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Electronic Properties of Solids V : Transport Properties of Metals and Semiconductors
第5講
M.Shiga
- 金属・半導体の伝導現象 -
1
はじめに
前回は金属の諸物性の電子論について、電気抵抗の
所まで来て紙数が尽きたが、今回は引き続き、ホール
効果、熱伝導などにふれ、さらに半導体の基本的な性
質について述べる。
2
ホール効果
導体に電流を流し、さらに磁場をかけると、その方
向によって様々な現象が生じる。ここでは、代表的な
現象であるホール効果(Hall Effect) について述べる。
これは磁場を電流に垂直にかけた時、両者に垂直な方
向に電圧が生じる現象で、磁場測定やキャリア密度(後
述)の推定に使われる。
まず、図 5-1 を見ていただきたい。長さ l 、巾 h 、
厚さ d の短冊状の導体に電圧 V、磁場(磁束密度 Bz)
をかける。
電流( Ix )方向を x、磁場方向を z とすると、
磁場 0 の時は、電子は-x 方向へ動こうとするが、磁
場中ではローレンツ力を受け、図の点線のように上向
き(+y方向)の力を受ける。しかし、y方向には電
流は流れないので、上側表面に過剰の電子が溜まり、
負に帯電する。逆に下側表面は電子不足となり正に帯
電する。つまり、y方向に電圧が発生する。この電圧
による電場と、ローレンツ力が打ち消し合い、x方向
に定常電流が流れることになる。このときy方向に発
生する電圧がホール起電力であり。その大きさは以下
のようにして求まる。
図 5-1 ホール効果の概念図
一般的に、電場 E、磁束密度 B 中にあり速度 v で
動く電子に働く力は F 
e
E v B  で与えら
れる。ここで、括弧内第 2 項は言うまでもなくローレ
ンツ力である。ベクトルの外積は
x y z
v B v x
Bx
vy
By
vz
Bz
で与えられるので、Bx=By=0 を考慮すると、
Fx eE x e v y Bz
Fy eE y e v x Bz
Fz eE x
(5-1a)
(5-1b)
(5-1c)
が得られる。定常状態で電流が流れ得るのは x方向の
みなので、vy = vz = 0, Fy = Fz = 0 でなければならな
い 。 x 方 向 へ の 電 流 密 度 は jx 
nev x な の で 、
v x jx 
ne と書ける。一方、 (5-1a) 式 = 0 よ
り、
B
E y v x Bz  z jx
ne
さらに、V y h 
Ey , I x
圧、Ix は電流)より、
(5-2)
jx 
d
h (Vy はホール電
1
I
I
Vy  Bz x RH Bz x
ne
d
d
(5-3)
とホール電圧 Vy が求まる。ここで、 RH 1 ( ne)
をホール係数とよぶ。したがって、板状試料の厚さ d
がわかっておれば、ホール電圧を測定することにより、
ホール係数が求まり、電子密度(体積当たりの電子数。
より一般的には キャリア密度)n を推定することが
出来る。逆に、RH がわかっておれば、磁束密度の測
定に使える。ただし、金属の場合は電子密度が大きい
のでホール係数が小さく、実験室条件ではホール電圧
は微少で、出来る限り薄い(dが小さい)試料を使う
必要がある。半導体の場合はキャリア密度が小さくホ
ール電圧も大きいので、磁場の測定には半導体が使わ
れる。また、後述するp型不純物半導体ではキャリア
ーが正孔なのでホール電圧は正となる。
3
金属の熱伝導とヴィーデマン・フランツ
(Wiedemann-Franz)の法則
金属の特徴の一つは電気伝導だけでなく熱伝導も大
きいことで、両者の間には関連がある。具体的には、
ヴィーデマン・フランツの法則として知られる経験式
-1-
Electronic Properties of Solids V : Transport Properties of Metals and Semiconductors
で、熱伝導率と電気伝導率の比が温度に比例するとい
うものである。ここでは、オームの法則を導いたのと
同じ手法、つまり、電子を電荷を帯びた古典気体とし
て扱い、その平均粒子速度にフェルミ速度を適用する
方法により、自由電子についてこの法則を理論的に導
く。
熱伝導率 K の定義式は、z 方向に 温度勾配
dT dz があるとき、単位時間、単位面積を通過する
エネルギーを ju とすると、
ju K
dT
dz
K el 2 k B 

T L T
 3 
e 
2
2 k 
L   B  2.45 108 WK 2
3 e 
2
(5-5)

