光コム距離計 Optical Comb Absolute Distance Meter Optical Comb, Inc. 光コム距離計は光コム干渉を使用する非接触型レーザ距離計です。測定光と参照光に光コムを使用することにより長距離でも非常に高精度の絶対距離測定を実現しています。標準機の絶対距離測定の範囲は5m、確度は1μmで計測可能です。また、参考値として78mの距離計測において評価限界に達する確度5μmが得られています。原点復帰が不要で高速性に優れ、寸法計測や対象物までの距離測定、位置決めなどの応用に適しています。 ■特徴 非接触・非破壊レーザー光を照射して距離を計測するため非接触測定が可能です。 長距離・高分解能コヒーレンスの良い広帯域光である光コムを使用するため、長距離測定でも高い分解能を得ることができます。 高精度光コムは周波数の精度が高く、光周波数標準としての実績もあります。高い周波数精度をそのまま距離測定に応用できます。 原点復帰不要途中で光が途切れても原点まで戻る必要はありません。その場で計測を再開できます。 高速毎秒50万ポイントの距離測定を行うため高速です。リアルタイム距離測定が可能です。 ■用途 産業用計測装置大型部品の寸法検査部品の位置決め、精密計測 研究開発リバースエンジニアリング各種精密計測・絶対距離・変位計測試作、テスト ヘルスモニタリング発電所、ビル、橋梁、プラントなどの建造物飛行機、船、鉄道車両など大型輸送機器 ■業界部品製造、風力発電、大型タービン、宇宙・航空エンジン、等 ■装置外観光源部干渉計ヘッド（その他に信号処理部としてPCが必要です） ■光コムスペクトル一定周波数間隔の多波長で構成される光源 Optical Comb, Inc. ■仕様項目仕様計測範囲*1 ~ 5m 安定度 1μmまたは1x10-7/year 温度、気圧、湿度の測定精度による制限（10-6～10-7）確度*2 1μm@5m （標準仕様、測定時間による）ビームスポット径*3 絶対距離計測繰返し数計測時間 3.5mm（平行光）鏡・リフレクタ等を用いて測定 15回/秒 2ms ~ 1s （1回の測定時間。測定精度、分解能による） 1.55μm帯（レーザクラス1）、可視ガイド光あり波長毎秒50万ポイントのリアルタイム距離測定。原点復帰不要その他 *1 5m以上の測定は別途お問い合わせください。 *2 参考値5mm@78m 国立研究開発法人産業技術総合研究所の光学トンネル内で行った参照標準干渉測長器との比較測定結果（P4参照） *3 測定対象については別途お問い合わせください。 ■システム構成 ①光源部 ②干渉計ヘッド ③信号処理部（PC）測定対象 ②干渉計ヘッド ①光源部（光コム発生器）計測距離 ③信号処理部（PC） AD変換器/FPGA Optical Comb, Inc. ■距離測定例 0.1[mm/div] 計測時間：10msec 0 50 測定回数 100 ■段差測定例 5mm/div 1mm 2mm 5mm ステージ面の上下変動 10mm Optical Comb, Inc. ■精度評価 ◎国立研究開発法人産業技術総合研究所において、参照標準干渉測長器（安定化レーザ変位計）との比較測定を実施。近距離から遠距離まで高い精度で絶対距離計測が可能であることを実証。安定化レーザ変位計ターゲット on 100mレール光コム距離計国立研究開発法人産業技術総合研究所における精度評価（光学トンネル内 100mレール） ◎測定結果現在の評価システムの限界値に達する確度を実証近距離：確度1μm@5m 遠距離：確度5μm@78m カタログは予告無く変更される場合があります株式会社光コム Optical Comb, Inc. Ver.1.70 ■所在地〒101-0061 東京都千代田区三崎町3-6-12 KDX神田三崎町ビル3F TEL.03-6380-9807 FAX.03-6380-9795 URL. http://www.optocomb.com Email. [email protected]