CP-SS-1863

No. CP-SS-1863
（初版）
デジタルマスフローコントローラ
CMQ-Vシリーズ
2
38
標準ガス・中流量モデル
概要
CMQ−Vシリーズは、検出部に弊社独自開発の熱式流速センサ
「比
である「μFセンサ（マイクロフロー TM センサ）」を使用し、
例ソレノイドバルブ」と高度なアクチュエータ制御技術を融合
した高性能デジタルマスフローコントローラです。
高速・ワイドレンジ流量制御ニーズを先取りした高性能・低価
格の一般産業市場向け次世代コントローラです。
特長
• 実力値700msの高速制御。
超高速応答の「マイクロフロー TM センサ」および独自のデジ
タルPIDチューニングにより全閉状態から設定流量への追従
性において抜群の高速性を発揮します。
また、1次側圧力の変動にも高速で応答し、2次側流量への
影響を最小限に抑えます。
• 電源回路∼アナログ入出力間の回路を絶縁しました。PLC
などで複数のCMQ-Vをアナログ入出力にて接続する場合、
PLC側のアナログモジュールに絶縁タイプを使用する必要が
ありません。またCMQ-Vへの電源供給にも共通電源が使用
できます。
• 標準仕様のまま50kPa以下の低差圧でも制御できます。
低圧での制御を要求されるバーナー空燃比制御等では、他の
追従を許しません。
• クラスを超えた1∼100％ FSの広い制御範囲を実現しまし
た。
• 一体形表示付き、分離形表示付きモデルを用途に合わせてお
選びいただけます。
• 広い動作温度範囲（−10∼＋60℃）に対応しました。
• 入手の容易なDC24V汎用単一電源での駆動が可能であり、
高価な専用両電源を必要としません。
さらに、実験室などでの用途に最適なACアダプタも用意し
ています。
仕様
内容
項目
MQV0050（J,K）
バ
ル
ブ
方
式比例ソレノイドバルブ
バ
ル
ブ
動
作非通電時−閉（N.C.）
標準フルスケール流量注1
ガ
ス
制
御制
MQV0500
200 L ／ min（standard）
500 L ／ min（standard）
類空気／窒素（N2）、酸素（O2）、アルゴン（Ar）、炭酸ガス（CO2）、都市ガス13A（LNG：45MJ ／ m3）、
都市ガス13A（LNG：46MJ ／ m3）、メタン100％（CH4）、プロパン100％（C3H8）、ブタン100％（C4H10）
ただし、塩素、硫黄、酸等の腐食成分を含まない乾燥気体であること。
また、ダスト及びオイルミストを含まない清浄気体であること。注2
種
御
50.0 L ／ min（standard）
MQV0200
範
囲 1∼100％ FS（別表1参照）
バルブ出力更新周期 5ms
応
答
性設定±2％ FS以内に0.7s（TYP.）
（標準差圧にて）（全閉状態から制御を開始した時および制御中に設定を変更した時）
精
度 ①標準品：±0.5％ FS（0％ FS≦Q≦40％ FS）
（標準温度・標
±1％ FS（40％ FS＜Q≦80％ FS）
準差圧にて、
±1.5％ FS（80％ FS＜Q≦100％ FS）
Q：流量）注3 高精度には対応していません
②高精度品：±0.3％ FS（0％ FS≦Q＜25％ FS）
±1.2％ SP（25％ FS≦Q＜80％ FS）
±1.5％ SP（80％ FS≦Q≦100％ FS）注4
1
内容
項目
制
御再
MQV0050（J,K）
現
MQV0500
性 ①標準品：±0.25％ FS（0％ FS≦Q≦40％ FS）
±0.5％ FS（40％ FS＜Q≦80％ FS）
±0.75％ FS（80％ FS＜Q≦100％ FS）
高精度には対応していません
圧
MQV0200
温
度
影
響 1℃あたり0.08％ FS以下
圧
力
影
響 100kPaあたり0.2 ％ FS以下
力標準差圧注5
20kPa（入口圧：20kPa（gauge）、
出口圧：0kPa（gauge））
必要差圧注6
②高精度品： ±0.15％ FS（0％ FS≦Q＜25％ FS）
±0.6％ SP（25％ FS≦Q＜80％ FS）
±0.75％ SP（80％ FS≦Q≦100％ FS）注4
200kPa（入口圧：200kPa（gauge）
、出口圧：0kPa（gauge）
）
10kPa
動作差圧範囲 100kPa以下
100kPa
①300kPa以下（−10℃≦T≦40℃）
②180kPa以下（40℃＜T≦60℃）
150kPa
①300kPa以下（−10℃≦T≦35℃）
②240kPa以下（35℃＜T≦50℃）
（条件：電源電圧＝24.0V）注9
許容入口圧 0.5MPa（gauge）注8
耐
温