で与えられる(参考書 (1) 参照)
。 ここで、CV は体
積比熱、<|v|> は平均分子速度、l は平均自由行程で
ある。1/3 が掛るのは、分子はあらゆる方向に飛翔し
ているので、そのz方向成分の平均を取るためである。
前回述べたように、電子気体の比熱は状態密度に比
例し、自由電子の場合は
(5-6)
(5-7)
となる。ここで、τは電子の平均緩和(衝突)時間で
ある。
一方、電気伝導率 σ は 前講 (4.17) 式より
ne2
 
m
(5-8)
なので、 (5-7)、 (5-8)式よりτを消去すると、熱伝導
率と電気伝導率の間には以下の関係式が成り立つ。

K el (300 K ) 5.9 107 2.45 108 300
434 W 
m 1 
K 1
と求まり、実測値 403 W・m-1・K-1 にかなり近い値が
得られる。従って、伝導電子による熱伝導が支配的で
あることがわかる。
◯ 熱伝導率の温度依存性
前回示したように、金属の比抵抗ではマーティセン
の法則 (T ) 0 L (T ) (4.22)が成り立つので、
熱伝導率の温度依存性は
で与えられる。[(4.6)式]ここで、nは電子密度であ
る。この式、及び v v F , l v F を (5-5)式に
代入すると、自由電子による熱伝導率 Kel は
2n k B 2T
2 nkB 2T
K el 
v
l


F
3 mv F 2
3m
(5-10)
となる。実際の金属では(273 K において)
Ag : 2.31, Au : 2.35, Cu : 2.23 (×10-8 WΩK-2)
と、これらの金属では自由電子の値に近いことがわか
る。
なお、熱伝導率の測定は、電気抵抗の測定に比べ格
段に難しいが、この関係式を使うことにより、電気抵
抗の測定から熱伝導率の概略値を推定することが出来
る。例えば、銅について室温の熱伝導率を自由電子モ
デルにより推定すると、
1 1 1.7 108 5.9 107 1m 1 を 用
い、
(5-4)
2
2 n 2
2 nk B 2 T
Cel  D(F )k B 2T 
kB T 
3
2 F
mvF 2
(5-9)
このようにヴィーデマン・フランツの法則が導ける。
定数 Lをローレンツ数といい、自由電子では
で与えられる。気体の場合、熱エネルギーは、高温・
高エネルギー領域から、低温・低エネルギー領域へ衝
突せずに飛翔する分子によって運ばれる。証明は略す
が分子運動論によれば、気体の熱伝導率は
1
K  CV v l
3
M.Shiga
L
T
K el (T ) 
0 L (T )
と書ける。
このとき、分母・分子共に温度依存性があるので少し
複雑であり、温度領域を分けて考える必要がある。た
だし、いずれの場合も、 K el (0) 0 であり、また十
分高温では L (T ) T  0 なので K el (T ) は一定
値に近づく。
(1) 純金属:ρ 0 が十分小さい場合、極低温を除いて
n
は (T ) T
(n : 2 5) なので、K (T ) T n 1 と
なり、温度と共に減少する。すなわち、熱伝導率は低
温で極大値を示す。
(2) 合金:ρ0 が大きく、少なくともρL(T) の温度依
存 性 が T n (n >1) で 与 え ら れ る 低 温 域 で
0  L (T ) であれば、 K el (T ) は単調に増加し高温
で一定値に近づく。
-2-
Electronic Properties of Solids V : Transport Properties of Metals and Semiconductors
M.Shiga
て捉える必要がある。電子波の波束は波数 k0 を中心
として、その近傍の波数の波を重ね合わせて得られる。
波束の中心速度、つまり電子の粒子速度は群速度に等
しい。すなわち、
d
d  1 dE
vg 
 
d
1  dk dk
で与えられる。ここで、
E は電子の運動エネルギー、ν(ω)はそれに伴う
振動数(角振動数)である。
中心波数 k、速度 vg の電子が dt 時間に、電場 Є
によりなされる仕事(電子のエネルギー変化)は、
dE
dE  dk F 
dx e 
v g dt
dk
(5-11)
edE
  dt
dk
となり、両辺から dE
dk を消去すると、
dk
e

