 7,000 5,000 15,000 5,000 5,000 5,000 5,000 20,000 20,000 20,000 12,000 3,000 ●定性分析 ・水溶液1ppm以上指定成分 20元素まで／1試料 追加1試料／同一系列ごとに 15,000 10,000 ●半定量分析 20元素まで／1試料 追加1試料／同一系列ごとに 20,000 15,000 10,000 5,000 ●定量分析 1元素／1試料 追加1元素／同一試料または 同一系列試料ごとに 2～25元素目まで 26～50元素目まで 51元素目より ●定量分析（特殊溶媒測定） （有機溶媒測定、ふっ酸溶媒測定） 1元素／1試料 追加1元素／同一試料または 同一系列試料ごとに 2～25元素目まで 26～50元素目まで 51元素目より ●定量分析（窒素パ－ジ：S、P） 1元素／1試料 追加1元素／同一試料または 同一系列試料ごとに 2～25元素目まで 26～50元素目まで 51元素目より 3 8,000 5,000 3,000 2,000 10,000 7,000 5,000 4,000 10,000 7,000 5,000 4,000 備考欄 分 析 測 定 項 目 単価（単位：円） プラズマ発光分光分析（ＩＣＰ-ＡＥＳ） ●水素化物法 （Ａｓ，Ｓｅ，Ｇｅ，Ｓｂ） 1元素／1試料 追加１試料／同一元素 15,000 12,000 マイクロ波誘導質量分析（ＭＩＰ－ＭＳ） ●試料前処理 ・クリーンルーム環境分析 ガス捕集器具準備 1箇所目 2箇所目以降 ・薬液中不純物分析 濃縮 ・Ｓｉウェハ表面微量金属分析 （6インチ、 8インチ） 1試料目 2試料目以降 ・ウェハ表面微量金属分析 （化合物半導体基板、不定形基板） 20,000 10,000 10,000 20,000 10,000 別途見積 ●定性分析 20元素まで／1試料 ●半定量分析 20元素まで／1試料 ●定量分析 1元素／1試料 追加1元素／同一試料または 同一系列試料ごとに 30,000 45,000 20,000 10,000 プラズマ質量分析（ＩＣＰ－ＭＳ） ●定量分析 1元素／1試料 追加1元素／同一試料または 同一系列試料ごとに ●その他特殊元素 30,000 15,000 別途見積 原子吸光分析（ＡＡＳ） ●フレームレス法 1元素／1試料 追加1試料／同一元素 15,000 12,000 ●還元気化法 （Ｈｇ） 1元素／1試料 追加１試料／同一元素 15,000 12,000 4 備考欄 分 析 測 定 項 目 単価（単位：円） 蛍光Ｘ線分析1（ＸＲＦ-波長分散型） ●試料前処理 ・錠剤法 ・切断 ・粉砕 5,000 5,000 5,000 ●定性分析（原子番号9以上の元素） 指定成分1元素／1試料 追加指定成分１元素／同一試料ごとに 40,000 ・未知試料 ●半定量分析（ＦＰ法） 10,000 5,000 50,000 ＊１ ●定量分析 1元素／1試料 別途見積 蛍光Ｘ線分析2（ＸＲＦ-エネルギー分散型） ＊2 ●スクリーニング分析（ＲｏＨＳ指令 物質） （Ｃｄ，Ｐｂ，Ｃｒ，Ｈｇ，Ｂｒ） 1試料目 2試料目以降 20,000 10,000 有機元素分析 ●Ｃ，Ｈ，Ｎの定量分析 ＊ 3成分／1試料（ｎ＝2） 3 20,000 重量分析 ●強熱残渣 1試料目 2試料目以降 ●乾燥減量 1試料目 2試料目以降 ●蒸発残留物 1試料目 2試料目以降 ●その他 10,000 5,000 8,000 4,000 10,000 5,000 別途見積 容量分析 ●中和滴定 1試料目 2試料目以降 ●その他 10,000 5,000 別途見積 *1 ＦＰ法：Fundamental Parameter Method *2 RoHS：Restriction of Hazardous Substances *3 （ｎ＝２）：２点測定を標準とする 5 備考欄 分 析 測 定 項 目 単価（単位：円） イオンクロマトグラフ分析（ＩＣ） ●試料前処理 ・溶液濃度調製（希釈） ・水抽出（超音波抽出） ・振とう抽出 ・テフロン密封容器抽出 ・遠心分離 ・ろ過 ・試料燃焼処理 ・酸素フラスコ燃焼 1試料目 2試料目以降 ・その他（発生ガス捕集など） 3,000 5,000 5,000 12,000 3,000 5,000 10,000 10,000 8,000 別途見積 ●定量分析（標準無機陰イオン） － － ３－ ２－ － － － (F ,Ｃｌ ,NO２ ,Br ,NO３ ,PO４ ,SO４ ) 7成分まで／1試料 追加1試料（同一系列）ごとに 25,000 10,000 ●定量分析（標準無機陰イオン＜濃縮法＞） － － ３－ ２－ － － － (F ,Ｃｌ ,NO２ ,Br ,NO３ ,PO４ ,SO４ ) 7成分まで／1試料 追加1試料（同一系列）ごとに 40,000 20,000 ●定量分析（標準無機陽イオン） ＋ ＋ ＋ ＋ (1価：Ｌｉ ,Ｎａ ,Ｋ ,ＮＨ４ ) 4成分まで／1試料 追加1試料（同一系列）ごとに 25,000 10,000 ２＋ ２＋ (2価：Ｃａ ,Ｍg ) 1価陽イオンと同一試料追加２成分まで 追加1試料（同一系列）ごとに ●定量分析（標準有機酸イオン） － － － (HCOO ,CH３COO ,C２H５COO ) 3成分まで／1試料 追加1試料（同一系列）ごとに ●その他特殊イオン 10,000 5,000 25,000 10,000 別途見積 6 備考欄 分 析 測 定 項 目 単価（単位：円） 備考欄 ガスクロマトグラフ分析（ＧＣ） 5,000 ●サンプリング（ガス捕集） ●条件検討 別途見積り ●試料前処理 ・濃縮（ロータリーエバポレータ） ・溶媒抽出 ・ソックスレー抽出 10,000 5,000 15,000 ●定性分析（無機ガスのみ） 指定1成分／1試料 追加1試料／同一条件 追加1成分／同一試料 10,000 8,000 4,000 ＊1 ●定量分析（TCD,FID） 指定1成分／1試料 追加1成分／同一試料 追加1試料 30,000 8,000 10,000 ゲル浸透クロマトグラフ分析（ＧＰＣ、ＳＥＣ＊2） ●試料前処理 ・溶解試験 ・溶液濃度調製（希釈） ・溶解 ・抽出 ・濾過 5,000 5,000 5,000 5,000 5,000 ●測定(成分数､ポリスチレン基準の相対分子量) ＊3 1試料／1条件（ＴＨＦ ） 追加１試料ごとに ＊3 1試料／1条件（DMF 、CHCl3） 追加１試料ごとに 30,000 20,000 50,000 25,000 1試料／1条件（ＨFIP ） 追加１試料ごとに 80,000 40,000 ・データ処理（クロマト・微分曲線の 多重表示） 10,000 ＊3 *1 ＴＣＤ：Thermal Conductivity Detector、 ＦＩＤ：Flame Ionization Detector *2 ＳＥＣ：Size Exclusion Chromatography *3 ＴＨＦ：Tetrahydrofuran、 ＤＭＦ：Dimethylformamide、 ＨＦＩＰ：Hexafluoroisopropanol 7 分 析 測 定 項 目 単価（単位：円） 高速液体クロマトグラフ分析（HPLC） ●試料前処理 溶液調製 5,000 ●条件検討 別途見積り ●定性分析 1成分／1試料目 追加 1成分／1試料目 15,000 8,000 ●定量分析 1成分／1試料目 追加 1成分／1試料目 1成分／2試料目 追加 1成分／2試料目 40,000 12,000 15,000 6,000 8 備考欄 分 析 測 定 項 目 単価（単位：円） 赤外分光分析（ＦＴ－ＩＲ） ●試料前処理 ・ＫＢr錠剤成型 通常成型 希釈・濃度調製の追加 ・ＫＲＳ板塗布 ・振とう抽出、超音波抽出 ・ソックスレー抽出 1試料目 2試料目以降 ・乾留（試験管） ・濃縮（ヒーターなどによる） ・濃縮（ロータリーエバポレータ） ・カラムクロマト分離(シリカゲルによる) ・粉砕、切断 ・削り取り ・バイルシュタイン試験 5,000 5,000 3,000 5,000 15,000 10,000 3,000 5,000 10,000 別途見積 5,000 5,000 3,000 ●測定１（フーリェ変換型装置） ・透過法、反射法 ＊1 ・ＡＴＲ（全反射吸収）法 ＊2 ・ＲＡＳ（高感度反射）法 10,000 15,000 15,000 ●測定２（顕微ＦＴ－ＩＲ法） ・試料採取 ・20μｍφ以上採取 ・マイクロサンプリング（20μｍφ以下） ・顕微透過法、顕微反射法 ・マイクロＡＴＲ法 ・顕微ＡＴＲ法 ・顕微ＲＡＳ法 3,000 5,000 12,000 20,000 20,000 30,000 30,000 ●データ処理 ・差スペクトル ・スペクトル拡大、多重表示による解析 10,000 5,000 ●データ解析 ・ピーク面積比（強度比）計算 10,000 ●同定・解析 ・スペクトル解析（未知物質のDB検索） ・スペクトル詳細解析（微細構造解析） *1 ＡＴＲ：Attenuated Total Reflection *2 RAS：Reflection Absorption Spectrometry 9 20,000 別途見積 備考欄 分 析 測 定 項 目 単価（単位：円） 紫外・可視分光分析（ＵＶ・ＶＩＳ） ●透過率測定 ・スペクトル測定（200～900ｎｍ） 1試料目 2試料目以降 10,000 5,000 ●積分球反射率測定 ・スペクトル測定（240～800ｎｍ） 1試料目 2試料目以降 10,000 5,000 ・その他 別途見積 ウエハアナライザ（WTD－GC／ＭＳ） ●試料前処理 ケース搬送 5,000 ●測定 25,000 15,000 1試料目 2試料目以降 ●定性分析 10成分まで／1試料 50成分まで／1試料 追加1成分ごとに 20,000 60,000 10,000 ●半定量分析 10成分まで／1試料 30成分まで／1試料 50成分まで／1試料 追加25成分ごとに 20,000 25,000 30,000 5,000 ●定量分析 指定1成分／1試料 30,000 10 備考欄 分 析 測 定 項 目 単価（単位：円） ガスクロマトグラフ質量分析（ＧＣ／ＭＳ） ●試料前処理 ・濃縮（ロータリーエバポレータ） ・溶媒抽出 ・ソックスレー抽出 ・固相マイクロ抽出 10,000 5,000 15,000 10,000 ●定性分析 5成分まで／1試料 10成分まで／1試料 50,000 70,000 ●半定量分析（ヘキサデカンまたはトルエン換算） 5成分まで／1試料 10成分まで／1試料 15,000 20,000 加熱脱着ガス分析1（スタティックヘッドスペース法） ●試料前処理 ・ヘッドスペースバイアル挿入→加熱 15,000 ●定性分析 5成分まで／1試料 10成分まで／1試料 50,000 70,000 ●半定量分析（ヘキサデカンまたはトルエン換算） 5成分まで／1試料 10成分まで／1試料 15,000 20,000 加熱脱着ガス分析2（ダイナミックヘッドスペース法） ●定性分析 5成分まで／1試料 10成分まで／1試料 70,000 90,000 ●半定量分析（ヘキサデカンまたはトルエン換算） 5成分まで／1試料 10成分まで／1試料 15,000 20,000 11 備考欄 分 析 測 定 項 目 単価（単位：円） 熱分解ガスクロマトグラフ 質量分析（Py-ＧＣ／ＭＳ） ●試料前処理 ・試料調製 5,000 ●測定（定性分析） ・シングルショットパイロライザ 5成分まで／1試料 10成分まで／1試料 20成分まで／1試料 100,000 115,000 120,000 ・ダブルショットパイロライザ 5成分まで／1試料 10成分まで／1試料 20成分まで／1試料 150,000 165,000 170,000 