圧 1MPa（gauge）
度標準動作温度注5 ＋23℃
許容動作温度範囲 −10∼＋60℃
−10∼50℃
許容保存温度範囲 −20∼＋70℃
湿
度許容動作湿度範囲 10∼90％ RH（結露なきこと）
外部リークヘリウムリークレート 1×10−6Pa・m3／ s以下（VCR接続の場合のみ）
流量設定設
定
方
法 ①キー入力、②外部アナログ入力、③専用ローダ通信注10、④RS−485通信（3線式）注11
設定分解能別表1（4ページ）をご覧ください。
外部アナログ入力入力レンジ：DC 0∼5V ／1∼5V ／0∼20mA ／ 4∼20mA（切替可能）
入力インピーダンス：電圧入力時 1MΩ±10％／電流入力時 250Ω±10％
流量表示表
示
方
法 7セグメントLED 4桁
表示分解能別表1（4ページ）をご覧ください。
指示精度 ①標準品：±0.5％ FS±1digit（0％ FS≦Q≦40％ FS）
（標準温度・標
±1.0％ FS±1digit（40％ FS＜Q≦80％ FS）
準差圧にて、
±1.5％ FS±1digit（80％ FS＜Q≦100％ FS）
Q：流量）
②高精度品： ±0.3％ FS±1digit（0％ FS≦Q＜25％ FS）
±1.2％ RD±1digit（25％ FS≦Q＜80％ FS）
±1.5％ RD±1digit（80％ FS≦Q≦100％ FS）
積算機能表
示
範
囲
0.000∼99,999.999m3
0.00∼999,999.99m3
0.001m3
0.01m3
表示分解能
積算バックアッ ①0.5m3 カウントごと
①2m3 カウントごと
プタイミング ②前回のバックアップから1時間経過ごと、③RUNキー操作時
アナログ出力種類瞬時流量（PV）出力または設定流量（SP）出力（切替可能）
出
力出力スケール 0∼フルスケール流量（スケール変更可能）
出力レンジ DC 0∼5V ／1∼5V ／0∼20mA ／4∼20mA（切替可能）
最
大
出
精
力 DC 7V以下／28mA以下（流量がレンジオーバーしたときの最大出力）
度 ±0.3％ FS（総合出力精度：指示精度±0.3％ FS）
外部負荷抵抗電圧出力時：250kΩ以上、電流出力時：300Ω以下
アラーム：出
力
数アラーム出力：1点、イベント出力：2点
イベント
出力定格 DC30V 30mA 最大（オープンコレクタ非絶縁出力）
出力
積算パルス出力パルス幅 100mS±10％（積算パルス出力を選択時）
積算パルス出力レート 0.001m3／1パルス
0.01m3／1パルス
外部切替え入力種類、入力数外部3段切替入力：1点、外部接点入力（2段切り替え）：3点
入
力相手側回路形式無電圧接点、又はオープンコレクタ
接点オフ時端子電圧外部3段切替入力：2.5±0.5V、外部接点入力：2.8±0.5V
接点オン時端子電流約0.5mA（接点に流れる電流）
許容オン接点抵抗最大250Ω
許容オフ接点抵抗最小100kΩ
許容オン残留電圧最大1.0V（相手側オープンコレクタ時）
許容オフ漏れ電流最大50μA（相手側オープンコレクタ時）
基準電圧出
出
力用
通
信方
伝
力
定
格 DC 5.0V±5％ 5mA最大
途流量設定電圧の基準電圧および外部3段切替入力の5V入力
式 ①専用ローダ通信注10 ②RS−485通信（3線式）注11
送
速
度 2400、4800、9600、19200、38400bps（ローダ通信は19200bpsだけ）
2
0.00∼999,999.99m3
0.01m3
①5m3 カウントごと
内容
項目
電
MQV0050（J,K）
源定
MQV0200
MQV0500
格 DC 24V、消費電流400mA 最大
許容電源電圧範囲 DC 21.6∼26.4V
DC 24V、消費電流500mA 最大
①DC 21.6∼ 26.4V（−10℃≦T≦40℃） ①DC 21.6∼ 26.4V（−10℃≦T≦35℃）
②DC 23.5∼ 26.4V（40℃＜T≦60℃）
②DC 23.5 ∼ 26.4V（35℃＜T≦50℃）
（リップル 5％以下）
アイソレーション電源回路と入出力回路は絶縁されています
接
ガ
ス
部
接
続
方
取
付
姿
質
適
材
質 SUS316、テフロン、フッ素ゴム
式 3／4−16UNF、Rc1／2、1／2Swagelok、3／8VCR
2
勢水平取り付け、ただし設定表示部面が下向きにならないこと
38
量約3.5kg
合
規
格 EN61326-1：1997／ A1：1998／ A2：2001／ A3：2003
注1 :
L ／ min（standard）は20℃、101.325kPa（1気圧）に換算した1分間あたりの体積流量（L ／ min）を表します。