dt

が得られる。すなわち、単位時間にその波数は
変化する。
一方、加速度 d v g dt は、 (5-12)より、
図 5-2 金属・合金の熱伝導率(参考のため 結晶質・
非晶質 SiO2 のデータも示してある。(参考書 (2)
より引用)
実際の測定値(図 5-2)を見ると確かに純金属では低
温で極大値を示し、合金では単調増加を示している。も
ちろん、その絶対値は純金属の方が大きい。参考のため、
代表的な絶縁体である SiO2 の熱伝導率の温度依存性も
示すが、全く別の理由により、結晶質の水晶では低温で
極大を示し、非晶質である石英ガラスでは単調に増加す
る。この傾向はフォノンを気体と見なすモデルによりあ
る程度説明可能である。
(参考書 (3) 参照)
4
半導体の電子論
半導体は最も重要な機能材料の一つであり、材料科
学者としてその性質を理解しておくことが望まれるが、
ここでは、これまで学んできたことを基礎に基本的な
性質を説明する。
4-1
伝導電子の有効質量
前回、結晶の周期ポテンシャルは電子を散乱せず電
気抵抗の原因にならないといったが、電気抵抗値に関
係しないわけではない。それは、電場をかけたときの
加速度に影響し、電子の有効質量の変化として記述さ
れる。これを論じるためには、古典的な気体モデルは
使えず、電子を第 I 講 1.3.2 で述べた波束の運動とし
(5-12)
e
dv g
1 d dE  1 d 2 E 1 d 2 E dk


 
dt
dt dk  dkdt dk 2 dt
1 d 2E
1
 2
e 2

e
2
2
 dk

d E dk 2 
(5-13)
と書ける。これを、古典論の運動方程式
dv dt 
1 m
e
と比較すると、
2
2
2
m*  d E dk
の有効質量を持った粒子とみ
なせる。
1 次元モデルについて、自由電子および周期ポテン
シャル中の電子の分散関係、群速度、有効質量を図 5-3
に示す。このように周期ポテンシャル中では電子の見
かけの質量が変る。特に、バンドの上端付近では有効
質量が負になる。すなわち、電子が電場から受ける力
の逆方向に加速(減速)される。
-3-



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M.Shiga
4-2
ホールの運動と半導体
後に示すように、半導体では本来電子が詰まった状
態であるブリルアン・ゾーン内側の電子が励起され、
価電子バンドに空きが生じこれが正孔(ポジティブ・
ホール)として伝導を担う(キャリアとなる)ことが
知られている。直感的にはこれで十分理解出来るが、
定量的にそのホールの有効質量などを論じようとする
と、十分ではない。以下、参考書 (3)の手法でこの点
を説明する。
簡単のため、図 5-4 のようなバンドの頂上(k = 0)
にあった電子が抜けた 1 次元バンドを考え、それに電
場をかけていくことによる変化を順を追って説明する。
(1) 電場がかかっていない時。
(図 5-4 a)
図 5-3 自由電子(左)と周期ポテンシャル中の
電子の (a) エネルギー分散曲線 (b)群速度 (c)
有効質量

k
k 
(2)
x
0
(5-14)
+x方向に電場 εをかける。
(図 5-4
dk
 x e
x
dt
b → c )
(5-15)
より、各電子の波数は -x 方向に ⊿k 変化する。
(a)→(b)→(c)
これに伴い、空孔も⊿k だけ-x方向に移動する。
(3) 一方、実空間での電子の速度は群速度
v g 1 dE dk で与えられる。従って、k < 0 に対
しては、vg > 0, k > 0 に対しては、 vg < 0 である。
(図 5-4 (d))
(4) 全電子の速度の和を V、空孔にあった電子の速度
を vh とすると、
ε=0 では、V
v k 0, v h 0
(5-16)

 は電子が詰まっている全ての状態につい
ここで、

ての和を意味する。
ε >0
では、 V
v k  0

電子は負電荷なので正の電流が流れる。
(5)
空孔がない時の全電子の速度の和は 0 なので、
v v
k
all

k
v h 0
v
従って、

図 5-4
ホールの運動
k
v h 0(ここで、vh > 0 に注意)。
すなわち、全電子の速度の和は空孔に電子があるとし
た時の速度に-符号を付けたものに等しく、電流は、
J ev k e(v h ) ev h