飛行時間型二次イオン質量分析（TOF-SIMS） ●試料前処理 ・破断等によるサンプリング 5,000 ●測定 ・二次イオン質量スペクトル （正・負イオン） 1試料目 2試料目以降 （正・負イオンいずれか） 1試料目 2試料目以降 ・同一試料内・追加測定 120,000 90,000 70,000 50,000 20,000 ＊ 複雑な形状の試料、絶縁物試料 別途見積り ＰＣＢ分析（ＧＣ/ＥＣＤ法） ●サンプリング ・採取 ・器具加工 5,000 5,000 ●定量分析 22,000 分析一式 水分測定（カールフィッシャー法） ●測定 1試料目 2試料目以降 10,000 5,000 12 備考欄 分 析 測 定 項 目 単価（単位：円） Ｘ線回折（ＸＤ） ●試料前処理 ・粉砕 3,000 ●回折図形のみ 1試料目 2試料目以降 12,000 10,000 ●回折図形＋解析 ・既知物質の結晶性、配向性 1試料目 2試料目以降 ・結晶子径評価 1試料目 2試料目以降 ・複雑な未知物質の同定 1試料目 2試料目以降 25,000 15,000 30,000 20,000 35,000 25,000 ●その他 別途見積 昇温脱離ガス分析（ＴＤＳ） ●指定質量数分析（n=2） ・1～200amuの指定質量数：8個まで、 ステージ温度：80 ～ 1000℃ 但し、標準測定条件（昇温レート1℃／sec） 以外での測定は別途見積 2試料目まで 3試料目以降 40,000 30,000 15,000 30,000 n数追加ごとに 追加指定質量 ●定性分析（n＝2） 出力指定質量数 5個 出力質量数追加（質量数 5個ごと） ●定量分析（H 2のみ） 40,000 5,000 別途見積 別途見積 ●解析 13 備考欄 分 析 測 定 項 目 単価（単位：円） 電子線マイクロアナライザ（ＥＰＭＡ）（波長分散型） ●試料前処理 ・試料調製 ・切断 ・包埋研磨（一式） 一般試料 硬質材料 大型試料 微細パターン試料 ・研磨 一般試料 硬質材料 大型試料 微細パターン試料 ・樹脂包埋 一般試料 大型試料 ・蒸着 1試料目 2試料目以降 3,000 5,000 20,000 30,000 別途見積 別途見積 13,000 15,000 別途見積 別途見積 13,000 15,000 5,000 3,000 ●定性分析1（全元素） 2試料目まで 3試料目以降 15,000 12,000 ●定性分析2（精密測定） ・1元素／1測定点 2箇所目まで 3箇所目以降 10,000 8,000 ●表面形状像（二次電子像） 2試料目まで 3試料目以降 5,000 4,000 ●組成像（反射電子像） 2試料目まで 3試料目以降 7,000 5,600 ●特性Ｘ線像 ・1元素／1測定 2試料目まで 3試料目以降 同一視野追加1元素 2試料目まで 3試料目以降 12,000 9,600 8,000 7,200 * ●定量分析（ＺＡＦ法） ・5元素まで／1測定（n＝5） 2測定目より 1測定につき 追加 1元素／同一測定点 40,000 30,000 10,000 ＊ZAF法：Z（原子番号）、Absorption(吸収）、Fluorescence（蛍光励起）の 各補正係数を求めて定量を実施 14 備考欄 分 析 測 定 項 目 単価（単位：円） 電子線マイクロアナライザ（ＥＰＭＡ）（波長分散型） ●線分析1（ステージスキャン） ・2元素／1測定点 2試料目まで 3試料目以降 追加 1元素／同一測定点 2試料目まで 3試料目以降 15, 000 12, 000 6, 000 4,800 ●線分析２（ビームスキャン） ・2元素／1測定点 2試料目まで 3試料目以降 追加 1元素／同一測定点 2試料目まで 3試料目以降 15, 000 12,000 6,000 4,800 ●面分析（カラーマッピング） ・5元素／1測定，X軸/Y軸＝250点/250点 2試料目まで 3試料目以降 追加 1元素／同一測定 2試料目まで 