なお、基準温度を0℃、25℃、35℃にも変更できます。また、この流量は空気／窒素での値でありガスの種類により制御可能な流量レンジが異なります。
4ページの別表1をご覧ください。
注2 : 本器内に異物が流入しないようにしてください。配管内の錆・水滴・オイルミスト・埃などが流入すると、計測・制御誤差の発生や本器の破損につなが
る恐れがあります。
異物が流入する可能性がある場合には、本器の上流側に0.1μm以上の異物除去能力を有するフィルタ・ストレーナ・ミストトラップなどを設置し、定
期的に点検・交換を行ってください。
注3 : 空気／窒素および酸素（酸素ガス対応品）での精度です。その他のガスで使用した場合の精度については当社にお問い合わせください。
注4 : ±x.x％ SPは流量設定値に対する制御流量の精度を表します。
注5 : 校正時の温度、圧力です。
注6 : フルスケール流量を制御するのに必要な差圧です。（条件：出口圧＝0kPa（gauge）
）
必要差圧以下でも動作可能です。ただし制御可能な流量レンジが狭くなります。4ページのグラフ（バルブ全開時の差圧と流量の関係）をご覧ください。
注8 : 入口圧0.5MPa（gauge）以上での使用可否については当社にお問い合せください。
注9 : MQV0200/0500の最大動作差圧は電源電圧によっても変わります。5ページのグラフ（電源電圧と最大動作差圧の関係）をご覧ください。
注10 : 別売の専用ローダパッケージ（MLP100A100）が必要です。
注11 : RS−485通信機能オプション付きモデルだけ使用できます。
■ 機能一覧
機能
内容
流量積算機能最大8桁（99,999,999カウント）までの流量積算が可能。（表示単位は仕様一覧表を参照ください。）
アラームランプ点灯機能設定流量と瞬時流量の偏差に対する上限・下限の流量アラーム、バルブ駆動電流値アラームの設定が可能です。アラーム時、
／出力／遮断バルブの強制全閉／開が可能です。
OKランプ点灯制御流量が「設定値±許容範囲」に収まっている場合、ランプを点灯／出力させる機能です。
イベントランプ・積算カウントアップ出力
点灯／出力・積算パルス出力
・OK出力
・動作モード出力
上記の機能から2つのイベント出力が選択可能です。
自動遮断機能下記条件によりバルブを自動閉止する機能です。
・積算カウント値が設定値に達した時
・流量アラームを含むすべてのアラームの内のいずれかが発生した時
注）本器のバルブは完全な閉止能力は
ありませんので完全閉止が必要な
場合は別途遮断弁を設けてください。
積算カウント自動リセット機能キー操作もしくは、外部スイッチ入力により制御開始と積算カウントのリセットを同時に行う機能です。
バルブ強制開閉機能キー操作もしくは、外部スイッチ入力によりバルブを全開／閉できる機能です。
マルチSP設定機能あらかじめ記憶させた最大8個の流量設定をキー操作もしくは、外部スイッチ入力で切替えることができます。
ダイレクト設定機能複雑な操作を行わずに▲▼キーのみで設定値を変更できます。
フルマルチ・レンジ標準レンジの1/10までの範囲で、1％ FS単位で制御レンジを任意に設定可能としました。用途に合わせて自由に制御レンジ
設
定
機
能を変更できます。また、予め2種類の制御レンジを設定し、外部スイッチにて切り替えることが可能です。設定分解能の変更を
目的としても利用できます。
スロースタート機能制御開始時もしくは、設定流量変更時の制御流量の急激な変化を抑えることができます。
ガス種切替機能キー操作により標準対応ガスの中から使用するガス種を選択可能です。また予め2つのガス種類を選択し、外部スイッチ入力で
切り替えることが可能です。
ガス種設定機能特殊／混合ガスについては、補正係数（CF）を設定することで対応も可能です。
SPランプ機能制御開始時、設定変更時のSP変化勾配を2種類設定することができます。また外部スイッチと組み合わせて、外部から勾配を
変更することも可能です。
バルブ駆動電流比例バルブを駆動する電流値をモニタ、アラーム出力させる機能です
アラーム機能注）バルブ駆動電流値は設定流量が同一の場合にも、差圧の大きさなどにより変動しますので取扱いにはご注意ください。
ローダ通信機能ローダ通信用の通信ポートを標準装備しています。別売の専用ローダパッケージ（MLP100A100）を使用し、パソコンと1対
1で通信ができます。（各種の設定およびモニタをパソコン画面上で行うことができます）