-4-
となり、全電子に
Electronic Properties of Solids V : Transport Properties of Metals and Semiconductors
よって運ばれる電流は空孔(速度 vh)においた電荷 +e
の粒子(ホール)が運ぶそれに等しい。
◯ ホールの有効質量
電場 εにより、vh は時間とともに増加する。すな
わち、 d v h dt  0 。従って、ホールの有効質量は正
であり、バンドの上端での電子の有効質量が負であっ
たことから、次式で与えられる。
mh * 2 
d 2 E dk 2  0
4-3
M.Shiga
も eV のオーダー、つまり 10000 K 程度で室温の熱
エネルギーより 1 桁大きい。従って、励起される電子
数は少数である。
図 5-6 に Si の分散曲線を示す。Si の場合共有結合
性が強いので空格子近似との対応は難しいが、下から、
縮退のない2本の分枝とその上の太線で表した2重縮
退のある1本の分枝に、格子点当たり8個(ダイアモ
ンド構造では格子点当たり2個の原子、Si では1原子
当たり4個の価電子を持つ)の電子が占有し価電子バ
ンドを作り、その上の分枝との間に狭いエネルギーギ
ャップが存在する。その結果、状態密度曲線にもギャ
ップが生じる。
◯ 半導体の電気伝導率
前回述べたように、半導体の電気伝導率は、
n e , em * とキャリア密度と移動度の
積で表す。金属の場合はキャリア(電子)密度がほぼ
一定で、電気抵抗値を支配するのが緩和時間 τであっ
たのに対し、半導体の場合はキャリア密度 nの変化が
支配的である。真性半導体の場合、キャリアが電子と
ホールの 2 種類あるので、
伝導バンドの電子濃度を n、
移動度を μe、価電子バンドのホール濃度をp、移動
度を μh とすると、 n e 
e p e 
h と書ける。
いずれにせよ、伝導率を決める最大の要因はキャリア
密度、n、pなので、以下その見積り法について述べ
る。
(5-17)
真性(固有)半導体
図 5-5 真性半導体のバンド構造。0K では価電子バンド
が電子で完全に満たされており、伝導バンドには電子は
存在しない。有限温度では熱エネルギーにより電子が励
起され、価電子バンドにホールが、伝導バンドに電子が
現われ、それぞれ伝導に寄与する。このとき、フェルミ
レベルは禁制バンドの中間にある。
4-4
4-4-1
図 5-6
Si の電子分散曲線。低エネルギー側の 2 本の分枝
は縮退せず、その上の太線の分枝は2重に縮退している。
Ge や Si など、いわゆる半導体では、図 5-5 に示
すように、電子の詰まった価電子バンドと空の伝導バ
ンドの間にエネルギー ギャップがあり本来絶縁体で
あるが、エネルギー ギャップ Eg が比較的小さく、
室温においても価電子バンド上端の電子が熱励起され、
伝導バンドに電子が、価電子バンドには空孔が生じる。
従って、電場をかけると電流が流れる。後に述べる不
純物半導体と区別し純粋の Si や Ge を真性(固有)
半導体という。代表的な半導体のエネルギー ギャップ
は、Si:1.17、Ge:0.744、GaAs:1.52 eV といずれ
真性半導体のキャリア密度
キャリア濃度の見積もり I:粗い計算
図 5-7 真性半導体の状態密度とフェルミ分布関数。ホ
ール数と伝導バンドの電子数が等しくなければならな
いので、フェルミ準位はギャップの中央にある( f
(EF)=1/2 であることに留意)。従って、半導体にはフェ
ルミ面は存在しない!
真性半導体では n = p でなければならないので、f
(EF)=1/2 で定義されるフェルミ準位 EF はエネルギ
ー・ギャップのほぼ中央になければならない。
(図 5-7
参照)なお、このことは半導体ではフェルミ面は存在
-5-
Electronic Properties of Solids V : Transport Properties of Metals and Semiconductors
M.Shiga
しないことを意味するので注意しておこう。ここでは
簡単のため、ちょうど中間にあるとする。価電子バン
ドの上端のエネルギーを Ev 、伝導バンドの底を Ec
とすると、 E F EV EC E F E g 2 従って、
EF 
EC EV 2 と書ける。ホールはほとんど Ev
付近に、電子はほとんど Ec 付近に分布しており、ま
た、Eg ≫ kBT、従って、(Ec-EF)≫ kBT なので、
フェルミ・ディラック分布関数は、
(1) 伝導バンドの電子に対して、
1
fe 
exp 
EC EF k BT 1
exp 

EC EF k BT 

(5-18)
exp 
E g 2k BT 
(2) 価電子バンドのホールに対して、
図 5-8 半導体の電気伝導率の温度依存性。縦軸を log
σ、横軸を 1/T でプロットすると直線にのる。エネルギ
ーギャップが大きいほど勾配が大きくなる。
1
f h 1 
exp 
EV EF k BT 1

1

exp 
EF EV k BT 1
n De ( E ) f e dE
(5-19)
EC
E 
1 2m 
 2  2 e  exp  F 

2  
k BT 
32
exp 
E g 2k BT 
 E 
 dE
E E  exp 
k T

とn、pは近似的にボルツマン分布に従う。
すなわち、
n p exp 
E g 2k BT 10 9
12
C
EC
(for Si 300 K)
(5-21)
B
E EC 
m k T 
2  e B 2  exp  F

