特集 学生の研究活動報告−国内学会大会・国際会議参加記 15 日本セラミック協会第 24 回秋季シンポジウムに参加して 田 中 徹 也 Tetsuya TANAKA 物質化学専攻修士課程 1.はじめに 1年 3.結果・考察 私は 2011 年 9 月 6 日(火)∼9 日にわたって北海 図 1 に各粉末充填雰囲気における相対密度と焼結 道大学札幌キャンパスで開催された日本セラミック 温度の関係を示す.大気雰囲気下で粉末充填した試 協会第 24 回秋季シンポジウムに参加し,先進セラ 料は Ar 雰囲気下で粉末充填した試料よりも低温で ミック ス の 紛 体 プ ロセ ス 科 学 の セ ッ シ ョ ン に て 相対密度 99.5% まで緻密化することが確認された. 「SD-SiC 中の酸素が緻密化と構造規則化に与える影 響」という題目で口頭発表を行いました. 2.実験方法 Si 粉末(純度:99.999%,粒径:>75 μ m,高純 度化学研究所製)と C 粉末(純度:99% up,平均 粒径:7 μ m, TGP-7,東海カーボン製)を化学量論 比 Si : C=1 : 1 になるように秤量した.秤量した粉 末と Si 3 N 4 製ボールを Si 3 N 4 製容器内へ封入 し,遊星型ボールミル(P-5,フリッチュ製)を用 いて MA 処理(ボール:粉末の重量比=40 : 1,公 Fig. 1 転速度:300 rpm, MA 時間:24 h)を行った.粉末 Effect of holding temperature on the relative density of sintered SD-SiC. Packing atmosphere : Ar and Air atmosphere. の秤量から粉末回収までの操作は Ar 雰囲気下(酸 素濃度<3 ppm,水分濃度<5 ppm)で行い,SPS で用いる黒鉛製焼結型への粉末充填は大気と Ar 雰 囲気下にて行った.焼結には SPS 装置(Dr. sinter : SPS-1050, SPS シンテック製)を使用した.焼結条 件は印加圧力 100 MPa,保持温度 1850 ∼2000℃ , 保持時間 30 min,昇温速度 10℃/min(>1200℃) と し た . 評 価 は 見 掛 け 密 度 測 定 , XRD ( RINT 2000,リガク製),酸素・窒素濃度分析(EMGA920, HORIBA 製)により行った. Fig. 2 ― S-131 ― Effect of holding temperature on the stacking fault density of sintered SD-SiC. Packing atmosphere : Ar and Air atmosphere. 図 2 に XRD 測定結果から算出した各粉末充填雰 に乱れが生じたためであると考えられる. 囲気における積層欠陥濃度と焼結温度の関係を示 図 3 に酸素・窒素分析を行った試料を示し,表 1 す.積層欠陥濃度は大気雰囲気下で粉末充填した試 に図 3 中に示した試料の焼結温度,酸素濃度,窒素 料の方が Ar 雰囲気よりも高い値を示した.このよ 濃度の関係を示す.窒素濃度は Ar 及び大気雰囲気 うに積層欠陥濃度に差異が生じたのは大気中の吸着 下で粉末充填した試料において差異は確認されなか ガスによって,構造規則化が阻害されている可能性 った.ゆえに,SD-SiC の結晶構造に影響を与えた が考えられる.また,大気雰囲気下で粉末充填した のは窒素ではなかったと考えられる.一方で,大気 試料は 1910℃ 以上の焼結温度において積層欠陥濃 雰囲気下で粉末充填を行った試料では,積層欠陥量 度の大幅な減少を示し,Ar 雰囲気下で粉末充填し の減少と共に酸素濃度も大きく減少していることが た試料と同等の値を示した.しかし,Ar 雰囲気下 確認された.積層欠陥濃度が 1910℃ 以上の焼結温 で粉末充填した試料は 1910℃ 以上の焼結温度では 度で急に低下したのは,粉末充填時に SD-SiC 粉末 積層欠陥濃度が急に高くなっていた.これは焼結温 と反応した酸素が,焼結中において SD-SiC の構造 度が高くなると共に, β -SiC である 3 C 構造以外の 規則化を阻害していたため,焼結体中の酸素濃度が 多形の存在確率が増加することが考えられる.ゆえ 減少することで構造規則化が進行したものと考えら に,Ar 雰囲気下で粉末充填した試料において積層 れる.以上の結果から,大気雰囲気下で焼結型に 欠陥濃度が急に高くなったのは,焼結温度の上昇に SD-SiC 粉末を充填した場合,酸素の影響により積 伴い多形の存在割合が増加することで, β -SiC 構造 層欠陥がより多く残存し,より低温で緻密化が進行 した.そして,焼結温度が 1910℃ を超えると焼結 中に酸素濃度が減少し,積層欠陥濃度は減少するこ とが示唆された. 4.おわりに 今回,はじめての口頭発表に加えて,単身での学 会発表とゆうこともあり,とても不安がありまし た.本番の発表において,少し発表時間を超過した ので,今後の学会発表における時間配分には十分に 気を付けて発表練習を行いたいと考えています.ま Fig. 3 Effect of holding temperature on the stacking fault density of sintered SD-SiC. Packing atmosphere : Ar and Air atmosphere. た,事前に先生や先輩方に発表の指導をしていただ いたおかげで,発表するべき内容は的確に伝えるこ とができました.そして,今回の学会は自身を大き く成長させてくれたと感じており,今後の研究に対 Table 1 Oxygen and nitrogen concentration measurement result 試料 No. 焼結温度[℃] 酸素濃度[%] 窒素濃度[%] する意欲をより強くしてくれました. 最後になりましたが,日本セラミック協会第 24 回秋季シンポジウムに参加する機会を与えてくださ ① 1794 0.03 0.14 ② 1907 0.02 0.12 ③ 1914 0.43 0.18 ご討論,ご協力をいただきました理工学部物質化学 ④ 1922 0.03 0.15 科大柳研究室の皆様に深く感謝いたします. り,研究のご指導をしてくださいました大柳満之教 授に深く感謝いたします.また,日頃より,有益な ― S-132 ―
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