3試料目以降 ・特殊な表示条件設定 60, 000 48, 000 12,000 9, 600 別途見積 * ●Ｐ＆Ｂ測定 ・5元素／1測定点（n＝5） 2試料目まで 3試料目以降 追加 1元素／同一測定点 2試料目まで 3試料目以降 20, 000 16, 000 8, 000 6,400 *P＆B：Peak＆Background （バックグラウンドを差し引いたピーク強度測定） 15 備考欄 分 析 測 定 項 目 単価（単位：円） オージェ電子分光分析 （ＡＥＳ） ●試料前処理 ・試料調製 ・切断 ・洗浄 ・導電処理 3,000 5,000 3,000 5,000 ●表面形状像 5,000 ●定性分析 同一視野追加１測定点 同一試料イオンエッチング後 ●深さ方向の元素分布（4元素まで） ・30分まで 追加1元素 ・60分まで 追加1元素 ・15分以下 ・60分以上 13,000 10,000 10,000 40,000 10,000 60,000 15,000 別途見積 別途見積 ●線分析 ・4元素まで 追加1元素 40,000 10,000 ・3元素まで 追加1元素 40,000 10,000 ●面分析 ●半定量分析 別途見積 16 備考欄 分 析 測 定 項 目 単価（単位：円） 二次イオン質量分析（ＳＩＭＳ） ●試料前処理 ・試料調製 ・切断 ・洗浄 3,000 5,000 3,000 ●質量スペクトル測定（定性分析） ・1次イオン源1種による測定（n=2） ・高質量分解能スペクトル 70,000 20,000 ●深さ方向の元素分布（4元素まで） 1次イオン源1種による測定（n=2） ・15分まで（Si換算2000Å：O2+） 追加1元素 ・30分まで 追加1元素 ・30分以上 ・高質量分解能測定（1元素当たり） 70,000 7,000 100,000 10,000 別途見積 20,000 ●線分析 ・同時測定可能な4元素、長さ1mmまでの 1測定 ●定量分析 80,000 別途見積 ●画像処理解析 ・RAE分析 ・二次イオン像 ・デプスプロファイル ・断面プロファイル 別途見積 別途見積 別途見積 別途見積 20,000 ●絶縁物分析 17 備考欄 分 析 測 定 項 目 単価（単位：円） Ｘ線光電子分光分析（ＸＰＳ） ●試料前処理 ・試料調製 ・切断 ・洗浄 3,000 5,000 3,000 ●定性分析 ・ワイドスキャン 20,000 ●精密測定（ナロースキャン） ・ワイドスキャン測定後１元素 ・イオンエッチング後１元素 ・試料傾斜測定 8,000 10,000 12,000 ●化学結合状態分析 ・ピーク分離 別途見積 ●深さ方向分析（Si換算1000Åまで） ・4元素／1試料 追加1元素 ・ワイドスキャンモード 70,000 15,000 100,000 18 備考欄 分 析 測 定 項 目 単価（単位：円） 走査電子顕微鏡（ＳＥＭ） ●試料前処理 ・試料調製 ・切断 ・包埋研磨（一式） 一般試料 硬質材料 大型試料 微細パターン試料 ・研磨 一般試料 硬質材料 大型試料 微細パターン試料 ・樹脂包埋 一般試料 大型試料 ・蒸着 1試料目 2試料目以降 3,000 5,000 20,000 30,000 別途見積 別途見積 13,000 15,000 別途見積 別途見積 13,000 15,000 5,000 3,000 ●測定1（通常観察） ・倍率2×104まで ・倍率2×104～8×104 7,000 10,000 1視野増すごとに 5,000 ●測定2（高分解能観察） ・倍率1×105まで ・倍率1×105以上 15,000 20,000 10,000 1視野増すごとに 7,000 ●組成像（反射電子像） 7,500 5,000 ＊ ●定性分析（ＥＤＸ） 同一視野追加１測定点 ●線分析（ＥＤＸ） ・2元素／1測定点 追加1元素／同一測定点 20,000 8,000 ●面分析（特性Ｘ線像（ＥＤＸ）） ・1元素／1測定 