2 
 k BT 
32
従って、移動度の温度依存性を無視すれば、
c exp 
E g 2k BT 
, ln E g 2k BT ln c
と、電気伝導率の対数 lnσ を 1/T の関数としてプ
ロットすると直線になる。
(図 5.8 参照)
ここで、
4-4-2 キャリア濃度の見積もり II:より正確な計算
12
伝導バンド、価電子バンドの状態密度を E
型と
し、その有効質量をそれぞれ、me、mh とする。
(1) 伝導バンドの電子濃度 n
伝導バンドの状態密度は、

x
0
2
E EC
x 2
k BT
exp( x 2 )dx 
とおき、定積分

を用いた。
4
32
1 2m 
12
De ( E )  2  2 e  
E EC 
2  
ただし、E > Ec
フェルミ・ディラック分布関数は
(5-20)
(2) 価電子バンドのホール密度
価電子バンドの状態密度は
p
32
1 2m 
12
Dh ( E )  2  2 h  
EV E 
2  
E EF  kT ゆえ、
f e exp 

E E F k BT 、従って
ホールの分布関数は、
-6-
(5-22)
Electronic Properties of Solids V : Transport Properties of Metals and Semiconductors
の原子は Si サイトを置換し、容易に余分の価電子を
伝導バンドに放出し、伝導バンドの電子濃度を増加さ
せる。また、逆に質量作用の法則によりホール濃度は
減少する。これらの不純物は電子を(伝導バンドに)
与えるもの、ドナーと呼ぶ。ドナーを多く含む半導体
をn型半導体とよび、電気伝導は主に伝導バンドの電
子が担う。
一方、B、Al、Ga、In 等の3価の元素を不純物と
して加えると、価電子バンドから電子を捕獲し、価電
子バンドにホールを作る。これらの不純物を電子を受
容する物、アクセプターとよぶ。アクセプターを多く
含む半導体をp型半導体とよび、電気伝導は主に価電
子バンドのホールが担う。これらの様子を図 5-9 に模
式的に示す。
1
f h 1 f e 1 
exp 
E EF k BT 1
1

exp 
EF E k BT 1
E EF 
exp 

 k BT 
M.Shiga
(5-23)
同様の計算により、ホール濃度は
EV
p Dh ( E ) f h ( E )dE

E EF (5-24)
m k T 
2  h B 2  
exp  V

2 
 k BT 
32
と求まる。
(3) フェルミ準位
真性半導体では n = p なので、 (5-21)= (5-24)
して、
EF 12 
EC EV 43 k BT ln 
mh me 
と
図 5-9 (a) Si に As(5 価不純物)をドープしたところ。
As は電子を 1 個伝導体に放出し+e に帯電する。放出さ
れた伝導電子は完全に自由電子となるわけでなく As+
の正電荷から引力を受ける。(b) Si に B(3 価不純物)
をドープしたところ。Si の価電子バンドから 1 個電子
を捕らえ-e 帯電する。価電子バンドに生成したホール
は B-の負電荷から引力を受ける。
(5-25)
(4) 質量作用の法則
(5-21)×(5-24)より、
3
 E 
32
k BT 
n p 4 
me mh  exp  g 
22 


 k BT 
(5-26)
となり、電子濃度とホール濃度の積はフェルミ準位に
よらず一定である。これを化学反応の平衡式にならっ
て質量作用の法則とよぶ。この関係式は、後述する不
純物半導体の場合も成り立つ。
4-5
不純物半導体
代表的な半導体である Si ( Ge も同じ) は4価の元
素であり、結晶構造は fcc ダイヤモンド型である。ダ
イヤモンド構造では4個の最近接原子が正四面体配置
をしており中心の Si から伸びる 4 本の共有結合手が
最近接 Si とσ共有結合を形成するというイメージが
比較的よく成り立つ。もちろん多原子結晶なので本講
第Ⅲ講の『多原子分子からのアプローチ』で示したよ
うにエネルギーバンドを形成し、価電子バンドは共有
結合性バンドで、伝導バンドは反結合性バンドと考え
て良い。
さて、ここで、Si に P、As、Sb などの5価の元素
を極微量不純物として加えると(ドープする)
、これら
4-6
擬水素原子モデルによる不純物準位の推
定
4.6.1 n型半導体
図 5-10 不純物半導体のエネルギー準位 Ed:ドナー準
位、Ea:アクセプター準位。
ドナーから放出された電子は完全に自由になるわけ
でなく、正に帯電したドナーイオンから引力を受け束
縛されている。
(図 5-9 参照)このときのエネルギー準
位(ドナー準位)は以下のように擬水素原子モデルに
より見積もることが出来る。ハミルトニアンは水素原
-7-
Electronic Properties of Solids V : Transport Properties of Metals and Semiconductors
じになるはずである。表 5.2 に Si, Ge についての結
合エネルギーを示す。
B
Al
Ga
In
Si
0.045
0.057
0.065
0.16
Ge
0.0104
0.0102
0.0108
0.0112
子と同様に、
2
e2
 =  2 
2me