RS-485通信機能 (オプション) オプションで3線式RS-485通信にも対応することができます。（伝送速度：2400∼38400bps）
3
別表1. 制御流量レンジと設定・表示分解能（単位：L/min (standard)）
MQV0050(J,K)
MQV0200
ガス種
設定・表示
分解能注
制御流量
レンジ
設定・表示
分解能注
制御流量
レンジ
設定・表示
分解能注
空気／窒素
0.4∼50.0
0.2
2∼200
1
4∼500
2
酸素
0.4∼50.0
0.2
2∼200
1
4∼500
2
アルゴン
0.4∼50.0
0.2
2∼200
1
4∼500
2
炭酸ガス
0.3∼30.0
0.1
1.0∼120.0
0.5
4∼400
2
都市ガス（LNG:45MJ/m3）
0.4∼50.0
0.2
2∼200
1
4∼500
2
都市ガス（LNG:46MJ/m3）
0.4∼50.0
0.2
2∼200
1
4∼400
2
メタン100％
0.4∼50.0
0.2
2∼200
1
4∼500
2
プロパン100％
0.2∼16.0
0.1
0.6∼60.0
0.2
2∼200
1
0.10∼12.00
0.05
0.4∼40.0
0.2
2∼160
1
ブタン100％
注：アナログ信号で設定入
力及び流量出力を行う
場合は分解能は大幅に
向上しますので当社ま
でお問い合せください。
MQV0500
制御流量
レンジ
バルブ全開時の差圧と流量の関係（空気の場合）
MQV0200(J, K)
②
③
④
50
40
30
出口圧条件
① 150kPa(gauge)
② 50kPa(gauge)
③ 0kPa(gauge)
④ −50kPa(gauge)
20
10
流量［L/min(standard)］
流量［L/min(standard)］
①
240
②
①
200
④
160
120
出口圧条件
① 150kPa(gauge)
② 50kPa(gauge)
③ 0kPa(gauge)
④ −50kPa(gauge)
80
40
0
MQV0500(J, K)
600
③
流量［L/min(standard)］
MQV0050(J, K)
60
2
4
6
差圧［kPa］
8
10
②
③
500
④
400
300
出口圧条件
① 150kPa(gauge)
② 50kPa(gauge)
③ 0kPa(gauge)
④ −50kPa(gauge)
200
100
0
0
0
①
0
20
40
60
80
100
120
0
40
差圧［kPa］
80
120
160
差圧［kPa］
取り扱い上の注意
・前ページのグラフと異なる出口圧条件で使用する場合には下記の式で計算してください。
(1) P2 / P1 ＞ 0.53の場合 P1: 入口側絶対圧 [kPa(abs)]
Q=C1 (P1ーP2)P2
P2: 出口側絶対圧 [kPa(abs)] (絶対圧=ゲージ圧＋101.3kPa)
(2) P2 / P1 ≦ 0.53の場合 Q:
Q=C2・P1
流量 [L/min(standard)]
C1, C2: 機種ごとの定数
①MQV0050J/K: C1= 2.212、C2=1.104
②MQV0200J/K: C1= 2.212、C2=1.104
③MQV0500J/K: C1= 4.115、C2=2.054
・空気以外のガスを使用する場合は、下記の式で換算してください。
流量=空気の場合の流量÷ 制御したいガスの比重
例) MQV0200にて炭酸ガス、入口圧=80kPa(gauge)、出口圧=0kPa(gauge)の場合
200 L/min(standard)÷ 1.53 = 162 L/min(standard)
4
標準対応ガスの比重
（空気=1.0とした場合）
ガス種類
比重
酸素
1.11
アルゴン
1.38
炭酸ガス
1.53
都市ガス13A
0.64
メタン
0.56
プロパン
1.56
ブタン
2.08
200
MQV0500バルブ全閉時の差圧と出流れ流量の関係(出口圧=0kPa(gauge)の条件で空気を流した場合)
流量［L/min(standard)］
10
8
6
4
2
2
38
0
0
40
80
120
160
200
差圧［kPa］
MQV0200/0500電源電圧と最大動作差圧の関係
MQV0500
300
280
280
260
260
最大動作圧［kPa］
最大動作圧［kPa］
MQV0200
300
240
25℃
40℃
60℃
220
200
180
240
25℃
35℃
50℃
220
200
180
160
160
140
21.0 22.0 23.0 24.0 25.0 26.0 27.0
140
