重ね合せ精度測定装置ＭＯＤＥＬＭＡＣ−１１０ＭＶ１重ね合せの高精度測定でステッパー管理を一層充実させます。本装置はリソグラフィー工程において、パターニングされたウェーハ上の各チップの重ね合せ誤差の自動計測及びウェーハ上の現像仕上がり状態のマクロ検査する機能を一体化したハイグレードマシーンです。概要・新光学系、デジタルＣＣＤカメラ採用による解像度の向上、及び微細駆動を実現した精密駆動による位置決め等により、高性能・高信頼性をより一層向上！測定再現性：３ｎｍＴＩＳ： ±３ｎｍ器差間誤差：１０ｎｍを実現！・新規精密駆動方式の採用により重ね合わせ計測は、１００枚／時間（５点／ウェーハ）を実現！・Ｎｅｗプロセス対応（超低段差、ＣＭＰ、グレインＡｌ、高段差他）・計測制御部が一体型で小型・省スペース！・ＡＧＶ対応機！特長ウェーハ６・８インチキャリア数量３個キャリア識別バーコード自動読み取りＡＧＶガイド光通信による位置決め外観検査部傾斜：２０度以下公転：４〜１０秒／回転自転：停止、４〜１０秒／回転照明：ハロゲンランプ／出力可変併用処理時処理速度処理速度：２６０枚／時間以上（傾斜動作のみ）検査項目：９９項目まで入力可５露光点内の１ポイント測定、傾斜動作のみ外観検査＋重ね合わせ２５枚、８０枚.／時間以上外観検査＋重ね合わせ抜取5枚、１９０枚.／時間以上重ね合せ計測部 ※１測定再現性：３ｎｍ（３σ）以下ＴＩＳ： ±３ｎｍ以内器差間誤差：１０ｎｍ以下（中央値）ｽﾙｰﾌﾟｯﾄ：１００枚／時間以上（５露光域内の１点測定にて）通信形式シリアル方式（ＲＳ−２３２Ｃ準拠）外形寸法約１５００（幅）×２０００（奥）×１７００（高） ※１面内変動の激しいもの、グレインの影響の大きなもの低コントラストのもの、主尺・副尺間の段差が著しいものについては別途協議事項と致します。 ※本カタログの内容は予告なく変更することがありますので御了承ください。