同一視野追加１元素 12,000 8,000 ＊ＥＤＸ：Energy Dispersive X-ray Spectrometer 19 備考欄 分 析 測 定 項 目 単価（単位：円） 透過電子顕微鏡（ＴＥＭ） ●試料前処理 ・分散法 標準 検討を要するもの 30,000 別途見積 30,000 ・レプリカ法 ・イオンエッチング法 バルク試料 薄膜平面試料 100,000 120,000 薄膜断面試料 単層膜 標準 検討を要するもの 100,000 別途見積 多層膜 半導体・セラミックス系 金属層を含むもの 検討を要するもの 150,000 180,000 別途見積 デバイス構造 半導体デバイス 金属層を含むもの 検討を要するもの 180,000 210,000 別途見積 ・化学研磨法 研磨条件が確立されているもの 検討を要するもの 50,000 別途見積 ・電解研磨法 研磨条件が確立されているもの 検討を要するもの 50,000 別途見積 ・超薄切片法 別途見積 20 備考欄 分 析 測 定 項 目 単価（単位：円） 透過電子顕微鏡（ＴＥＭ）（つづき） ●観察 ・明視野法 標準 追加１視野につき 35,000 10,000 ・暗視野法 標準 特殊観察（弱ビーム法等） 追加1視野につき 35,000 60,000 10,000 ・電子線回折 反射法 透過法 制限視野回折 極微電子線回折 追加１視野につき 極微電子線回折（特定微小領域） 追加1視野につき 25,000 20,000 40,000 10,000 45,000 35,000 ・格子像観察 2波格子像 多波格子像 追加1視野につき 40,000 80,000 35,000 ・点分析（定性分析） 追加1測定点 30,000 15,000 ・線分析（4元素まで） 追加1元素 30,000 10,000 ・面分析（3元素まで） 追加1元素 40,000 10,000 ●分析 21 備考欄 分 析 測 定 項 目 単価（単位：円） 集束イオンビーム加工（ＦＩＢ） ●イオンビーム加工 ・断面観察用試料作製（SIM像観察含む） 3hr以内 3hr以上 ・透過電子顕微鏡用試料作製 ダイシング用前処理含む 再加工可能ピックアップ用 60,000 別途見積 120,000 150,000 180,000 ●ダイシング 30,000 ●ピックアップ 30,000 * ●観察（ＳＩＭ像） ・1視野 追加1視野 10,000 8,000 光学顕微鏡（ＯＭ） ●試料前処理 ・切断 ・包埋研磨 ・エッチング（化学的） 1試料目 2試料目以降 5,000 20,000 10,000 5,000 ●観察 ・1視野 追加1視野 5,000 3,000 ・1視野 追加1視野 5,000 3,000 写真撮影 ●接写 ミクロトーム ●断面観察用試料作製 ・初期検討が必要なもの 同一条件2試料目以降 30,000 15,000 ●透過電子顕微鏡観察用試料作製 ・初期検討が必要なもの 130,000 ＊SIM：Scanning Ion Microscope 22 備考欄 23 菱電化成株式会社 分析センター 宛 〒661－8661 兵庫県尼崎市塚口本町８－１－１ 三菱電機株式会社 先端技術総合技術研究所内 TEL：０６－６４９７－７５４４ FAX：０６－６４９７－１４７３ 分 析 申 込 書 貴社名 御名前 所 属 所在地 TEL FAX 題 目 申込日 試料数： 御希望納期 個 試料返却： 要 ・ 不要 添付資料： 有 ・ 無 １．分析目的・内容 （明らかにしたい項目、問題となっている項目等） ２．分析項目 （元素・分離分析、組成・構造解析、表面・局所分析、形態観察 等） ３．その他 （ご要望 等） ４．試料内容 （名称、主成分 等） ５．前処理条件 等 ６．試料取扱い上の留意点 （安全性、保管方法、その他） 24
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