21.0 22.0 23.0 24.0 25.0 26.0 27.0
電源電圧［V］
電源電圧［V］
取り扱い上の注意
・上図の最大動作差圧を超えて使用するとバルブの駆動電圧が不足し、目的の流量が得られなくなります。また、駆動電圧が
不足しない場合でも300kPaを超える動作差圧では、流量のハンチングなどを起こす恐れがあります。必ず300kPa以下で
使用してください。
5
端子接続図
● コネクタピン配列
20 19
・・
・・
・・
・・
・・
・・
・・
・・
・・
・・
2 1
製品側コネクタ品番：HIF3BA−20PA−2.54DS（ヒロセ電機（株）製）
相手側適合コネクタ
コネクタ・タイプ
製品側コネクタを
正面より見た図
適合コネクタ品番
適合コンタクト品番
適合電線
コンタクト圧着タイプ
HIF3BA−20D−2.54C
HIF3−2226SCC
AWG#22∼#26（バラ線可）
ケーブル圧接タイプ
HIF3BA−20D−2.54R
不要
AWG#28
（フラットケーブルのみ）
● コネクタピン信号
ピン番号
信号名
内容
備考
20
＋5V（5mA max）
DC5V基準電圧出力
5mA max
19
FLOW OUT
瞬時流量(PV)電圧出力または設定流量(SP)出力
0∼5V/1∼5V/0∼20mA/4∼20mA出力
18
A.GND
アナログ・グランド
アナログ信号のコモン
17
FLOW SP INPUT
瞬時流量設定(SP)電圧入力
0∼5V/1∼5V/0∼20mA/4∼20mA入力
16
MODE INPUT
外部３段切替入力
オープン/GND/5Vの3段切替入力
15
DI3
外部接点入力３
14
DI2
外部接点入力２
13
DI1
外部接点入力１
12
EV2 OUT
イベント出力２
11
EV1 OUT
イベント出力１
10
ALM OUT
アラーム出力
9
D.GND
デジタル・グランド
デジタル信号のコモン
8
DB
RS−485通信DB
通信機能オプション付きモデル以外では接続しないでくだ
7
DA
RS−485通信DA
さい。
6
D.GND
デジタル・グランド
デジタル信号のコモン
5
TEST
テスト用
テスト用（接続禁止）
4
POWER GND
電源グランド
3
POWER GND
電源グランド
配線抵抗による電圧降下を少なくするために、並列に２本
2
POWER(24V)
電源＋(DC24V)
ずつ電源に接続してください。
1
POWER(24V)
電源＋(DC24V)
オープン/GND ２段切替入力
オープンコレクタ非絶縁出力
6
● 結線例
＋
流量出力
内部回路
−
＋5V(5mA最大) 20
FLOW OUT 19
A.GND 18
FLOW SP INPUT 17
ポテンショメータ
(5kΩ)
5V
MODE INPUT 16
0V
DI3 15
OPEN
DI2 14
2
DI1 13
EV2 OUT 12
イベント2出力
38
EV1 OUT 11
イベント1出力
ALM OUT 10
アラーム出力
D.GND 9
(出力コモン)
DB 8
DB
DA 7
DA
D.GND 6
SG
入出力回路
TEST 5
POWER GND 4
電源回路
POWER GND 3
−
＋
電源
DC24V
POWER (24V) 2
POWER (24V) 1
＋
ACアダプタ入力
−
・ 5番ピンには何も接続しないでください。
・本器内部の電源回路と入出力回路はアイソレーションされています。
・アナログGNDとデジタルGNDは内部で接続されていますが、必ず別々のグランド配線を行ってください。
・ ACアダプタのプラグを挿入すると、電源は自動的にACアダプタ側に切り替わります。
・旧タイプのACアダプタ（81446682-001：DC15V 350mA）は本器には使用できません。
※1. アナログ入出力
＋
19 FLOW OUT
0∼5V/1∼5V
出力
0∼20mA/4∼20mA
−
18 A.GND
＋
17 FLOW SP INPUT
0∼5V/1∼5V
入力
0∼20mA/4∼20mA
−
※2. 外部3段切替入力
20 ＋ 5V
18 A.GND (0V)
5V
0V
16 MODE INPUT
OPEN
取り扱い上の注意
・リレー接点で切替を行う場合は微少電流用のリレー (金接点タイプ)を使用してください。接点の接触不良により誤動作を起
こす恐れがあります。
外部3段切替入力の動作
16番ピンの入力状態
割り付け機能
動作モード切替1
SP番号切替
積算動作切替
アナログ入出力
入力
電圧レンジ切替
出力
動作モード切替2
OPEN
0V
5V
制御
SP-0
カウント継続