r
(5-27)
表 5.3 Si 及び Ge 中の 3 価の不純物によるアクセプタ
ーの結合エネルギー Eb
とする。水素原子との違いは、(1) 電子の質量を 伝導
バンドの有効質量 me とする。(2) クーロン引力を母
体(Si、Ge)中の引力、すなわち 真空の誘電率 ε0 の
代わりにこれら半導体の誘電率 εを使う。ハミルトニ
アンの形は水素原子と全く同じなので、基底状態(1s
状態に相当)のエネルギー準位、及び軌道半径は、
e 4me
2
E1s  2 2 , a  2
2
me e
二つの表を見比べても、結合エネルギーが母体のみに
よって決まっていること、ドナーとアクセプターの結
合エネルギーがほぼ等しいことがわかる。
(5-28)
と求まる。エネルギーの原点は伝導バンドの底であり、
その直下にドナー準位 Ed が出来る。
(図 5-10 参照)
従って、0 K では、電子はドナーに捕捉されている。
しかし、その結合エネルギー Eb Ec Ed は真性半
導体のエネルギーギャップよりずっと小さいので、室
温でも容易にイオン化し、電子は放出され結晶中を運
動する。Si、Ge について計算すると、
Si:me=0.25 m、ε=11.7ε0、Eb= 0.025 eV (290 K)、
a=2.47 nm
Ge:me = 0.12 m、ε=15.8ε0、Eb=0.0065eV(75
K)、a=7.0 nm
この結果で分ることは、(1) 結合エネルギーは室温と
同程度かそれより小さく、電子は容易に伝導バンドに
伝導電子として励起され得る。 (2) 軌道半径は、Si,Ge
の原子間距離 約 0.25 nm よりも十分大きく、誘電率
としてバルクの値を用いてもいいことがわかる。この
モデルによると、結合エネルギーは母体の性質のみに
依存し不純物の種類によらない。表 5.1 に実測値を示
すが、絶対値こそ少し異なるが、不純物による差はほ
とんどなく、このモデルがほぼ正しいことがわかる。
P
As
Sb
Si
0.045
0.049
0.039
Ge
0.012
0.0127
0.0096
表 5.1 Si 及び Ge 中の5価の不純物によるドナーの結
合エネルギー Eb
4.6.2 p型半導体
アクセプターが電子を捕獲すると、-イオンとなり
まわりのホールを引きつける。ドナーの場合と同様、
水素原子モデルで結合エネルギーが計算出来る。この
場合、基底状態はアクセプターが電子を捕獲していな
い状態、いいかえれば、ホールと結合した状態なので、
アクセプター準位 Ea は価電子バンド上端の直上にあ
る。結合エネルギーの理論値は当然ドナーの場合と同
M.Shiga
4-7
不純物半導体のフェルミ準位とキャリア
濃度
4.7.1 半定量的考察
半導体はダイオード、トランジスタ等いわゆる電子
デバイスに使われるが、その働きを理解する上で、不
純物半導体のフェルミ準位の変化を知ることが重要で
ある。
図 5-11 (a) n型、(b) p型 半導体の電子の占有
状況とフェルミ準位。f(EF)=1/2 なので、フェ
ルミ準位は不純物準位の近くに来る。
図 5-11 はn型、及びp型半導体の電子の占有状態を
示す。n型の場合、 k BT Eb の低温では、ドナーに
捕獲されていた電子の一部が伝導バンドの底に励起し
ているのみで、価電子帯は完全に満ちている。すなわ
ち、価電子バンドにはホールは存在せず、ドナー準位
の一部が空になり、伝導バンドの底にドナーから励起
された伝導電子がわずかに存在するのみである。従っ
て、図 5- 11(a)からわるようにフェルミ準位は、ドナ
ー準位と伝導バンドの底の間になければならない。
温度が上昇し、価電子バンドから伝導バンドへの励
起(固有励起)が無視出来なくなると、不純物濃度は
普通 ppm オーダーなので、固有励起による電子が支
配的になり、フェルミ準位は真性半導体の値に近づい
てゆく。その様子を図 5-12 に示す。
一方、p型半導体の場合はすこしわかりにくいが、
低温ではほとんどのアクセプターがホールを束縛した
状態にあり、伝導バンドには電子は存在しない。従っ
て、図 5- 11(b) を見ればわるように、フェルミ準位は
-8-
Electronic Properties of Solids V : Transport Properties of Metals and Semiconductors
価電子バンドの上端とアクセプター準位の間にある。
M.Shiga
kBT が結合エネルギーに近く、不純物準位がほぼ完
全に熱励起される領域。 出払い領域とよばれ、室温付
近の不純物半導体はこの領域にある。 この場合、n
型では、n~Nd、この等式と (5-29)より、
N 
EF EC k BT ln  d 
n0 
(5-34)
p型では、p~Na、従って
図 5-12 n型、p型半導体のフェルミ準位の温度
依存性
4.7.2 定量的な見積もり
(1) 低温(n型:kBT ≪Eb =Ec-Ed、p型:kBT ≪Eb =Ea
- Ev
はじめにn型の場合を考える。伝導バンドの電子濃
度nは (5-21)より、
n n0 exp 
EF EC k BT ,
n0 2 
mek BT 22 
32
N 
E F EV k BT ln  a  (5-35)
p0 
が得られる。
(3) 高温:kBT ~ Eg = Ec-Ev
価電子バンドから伝導バンドへの固有励起が支配的
になり、フェルミ準位は真性半導体のフェルミ準位に
漸近する。その様子を図 5-12 に示す。
4-8
不純物伝導
(5-29)
で与えられる。これは励起されたドナー濃度
n* N d 
1 f ( Ed )に等しいとみなせるので、n=n*
と等置することにより、EF、従って nが求まる。結
果は、
E Ed k BT Dd 
EF  C

