Annual Report No.30 2016 第6回次世代移動体通信用弾性波デバイスに関する 国際シンポジウム Sixth International Symposium on Acoustic Wave Devices for Future Mobile Communications H27会自22 開催日 平成27年11月24日~平成27年11月25日(2日間) 開催地 千葉大学 けやき会館 申請者 千葉大学 大学院 教授 橋 本 研 也 Weigel氏(Erlangen大)により、バルク波共振 会議の概要と成果 子における非線形応答の検討結果が報告され 平成27年11月24日~25日の2日間にわたり、 た。午後前半では、横山氏(太陽誘電) 、柳谷 千葉大学けやき会館において、千葉大学主催 氏(早稲田大)並びに筆者により、Mg-HfやScが で標記国際会議が開催された。この国際会議 ドープされた高圧電性AlN薄膜の堆積並びにデ は、弾性波デバイス関連技術に携わる世界中 バイス応用について報告された。午後後半では、 の研究者・技術者が一堂に会し、次世代移動 萩氏(大阪大)によりピコ秒レーザ励起超音波 体通信システムへの適用に向けて、様々な観 による薄膜の弾性定数と温度特性評価につい 点から忌憚無く討論を行うことを目的とし、3 て紹介され、続いて和佐氏(横浜市大)並びに 年おきに同一会場で開催されている。 田中氏(東北大)により高T c 高圧電性薄膜の堆 今回は2012年に続いて6度目の開催となる。 積とそのMEMS応用について紹介があった。 この国際会議は主催者側が依頼した招待講演 二日目は、Wagner氏(TDK)により弾性表面 のみによって構成され、最新の内容ばかりでな 波(SAW)デバイス用パッケージ技術が紹介さ く、これまでの経緯や背景等も系統的に紹介 れ、次に中村氏(PSFJ)並びにAbbott氏(Qorvo) され、極めて教育的である。2001年に初回を開 によりSiO 2 薄膜を利用した温度補償SAWデバ 催したが、多くの参加者から本国際会議の有 イス開発の現状が紹介された。午前後半では、 効性が賞賛され、定期的に開催する様に要請 堤氏(太陽誘電)からアンテナ共用器の新設計 を受けた。この様な国際会議は工学系ではあ 法が、垣尾氏(山梨大)から高速SAW開発の現 まり例が無く、開催の意義は極めて大きいと 状が説明され、続いて中川氏(村田製作所)か 自負している。 らSAWデバイスにおける非線形性の解析と抑 一日目は筆者のOpening Addressに引き続き、 圧について報告があった。午後には、門田氏 Lam氏(Skyworks)により携帯電話におけるフィ (東北大)より超広帯域共振子について、唐氏 ルタ並びに周波数制御素子の技術動向が紹介 (千葉大)より薄膜構造におけるSAWの圧電性 され、Aigner氏(Qorvo)並びにRuby氏(Avago) について解説され、続いて韓氏(上海交通大) により、バルク波共振子を利用したフィルタ・ により無線SAWセンサの現状について紹介さ アンテナ共用器の現状が紹介された。また、 れた。午後後半では、近藤氏(静岡大) 、谷津 ─ 314 ─ The Murata Science Foundation 田氏(日本無線) 、Binder氏(CTR)より、それ 同士が親密になり、休憩時間にも活発に討議 ぞれ液相用、生体用、極限環境用SAWセンサ が行われていた。 開発の現状が紹介された。そして、最後に筆 以上の様に、本国際会議を通じて、弾性波 者によりClosing Remarksが行われ、成功裏に デバイスにおける研究・開発の現状並びに将来 終了した。 に向けての動向が整理でき、しかも今後とも基 参加者総数は 1 4 2 名を数え、外国の研究 幹技術であるために達成すべき技術的課題が 機関・企業からの参加者は 5 4 名に上る。こ 明らかとなり、会議の立案段階で予想していた の海外からの参加者数並びに全体に占める もの以上の成果を挙げることができた。 割合(38%)はこのシンポジウム史上最大であ 最後に、今回のシンポジウムをご支援頂いた る。なお、一日目の講演終了後にはWelcome 村田学術振興財団に深謝致します。 Receptionを開催した。日を重ねる毎に参加者 ─ 315 ─
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