内部基準0∼5V＊/
全閉
SP-1
リセット
外部基準
全開
SP-2
カウント停止
外部基準
外部基準0∼20mA 0∼5V/0∼20mA
0∼5V/0∼20mA 0∼5V/0∼20mA
全閉
制御
1∼5V/4∼20mA
1∼5V/4∼20mA
全開
＊内部基準とは、本器のDC5V基準電圧出力(ピン番号20)を使用し、外部に接続したポテンショメータで設定値を設定する場合に使
用します。
※3. ポテンショメータを使用する場合のアナログ入力（0∼5V）
20 ＋5V
18 A.GND(0V)
17 FLOW SP INPUT
7
形番構成表
● 標準ガスモデル中流量
基本形番
流量
レンジ
機種
ボディ
接続
材質
ガス
種類
付加付加付加付加付加
機能1 機能2 機能3 機能4 機能5
付番
MQV
内容
デジタルマスフローコントローラ CMQ-Vシリーズ
0050
0.4∼50.0L/min（standard）
注1, 注4
0200
2∼200L/min（standard）
注1, 注4
0500
4∼500L/min（standard）
注1, 注4
J
一体形表示モデル、流路面間寸法：150mm
K
分離形表示モデル、流路面間寸法：150mm
S
SUS316
R
1/2Rc
S
1/2Swagelok
V
3/8VCR
U
3/4-16 UNF
N
空気／窒素（標準対応ガスに設定変更可能）
注2
S
酸素
注3
0
なし
0
なし
1
RS-485（CPL）通信機能付き
0
なし
0
なし
1
接ガス部に禁油処理
0
なし
D
検査成績書付き
Y
注5
トレーサビリティ証明書付き
0
製品バージョン
● 標準ガスモデル中流量高精度品
基本形番
流量
レンジ
機種
ボディ
接続
材質
ガス
種類
付加付加付加付加付加
機能1 機能2 機能3 機能4 機能5
付番
MQV
内容
デジタルマスフローコントローラ CMQ-Vシリーズ
0200
2∼200L/min（standard）
注1, 注4
0500
4∼500L/min（standard）
注1, 注4
J
一体形表示モデル、流路面間寸法：150mm
K
分離形表示モデル、流路面間寸法：150mm
S
SUS316
R
1/2Rc
S
1/2Swagelok
V
3/8VCR
1
空気／窒素
注2
2
酸素
注3
S
高精度
0
なし
1
RS-485（CPL）通信機能付き
0
なし
0
なし
1
接ガス部に禁油処理
Y
注5
トレーサビリティ証明書付き
0
製品バージョン
注1） L/min(standard)は20℃、101.325kPa(1気圧)に換算した1分間あたりの体積流量(L/min)を表します。なお、基準温度を0℃、
25℃、35℃にも設定変更できます。
注2）出荷時には空気／窒素用に初期設定されていますが、設定変更によりアルゴン、炭酸ガス(CO2)、都市ガス13A（LNG：45MJ/m3、
LNG：46MJ/m3）、プロパン100％、メタン100％、ブタン100％にも対応できます。
注3）出荷時には酸素用に初期設定されていますが、設定変更により空気／窒素、アルゴン、炭酸ガス(CO2)、都市ガス13A（LNG：
45MJ/m3、LNG：46MJ/m3）、プロパン100％、メタン100％、ブタン100％にも対応できます。
ただし、一度でも酸素以外のガスに使用した場合は、酸素ガスに使用することは絶対にしないでください。
注4）ガスの種類により制御可能な流量レンジが異なります。別表1. 制御流量レンジと設定表示分解能をご覧ください。
注5）ガス種類で酸素ガスを選択した場合は付加機能４で「1：接ガス部に禁油処理」以外選択できません。
8
外形寸法図
● 一体形表示付きモデル
（単位：mm）
• 中流量モデル
OK
ALM
EV1
EV2
m
▼
▲
DISP
ENT
h1 h2 h3 h4
MQV0050
151145102 45
MQV0200
CMQ-V
L/min
RUN
▲
PV
形番
Digital
Mass Flow
Controller
3
SP
MQV0500 152146103 46
2
38
h3
h2
5.2
h1
5.9
61.1
44
22
ローダ用
ジャック
3.4
7.3
23.2
ACアダプタ用
ジャック
25
150
50
25.3±0.5
11.5±0.5
27±0.5
2-3/4-16UNF
110±0.5
( 150)
4×M4 ねじ深さ 5min
Pin Assign
Digital
Mass Flow
Controller
20：+5V(5mA max)
19：FLOW OUT
18：A.GND