ln  
2
2
n0 
(5-30)
n 
n0 N d  exp 

EC Ed 2k BT  (5-31)
12
ここで、Nd はドナー濃度、Ed はドナー準位である。
p型についても同様に、
E Ec k BT N a 
EF  a

ln  
2
2
p0 
p p0 N a  exp 

Ea EV k BT 
,
(5-32)
図 5-13 n型半導体のキャリア濃度の温度依存性
12
p0 2 
mh k BT 22 
32
(5-33)
が得られる。ここで、Na はアクセプター濃度、Ea は
アクセプター準位である。
(2) 中間温度:kBT ~ Eb
前項で述べたように不純物半導体では、結合エネル
ギーが真性半導体のエネルギーギャップより小さいの
で低温では不純物から励起されたキャリアーが支配的
である。しかし、不純物濃度は小さいので高温では濃
度の制限のない価電子バンドから伝導バンドへの励起
が支配的になる。その結果、
キャリア濃度の対数を 1/T
の関数でプロットすると、高温側から、固有伝導領域、
-9-
Electronic Properties of Solids V : Transport Properties of Metals and Semiconductors
出払い領域、不純物支配領域の3つの領域に別れる。
図 5-13 はn型半導体のキャリア濃度の温度依存性を
示す。電気伝導率もほぼこれに近い温度変化をするが
移動度μの温度変化により少し異なってくる。
5 半導体の応用
5-1
p-n接合と整流作用
5.1.1 整流作用の定性的説明
M.Shiga
(3) 電圧をかけない時の電子の流れは、p領域の伝導
バンドに価電子バンドから熱励起されたわずかな電子
0
がn領域へ拡散することによる電流 I t と、n領域伝
導バンドのあるドナーから供給される大量の電子がエ
ネルギーバリア⊿ E を越えて p 領域へ進入すること
0
による電流 I r とが釣り合い電流は流れない。(図
5-15 b)
(3) 順方向に電圧 V をかけると、(図 5-16 a)It は変
化 し な い が 、 Ir は 、 エ ネ ル ギ ー バ リ ア が
E EF eV と減少するので、増加する。
すなわち、 I r
全電流は、I
図 5-14 p-n接合ダイオード
(1) 順方向(図 5-14 a)
:p型に+、n型に-の電圧を
かけるとホール、電子ともに界面に向かって動き界面
付近で対消滅する。また、電極では導線の電流により
ホール、電子が補給される。このようにして回路に定
常的に電流が流れる。
(2) 逆方向(図 5-14 b)
:n型に+、p型に-の電圧を
かけると+極にn領域の電子が、-極にp領域のホー
ルが引き寄せられるが、その後、界面近傍でキャリア
ーが欠乏する。そのため定常電流は流れない。
5.1.2
I r0 exp 
eV k BT 
従って、
I r I t I r0 
exp 
eV k BT 1と急激
に増加する。
(4) 逆方向に電圧をかけると(図 5-16 b)、逆にエネ
ルギー バリアが高くなり、Ir は減少する。すな
わち、
(5)
I r I r0 
exp 
eV k BT 
、
逆方向全電流は、 I
I r0 
exp 
eV k BT 1
となる。すなわち、微少な熱拡散電流
は流れない。
I t0 以上に電流
エネルギーレベルと電子の流れ
図 5-16 順方向、逆方向に電圧をかけた時の、p
- n 接合ダイオード素子中の電子のエネルギー
レベルと電子の流れ。
図 5-15 p-n 接合素子中の電子のエネルギー レベル
(1) 独立に存在するn型、p型半導体のフェルミ準位
n
p
を そ れ ぞ れ 、 E F , E F と す る と 、 図 5-11 よ り 、
E Fn  E Fp である。(図 5-15 a)
(2) 両者を接合すると、n領域からp領域へ電子が流
入し、界面付近でn領域では電子欠乏層が、p領域で
はホール欠乏層が生じ、n側は+にp側は-に帯電す
る。その結果、図 5-15 (b)に示すようなポテンシャル
段差が生じ、両者のフェルミ準位が一致するところで
平衡状態が実現する。
(フェルミ準位は電子の化学ポテ
ンシャルであることに留意)
(5) ホールの流れ:ホールに対するポテンシャル エネ
ルギーの変化は電子の場合と逆符号になるが、同様な
考察により順方向に電流が流れる。
[ 図 5-17 ]
(6) その結果、図 5-17 に示すように、室温の熱エネ
ルギー(~0.03 eV)に相当する電圧まではほぼ
電圧に比例した電流が流れるが、それ以上になる
と順方向のみ電流が増加し整流作用が生じる。
- 10 -
Electronic Properties of Solids V : Transport Properties of Metals and Semiconductors
M.Shiga
(2) 発光ダイオード、半導体レーザ
p-n接合に順方向電流を流すと接合部で電子・ホー
ル対消滅がおこる。このときエネルギーが電磁波とし
て放出される。その時の波長は真性半導体のエネルギ
ーギャップに相当し、適当な半導体を選ぶと可視光で
発光する。
GaP:赤、GaN:青
(3) 光電効果、太陽電池
逆に、p-n接合部に光を当てると、電子ホール対が
生じるが接合部のポテンシャル差のために電子はn領
域へ、ホールはp 領域に追いやれれ起電力が生じる。
参 考 書
(1)
C. キッテル:熱物理学 (丸善)
(2) 近角聡信、橋口隆吉 編:物質の電気的性質 (朝
倉書店)
(3) C. キッテル:固体物理学入門(上)
(丸善)
(4) 例えば、松波弘之:半導体工学 (昭晃堂)
図 5-17 ゲルマニウムのp-n接合素子の整流特性。縦
軸は電圧の絶対値(データは Shockley による)
5-2
トランジスタ(n-p-n 接合型)の原理(図
5-18)
************************************************
演習問題 5-1 厚さ 0.1 mm、 巾 10 mm、長さ 50
mm の Cu 試料を用い、厚さ方向に磁束密度 1 T(テ
スラ)の磁場をかけ、長さ方向に1 A の電流を流し
た時、巾方向に -0.55 μV のホール電圧が生じた。
(1) Cu のホール係数を求めよ
(2) Cu 1原子当たりの伝導電子数を求めよ。
演習問題 5-2
式を導出せよ
図 5-18 n-p-n 接合トランジスタの原理
(1) エミッタ(n型)に-、ベース(p型)に+の順
方向電圧をかける。その結果、エミッタからベースに
電流が流入する。ベースの領域は薄く、多数のキャリ
アがベース領域で対消滅せずコレクタ領域に進入する。
(2) コレクタ・ベース間に大きな(10 V 程度)の逆方
向電圧をかけておくと、(1) によりコレクタ領域に進
入してきた電子が加速され電流が流れる。このとき、
コレクター領域は逆方向なので電気抵抗値が大きく、
ベースの電位(Vb)を基準とすると、エミッタの入力電
圧変化(Ve)に比べコレクタ端子には大きな電圧変化
(Vc)が生じる。すなわち、電圧増幅作用が得られる(よ
り詳しくは参考書 (4)を参照)
。
5-3
その他の機能
(1) センサー
電子・ホール対は熱エネルギーのみでなく、光、赤外
線、X 線、γ線などの電磁波によっても励起される。
この作用を利用してセンサーとして使われる。
可視光:CdS、赤外:PbS、X 線:Si 等
- 11 -
p 型半導体のフェルミ準位 (5-35)