17：FLOW SP INPUT
16：MODE INPUT
15：DI 3
14：DI 2
13：DI 1
12：EV2 OUT
11：EV1 OUT
10：ALM OUT
9：D.GND
8：DB
7：DA
6：D.GND
5：TEST
4：POWER GND
3：POWER GND
2：POWER(24V)
1：POWER(24V)
4
MADE IN JAPAN
HEX 26
3/4-16UNF 接続タイプ
25
（150）
2-1/2Rc継手
25
Rc1/2 接続タイプ
2-Swagelok社製継手
SS-810-1-8STSC11
適用パイプ：外径 1/2
材質 SUS316
（30.7）
（150）
（30.7）
1/2Swagelok 接続タイプ
2-3/8-VCR Swagelok社製継手
SS-8-VCR-1-8STSC11 または相当品
（31.5）
（150）
3/8VCR 接続タイプ
9
（31.5）
● 分離形表示付きモデル（本体）
（単位：mm）
20.5
• 中流量モデル
形番
h1 h2 h3 h4 h5
MQV0050
172 151 145 102 45
MQV0200
MQV0500 173 152146 103 46
42.5
h1
h3
5.2
3.4
h2
61.1
22
h4
5.9
44
ローダ用
ジャック
7.3
h5
23.2
ACアダプタ用
ジャック
25
150
50
25.3±0.5
11.5±0.5
27±0.5
2-3/4-16UNF
110±0.5
( 150)
4×M4 ねじ深さ 5min
Digital
Mass Flow
Controller
Pin Assign
20：+5V(5mA max)
19：FLOW OUT
18：A.GND
17：FLOW SP INPUT
16：MODE INPUT
15：DI 3
14：DI 2
13：DI 1
12：EV2 OUT
11：EV1 OUT
10：ALM OUT
9：D.GND
8：DB
7：DA
6：D.GND
5：TEST
4：POWER GND
3：POWER GND
2：POWER(24V)
1：POWER(24V)
4
MADE IN JAPAN
HEX 26
3/4-16UNF 接続タイプ
25
（150）
2-1/2Rc継手
25
Rc1/2 接続タイプ
2-Swagelok社製継手
SS-810-1-8STSC11
適用パイプ：外径 1/2
材質 SUS316
（30.7）
（150）
（30.7）
1/2Swagelok 接続タイプ
2-3/8-VCR Swagelok社製継手
SS-8-VCR-1-8STSC11 または相当品
（31.5）
（150）
3/8VCR 接続タイプ
10
（31.5）
● 分離形表示付きモデル（表示部）
（単位：mm）
105
93
6
)
(R
Digital
Mass Flow
Controller
CMQ
L/min
RUN
▼
▲
ENT
DISP
1.6
5
2
38
29.3
取付けパネルカット寸法（推奨）
17.5±0.2
45.8
4.5
PV
12.5
L
SP
▲
33
38
19
OK ALM EV1 EV2
100±0.2
50±0.2
35±0.2
88
2×M4
45±0.2
90±0.2
● 表示部−本体接続用ケーブル
ヒロセ電機 (株) 製 HIF3BA-16D-2.54R
赤
2000min
沖電線 (株) 製 FLEX-S16-7/0.127･2651P 色：1ピン赤色、5, 10, 15ピン緑色、他灰色
別表2. 別売品
品名
専用コネクタ付きケーブル
形番
内容
81446681-001
20心フラットケーブル2m(AWG#24)
81446951-001
20心シールドケーブル5m
ACアダプタ
81446957-001
定格
流量設定用ポテンショメータ
81446683-002
デジタルダイアル付き 5kΩ 10回転
分離形設定表示部用
オーバーカバー
81446858-001
マスク 1枚(材質 : PC / ABS、色 : ダークグレー )
プレート 1枚(材質 : SPCC t1、色 : 黒色)
取り付け用ねじ 2個(十字穴付きなべ小ねじ M4 7.5mm)
入力AC100∼240V
出力DC24V 650mA
動作温度範囲0∼40℃
11
● 分離形設定表示部用オーバーカバー 81446858-001
（単位：mm）
マスク
材質 : PC/ABS
色 : ダークグレー
112
83
33
46
7.1
プレート
材質 : SPCC t1
色 : 黒色
109.6
100
83.4
33.4
)
5
4.
4.5
43.6
(R
1
穴
取り付け用ねじ
十字穴付きなべ小ねじ2本：M4 長さ7.5
● 専用コネクタ付ケーブル
• 20心フラットケーブル 81446681-001
ヒロセ電機（株）製 HIF3BA-20D-2.54C
(14.4)
2000min
すだれ部
25min
ピン配列図
すだれ部
20min
1 3 5 7 9 11 13 15 17 19
2 4 6 8 10 12 14 16 18 20
(29.95)
沖電線（株）製 FLEX S20-7/0.2 (AWG＃24) 1ピン赤色、5, 10, 15, 20ピン緑色、他灰色
(6)
(7.2)
ヒロセ電機（株）製 HIF3-2226SCC (20個) 適合電線：AWG＃22∼＃26
• 20心シールドケーブル 81446951-001
0
20
アース端子φ3.7
アース線
圧着タイプ専用フード
圧着ソケットコンタクト
圧着メスコネクタ
熱収縮チューブ
1
20
19
φ 8.9
HIF3-20CV
2
ケーブル
20心、導体構成7/0.2mm2 、被覆径φ1.06
19.7
37
5000
12
ピン番号
リード線色
1
黒
2
黒/白
3
赤
4
赤/白
5
緑
6
緑/白
7
黄
8
黄/白
9
茶
10
茶/白
11
青
12
青/白
13
灰
14
灰/白
15
橙
16
橙/白
17
紫
18
紫/白
19
若草
20
若草/白
● 流量設定用ポテンショメータ 81446683-002
（単位：mm）
ポテンショメータ部
10.5
14
15.2
φ18
取付穴寸法図
φ3.3穴
19.05
26±1
+0.1
φ10.3 0 穴
Yamatake-Corporation
81446957-001
● ACアダプタ 81446957-001
26.5
1800
13
42
φ22
19.05
5
φ6 +0.05
0
(シャフト穴径)
φ10
12
18max
内歯付き座金
3
21
LOCK 取付ねじ
M3xP0.5
64
六角ナットM9
R1
°
40
44±1
234
φ3.175
2
3
6m
16.5±1
26±1
50
ax
.
デジタルダイヤル部
2
38
お客様仕様確認シート：CMQ-V用
ガス種
制御流量範囲
最大常用最小 L/min（normal）
1次圧力
最大常用最小 kPa（gauge）
2次圧力
最大常用最小 kPa（gauge）
流体/周囲温度範囲
最大常用最小 ℃
配管接続
□UNF □Rc □Swagelok □VCR
表示
□本体に表示付 □分離表示器付（分離ケーブル2m付）
通信
□RS485付 □不要
接ガス部禁油処理
□要 □不要
トレーサビリティ・成績書 □検査成績書 □トレーサビリティ □不要
アナログ入出力
□4−20mA □1−5V □0−5V
ケーブル長
□2m □5m □その他電源
□DC24V □AC100V（コンセント）
パソコンローダ
□要 □不要
流量計設置状況
入口配管サイズ＿＿＿＿＿
出口配管サイズ＿＿＿＿＿
フィルタ
CMQ-V
お客様接続器具名称
お客様接続器具名称
フィルタ＋流量計の許容圧力損失
kPa(gauge)
14

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